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芯??微装：补充法律意见书（二）

来源：巨灵信息
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 2020-09-29 00:00:00
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北京德恒律师事务所
    
    关于
    
    合肥芯碁微电子装备股份有限公司
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的
    
    补充法律意见书（二）
    
    北京市西城区金融街19号富凯大厦B座12层
    
    电话:010-52682888传真:010-52682999 邮编:100033
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
    北京德恒律师事务所
    
    关于
    
    合肥芯碁微电子装备股份有限公司
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的
    
    补充法律意见书（二）
    
    德恒02F20190437-00014号
    
    致：合肥芯碁微电子装备股份有限公司
    
    根据发行人与本所签订的《专项法律服务协议》，本所接受发行人委托担任其首次公开发行人民币普通股股票并在科创板上市的专项法律顾问。本所已于2020年5月7日出具了德恒02F20190437-00001号《北京德恒律师事务所关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司首次公开发行股票并在科创板上市的律师工作报告》（以下简称“《律师工作报告》”）以及德恒02F20190437-00002号《北京德恒律师事务所关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司首次公开发行股票并在科创板上市的法律意见书》（以下简称“《法律意见书》”）；于2020年7月27日出具了德恒02F20190437-00007号《北京德恒律师事务所关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书》（以下简称“《补充法律意见书（一）》”）。
    
    根据上交所于2020年8月10日出具的上证科审（审核）〔2020〕565号《关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司首次公开发行股票并在科创板上市申请文件的第二轮审核问询函》（以下简称“《问询函》”），本所承办律师出具了《北京德恒律师事务所关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）》（以下简称“本《补充法律意见书》”）并在本《补充法律意见书》之“第二部分《问询函》问题回复”中对《问询函》要求本所回复的问题发表补充法律意见。
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
    根据容诚会计师事务所（特殊普通合伙）于2020年7月30日出具的容诚审字[2020]230Z3658号《合肥芯碁微电子装备股份有限公司审计报告》、容诚专字[2020]230Z1894号《合肥芯碁微电子装备股份有限公司内部控制鉴证报告》、容诚专字[2020]230Z1895号《合肥芯碁微电子装备股份有限公司非经常性损益鉴证报告》、容诚专字[2020]230Z1896号《合肥芯碁微电子装备股份有限公司原始财务报表与申报财务报表差异情况的鉴证报告》、容诚专字[2020]230Z1897号《合肥芯碁微电子装备股份有限公司主要税种纳税及税收优惠情况的鉴证报告》等，本所承办律师在本《补充法律意见书》第三部分就2020年1月1日至2020年6月30日（以下简称“补充披露期间”）发行人的财务状况和其他重大变化事项进行补充核查验证并发表补充法律意见。
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
    第一部分 律师声明事项
    
    一、本所及本所承办律师依据《中华人民共和国证券法》《律师事务所从事证券法律业务管理办法》《律师事务所证券法律业务执业规则（试行）》和《公开发行证券公司信息披露的编报规则第12号-公开发行证券的法律意见书和律师工作报告》等规定及本《补充法律意见书》出具日以前已经发生或者存在的事实，严格履行了法定职责，遵循了勤勉尽责和诚实信用原则，进行了充分的核查验证，保证本《补充法律意见书》所认定的事实真实、准确、完整，所发表的结论性意见合法、准确，不存在虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并承担相应法律责任。
    
    二、发行人保证已经向本所承办律师提供了为出具本《补充法律意见书》所必需的真实、完整、有效的原始书面材料、副本材料或者口头证言，并无隐瞒、虚假和重大遗漏之处，文件材料为副本或者复印件的，均分别与正本或原件一致和相符。
    
    三、本《补充法律意见书》是对《法律意见书》《律师工作报告》《补充法律意见书（一）》的补充并构成《法律意见书》《律师工作报告》《补充法律意见书（一）》不可分割的一部分，除本《补充法律意见书》就有关问题所作的修改或补充之外，《法律意见书》《律师工作报告》《补充法律意见书（一）》的内容仍然有效。对于《法律意见书》《律师工作报告》《补充法律意见书（一）》中已披露但至今未发生变化的内容，本补充法律意见不再重复披露。
    
    四、除非文义另有所指，《法律意见书》《律师工作报告》《补充法律意见书（一）》中的前提、假设、承诺、声明事项、释义适用于本《补充法律意见书》。
    
    五、本《补充法律意见书》中所称“报告期”是指2017年度、2018年度、2019年度及2020年1-6月。
    
    六、本《补充法律意见书》仅供发行人本次发行上市之目的使用，未经本所承办律师书面同意，不得用作任何其他目的。
    
    七、本所持有北京市司法局颁发的律师事务所执业许可证，证号为31110000400000448M，住所为北京市西城区金融街19号富凯大厦B座12层，
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
    负责人为王丽。
    
