万业企业：集成电路离子注入机成功通过客户验证，上半年设备再获新订单

（原标题：万业企业：集成电路离子注入机成功通过客户验证，上半年设备再获新订单）

8月27日晚间，万业企业（600641）披露2021年半年报。报告期内，公司实现营业收入6.09亿元，同比增长28.25%，其中集成电路设备收入同比增长223%，研发费用同比增长575.23%；实现归属于上市公司股东的净利润2.79亿元，同比增长55.18%；扣非归母净利润1.97亿元，同比增长23.30%。

资料显示，万业企业自2015年开始布局转型，目前公司聚焦半导体装备与材料产业布局成效显著。万业企业集成电路核心装备业务涵盖两方面，一是旗下控股子公司凯世通的集成电路核心设备离子注入机，产品覆盖集成电路、光伏市场、AMOLED等领域；二是牵头收购的半导体设备领域精密零部件供应商Compart Systems，主要产品包括BTP组件、装配件、密封件、气棒总成、气体流量控制器（MFC）、焊接件等。

积极发力集成电路业务 离子注入机获得多个订单

近年来，政策不断推动国内集成电路设备商发展。由于离子注入机是半导体产业中位于芯片制造前段工序的关键设备，价值量较高，且长期被美日厂商垄断，我国在政策上对其重视程度较高，在多项政策中将其列为重点发展的关键设备。2021年6月上海市人民政府办公厅印发《上海市战略性新兴产业和先导产业发展“十四五”规划》通知，明确提出要把集成电路列为重点发展领域，加强创新发展集成电路装备材料领域，突破离子注入设备等前道核心工艺设备，因此当前国产替代趋势下政策将持续利好万业企业此类国内细分集成电路行业龙头。

报告期内，万业企业旗下凯世通在离子注入机设备验证、产品交付、销售收入以及新订单签署等工作均取得显著进展。凯世通自主研发的低能大束流离子注入机率先在国内一家12英寸主流集成电路芯片制造厂已完成设备验证工作并确认销售收入，这也是首台完成国内主流客户验证并确认收入的国产低能大束流设备，标志国产化设备在成熟工艺这一重大技术领域取得商用化突破。同时，凯世通重金属离子注入机和超低温大束流离子注入机已完成客户交付，高能离子注入机设备按客户交付计划进行组装。

凯世通低能大束流离子注入机

此外，中报期内公司又新增2台订单，与国内另一家12英寸芯片制造厂分别签署1台低能大束流超低温离子注入机和1台高能离子注入机订单。根据中信建投研报显示，市场需求方面国内晶圆厂以及存储厂未来2-3年处于持续扩产期，为国产设备厂商提供丰厚成长土壤。国内主要芯片制造企业正积极寻求扩产，新增产能合计约52万片，主要集中在成熟制程，预计新增晶圆产能需采购离子注入机520-780台。另一方面，先进制程对资金、技术、研发的要求迅速提升，目前国际先进集成电路厂商大力发展FinFET和3D NAND等集成电路技术，将给离子注入机带来新的需求。整体而言，离子注入机市场需求呈现稳中有升的趋势，万业企业旗下核心设备业务拥有巨大增量空间。

平台化协同 业绩增长强劲开启

2020年12月，公司牵头境内外投资人完成对全球领先的集成电路设备精密零组件及流量控制解决方案供应商Compart Systems收购，间接成为其第一大股东。作为全球稀有的可完成半导体零组件精密加工所有环节的公司，Compart Systems客户主要为知名的半导体设备商和领先的工业企业集团等。

“一代器件，一代工艺及一代设备”，设备是集成电路产业发展的关键环节，而设备的核心零部件是更加薄弱的领域。据VLSI资料显示，半导体设备制造中最关键的零部件大致分为5个类别，包括真空泵，RF电源，硅片传送，气体与液体控制(Mass flower，质量流量计等)及其它。一台集成电路设备中需要3000-4000余个零部件，除了个别自行设计的零部件，其余90%均采用外协定制加工，目前零部件领域国产化率仅为10%-30%,尤其是Compart Systems所覆盖的气体控制系统国产化率为零，因此万业企业收购Compart Systems可有效解决设备零部件长期依赖海外供应链的困境。

Compart Systems精密零部件生产线

2021年上半年，Compart Systems的相关产品打入国内集成电路设备公司，同时签约浙江海宁新建Compart制造中心，该项目总投资30亿元，是海宁市2021年重点引进的半导体领域产业项目。因此公司在现有订单、新客户拓展以及未来国内产能规划均取得良好进展。根据SEMI数据披露，2020年全球半导体设备销售额712亿美元，同比增长19%，受益于全球半导体设备业绩提升，作为集成电路设备制造商的上游供应商，Compart Systems预计在2021年下半年将继续保持强劲的业绩增长趋势。

内部激励初显身手 人才结构逐步完善

为深化落实转型并深度激励核心技术人员，今年万业企业正式推出首期员工持股计划，参加认购的员工均为对公司集成电路业务未来发展有直接贡献作用或有重要协同作用的中高层管理人员及核心骨干员工。公司通过员工持股计划"锚定人才"，可充分调动员工积极性和创造性，增强员工凝聚力和提升公司集成电路业务的技术与市场能力，从而紧握国产化替代浪潮下的市场机遇，这对公司立足高端制造行业，提升市场竞争力和可持续发展起着关键作用。

近年来，万业企业已成长为集成电路装备领域的平台型公司，拥有国际和国内两种产业资源，无论是在集成电路设备商业化突破，或是外延式并购均有良好布局，为公司集成电路业务多元化发展奠定了坚实的基础。后续万业企业将坚持高水平的研发创新，深化布局产业链发展，持续提升设备交付的能力，拓展产业平台化布局，造就多赢且可持续发展的行业生态格局，成为综合性的集成电路装备与材料集团。