机器人：目前公司半导体装备产业化应用已初具规模，产品包括大气机械手、真空机械手等系列产品、EFEM、真空传输平台，主要应用于刻蚀、薄膜、离子注入等工艺环节及领域_股票频道

（原标题：机器人：目前公司半导体装备产业化应用已初具规模，产品包括大气机械手、真空机械手等系列产品、EFEM、真空传输平台，主要应用于刻蚀、薄膜、离子注入等工艺环节及领域）

同花顺（300033）金融研究中心09月04日讯，有投资者向机器人（300024）提问，真空机械手是公司力推的高科技拳头产品，请问国内有没有别的公司能生产类似的产品？谢谢！

公司回答表示，您好，目前公司半导体装备产业化应用已初具规模，产品包括大气机械手、真空机械手等系列产品、EFEM、真空传输平台，主要应用于刻蚀、薄膜、离子注入等工艺环节及领域，广泛服务于硅片生产、晶圆加工、先进封装及封装测试等半导体制造全产业链。随着公司研发的不断推进以及成果的转化，保障了此业务板块的成长性。公司始终以产业安全、实现自主可控为目标，是国内较早能做到半导体机械手产品产业化的公司。感谢关注。

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