    八、本《补充法律意见书》由沈宏山律师、李晓新律师、李珍慧律师共同签署，前述承办律师的联系地址为上海市虹口区东大名路 501 号上海白玉兰广场23层，联系电话021-55989888，传真021-55989898。本所承办律师根据有关法律、法规，在充分核查验证的基础上，出具本《补充法律意见书》。
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
    第二部分《问询函》问题回复
    
    问题1、关于技术来源
    
    根据反馈回复，（1）发行人实际控制人程卓及核心技术人员何少锋、方林均曾在合肥芯硕任职；（2）程卓参与合肥芯硕重整等事宜之后对直写光刻设备制造业产生兴趣，陆续与一些高校的电子、光学、机械等领域的专家进行研发合作，与其签署了《开发合作协议》，独立进行一些光学、电子、机械等技术的研究及积累；（3）发行人成立不久即申请大量专利系发行人依托前期的技术积累，借鉴了国内外一些最新的公开技术方向，再结合方林、何少锋等公司早期员工提供的辅助性咨询与建议，在此基础上提交了多项技术的专利申请；（4）发行人早期专利发明人为财务人员系公司正处于初创期，包括研发制度在内的各项规章制度正处于不断完善过程中，同时研发团队成员也处于一个动态变化的过程中，因此公司发明名义发明人登记为实际控制人指定的财务人员；（5）发行人聘请了第三方知识产权服务机构智慧芽信息技术（苏州）有限公司，对发行人与合肥芯硕的专利进行比对认证, 比对结果认定：发行人产品相关技术方案与合肥芯硕专利存在明显差异，发行人的产品未落入合肥芯硕专利的保护范围。
    
    请发行人说明：（1）合肥芯硕的基本情况，其主营业务、主要产品及客户、技术人员、销售人员与发行人是否存在重合及具体的重合情况，发行人业务与技术是否与合肥芯硕存在关联；（2）提供实际控制人程卓与高校专家签订的《开发合作协议》文本, 说明发行人实际控制人程卓与高校专家合作研发的背景、协议签订时间及履行情况，协议的主要内容，形成的主要成果及权属约定，是否存在纠纷或潜在纠纷，除实际控制人程卓外，发行人及其相关人员是否存在其他与高校等机构或外部专家的研发合作情况，如有，请说明具体情况并提供相关协议；（3）发行人各项专利的立项时点、研发过程及时间、实际发明人及专利申报时点等情况，并结合相关情况说明发行人初创期研发团队成员动态变化的具体过程，实际发明人及参与研发的主要人员背景，是否具备相应的研发能力，方林与何少锋在发行人初创期研发过程中发挥作用的时点及发挥的的具体作用，相关专利是否属于方林、何少锋前任职单位的职务发明创造、权属是否存在瑕疵；（4）发行人聘请的第三方知识产权服务机构相关结论的权威性、客
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
    观性, 发行人相关产品是否落入合肥芯硕专利权保护范围，是否侵犯了合肥芯硕
    
    专利权；（5）发行人产品研发及客户开发的历史沿革, 申请的相关专利在发行人
    
    产品开发中发挥的具体作用，并结合上述情况，进一步说明发行人技术及业务
    
    是否来源于合肥芯硕，是否存在纠纷或潜在争议，发行人较短时间内开发出产
    
    品与所处行业具有较高技术门槛的论述是否存在矛盾。
    
    请发行人律师对上述事项进行核查并发表明确意见。
    
    回复：
    
    本所承办律师履行了包括但不限于如下查验程序：
    
    1．查阅了合肥芯硕的工商档案及公开的法院判决信息、和解协议等；2．访谈程卓、方林、何少锋；3．查阅程卓与高校专家签署的《开发合作协议》，查阅发行人与专家签署的《技术顾问聘用协议书》；4．访谈程卓合作的相关的高校专家，访谈发行人合作的专家；5．查阅发行人提供的专利证书及专利申报材料，查阅研发人员的背景资料；6．查阅智慧芽出具的《专利分析报告》，查阅智慧芽的资质证书，查阅智慧芽出具的《声明》；7．查阅发行人历年的合同台账、审计报告等。
    
    （一）合肥芯硕的基本情况，其主营业务、主要产品及客户、技术人员、销售人员与发行人是否存在重合及具体的重合情况，发行人业务与技术是否与合肥芯硕存在关联
    
    1．合肥芯硕的基本情况
    
           企业名称                           合肥芯硕半导体有限公司
       统一社会信用代码                        91340100MA2MXT4483
           企业类型                      有限责任公司（自然人投资或控股）
           注册资本                               5659.81804万元
          法定代表人                                  熊海保
           成立日期                                  2006-04-26
           营业期限                            2006-04-26至2056-04-26
             住所                 安徽省合肥市经济技术开发区锦绣大道北、习友路东
    
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
           经营范围        生产和销售集成电路设备及软硬件相关产品。（依法须经批准的项目，
                                        经相关部门批准后方可开展经营活动）
           股权架构        中夏芯基（上海）科技有限公司持股83.98%；吴泽涛持股7.41%；陈
                                  和明持股3.62%；余国彩持股2.94%；刘全持股2.06%
           经营现状                        自2015年底至今，经营基本停滞
    
