(原标题:南大光电:ArF光刻胶产品再次通过客户认证)
6月1日,资本邦了解到,南大光电(300346.SZ)发布公告,控股子公司宁波南大光电材料有限公司(以下简称“宁波南大光电”)自主研发的ArF光刻胶产品继2020年12月在一家存储芯片制造企业的50nm闪存平台上通过认证后,近日又在逻辑芯片制造企业55nm技术节点的产品上取得了认证突破。
南大光电表示,ArF光刻胶材料是集成电路制造领域的重要关键材料,可以用于90nm-14nm甚至7nm技术节点的集成电路制造工艺。广泛应用于高端芯片制造(如逻辑芯片、存储芯片、AI芯片、5G芯片和云计算芯片等)。