加入收藏 我的证券之星
首页 - 股票 - 证券要闻 - 正文

维普半导体：光刻机配套IRIS机台交付国内某光刻机客户

来源：证券时报网
证券时报网 更多文章 >>
 2024-07-03 13:13:53
涉企侵权信息举报专区
关注证券之星官方微博：

（原标题：维普半导体：光刻机配套IRIS机台交付国内某光刻机客户）

证券时报e公司讯，维普半导体今日官微消息，7月1日，维普光刻机配套IRIS颗粒检测产品累计第5套顺利发机，交付国内某光刻机客户。IRIS模块-即集成掩模检测系统(Integrated Reticle Inspection System)，是光刻机中的一个重要组成部分。其主要作用是对掩模版(即光罩)玻璃面、保护膜面颗粒进行检测，消除因颗粒污染导致光刻后批量Wafer的失效，从而保障半导体晶圆制造的准确性和稳定性。
微信
扫描二维码
关注
证券之星微信
APP下载
热点文章
内容精选
下载证券之星
郑重声明：以上内容与证券之星立场无关。证券之星发布此内容的目的在于传播更多信息，证券之星对其观点、判断保持中立，不保证该内容（包括但不限于文字、数据及图表）全部或者部分内容的准确性、真实性、完整性、有效性、及时性、原创性等。相关内容不对各位读者构成任何投资建议，据此操作，风险自担。股市有风险，投资需谨慎。如对该内容存在异议，或发现违法及不良信息，请发送邮件至jubao@stockstar.com，我们将安排核实处理。
网站导航 | 公司简介 | 法律声明 | 诚聘英才 | 征稿启事 | 联系我们 | 广告服务 | 举报专区
欢迎访问证券之星！请点此与我们联系 版权所有： Copyright © 1996-年