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百傲化学：子公司拟签订合作研发项目合同书共同参与开发大世代干法刻蚀装备

来源：证券时报网

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媒体 2025-11-17 20:16:40

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（原标题：百傲化学：子公司拟签订合作研发项目合同书共同参与开发大世代干法刻蚀装备）

人民财讯11月17日电，百傲化学(603360)11月17日公告，公司控股子公司苏州芯慧联半导体科技有限公司下属公司芯慧联（佛山）半导体科技有限公司（简称“佛山芯慧联”）拟与国内知名高校、研究机构等共同签订合作研发项目合同书，共同参与开发大世代干法刻蚀装备，佛山芯慧联作为牵头单位，拟投入自有资金2.19亿元。本次合作研发项目旨在充分发挥公司研发团队在大世代刻蚀装备领域深厚的技术积累，并通过与高校及科研机构深度合作的方式，共同推动国产大世代刻蚀装备的产业化落地。

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