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机器人：公司半导体装备产品主要有大气机械手

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2025-02-24 11:33:13

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（原标题：机器人：公司半导体装备产品主要有大气机械手）

同花顺（300033）金融研究中心02月24日讯，有投资者向机器人（300024）提问，机器人有没有可以给半导体洁净的机器人

公司回答表示，您好，公司半导体装备产品主要有大气机械手、真空机械手等系列产品、EFEM、真空传输平台，主要应用于刻蚀、薄膜、离子注入等工艺环节的晶圆传输及搬运。公司清洁机器人产品——星卫来，主要为工业清洁机器人，可应用于车间或洁净车间内。感谢关注。

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