    
    2．合肥芯硕主营业务、主要产品及客户、技术人员、销售人员与发行人是否存在重合及具体的重合情况
    
        项目            合肥芯硕                   发行人            是否存在重合情况的
                                                                            说明
                                          工商登记的经营范围为：集
                                          成电路、印刷电路、平板显
                工商登记的经营范围为：生  示、平板印刷、新能源工业
                产和销售集成电路设备及    领域的高端制造装备及软硬
      主营业务  软硬件相关产品（依法须   件产品的研发、生产、销售； 二者工商登记的业务
                经批准的项目，经相关部门  自营和代理各类商品的进出   范围存在部分重合
                批准后方可开展经营活动）  口业务（国家法律法规限定
                                          或禁止的除外）（依法须经批
                                          准的项目，经相关部门批准
                                          后方可开展经营活动）
                主要产品为半导体领域的    主要产品为PCB直接成像设   两者产品的基本原理
      主要产品  直写光刻与检测设备，主要 备，主要用于下游PCB企业   存在相通之处，具体应
                用于高校及科研院所的研    大规模产业化生产           用领域存在差异
                发、实验、测试
                1、2012年前，合肥芯硕的
                主要客户为湖南大学、中国  1、2015 年、2016 年，发行
                电子科技集团公司第十一    人销售收入为  9.86 万元、
                研究所、中国电子科技集团  517.69万元；
                公司第十三研究所、中国科  2、2017年-2019年，发行人
                学院半导体研究所、华中科  经 审 计 的 销 售 收 入 为
                技大学；                  2,218.04万元、8,729.53万元   合肥芯硕的主要客户
                2、2013年初至2014年4      和20,226.12万元，主要收入   为高校、科研院所，提
                月，合肥芯硕业务停滞，仅  来源于PCB直接成像设备收   供的设备主要应用于
                剩不到10名技术人员；      入，占主营业务收入的比例   高校、科研院所的研
                3、2014年4月，合肥芯硕    分别为  82.21%、60.11%和   发、实验、测试；发行
                债转股重组完成后重启经    95.14%。                   人的客户主要为  PCB
      主要客户  营；                     3、发行人客户主要为  PCB  生产企业，提供的设备
        情况    4、2013年、2014年，合肥  生产厂商，主要包括深南电   用于其产业化生产，因
                芯硕经审计的销售收入分    路、健鼎科技、胜宏科技、   此对于设备的产能、良
                别为0万元、1,087.71万元，  景旺电子、罗奇泰克、宏华   率、稳定性、可靠性等
                净利润分别为-1,114.86  万  胜（鸿海精密之合（联）营   性能要求较高。二者的
                元、-996.51万元，连续两   公司）、富仕电子、博敏电   客户群体存在较大差
                年经营亏损，客户主要为中  子、红板公司、相互股份、   异。
                国电子科技集团公司第三    柏承科技、台湾软电、迅嘉
                十八研究所、中国科学技术  电子、珠海元盛（中京电子
                大学、西安微电子技术研究  下属公司）、普诺威（崇达
                所（771所）；             技术下属公司）、矽迈微等
                5、2015年1月，因合肥芯    PCB厂商。
                硕与合肥海恒代建工程合
                同纠纷一案，合肥芯硕公司
    
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
        项目            合肥芯硕                   发行人            是否存在重合情况的
                                                                            说明
                账户被合肥市中级人民法
                院冻结，生产经营进一步陷
                入困境，导致当年5月、6
                月无法按时发放员工工资、
                缴纳社保等，员工陆续离
                职，业务基本停滞。
                                                                    2014年4月-2015年6
                2014年4月，合肥芯硕重                               月，合肥芯硕重启经
                启经营时技术人员不到 10                             营，技术及销售员工由
                人（含操作技工），无销售                            不到 10 人增至 50 多
                人员；至2015年6月，合                               人，多数人是2014年4
                肥芯硕技术人员（含应用及  截至2019年末，发行人技术   月重启经营后新入职
     技术人员、 生产）约50人左右，销售   人员共61人，其中15人曾     的员工；
      销售人员  人员约5人左右；          在合肥芯硕任职；发行人销   2015年至今，原合肥芯
                2015 年起，因经营进一步  售人员共13人。             硕20名技术人员自主
                陷入困境，不能按时发放工                            择业加入发行人（人员
                资、缴纳社保，人员陆续离                            也在动态变化，后有5
                职。截至2015年10月，合                              人离职），原合肥芯硕
                肥芯硕遣散所有人员。                                并无销售人员加入发
                                                                    行人。
    
    
    注：上表合肥芯硕的历年客户、人员变动情况均根据访谈曾任职于合肥芯硕的员工方林、何少锋、张玉喆、曹永珍等人，合肥芯硕2013年、2014年财务数据来源于九州会审字[2015]第315号审计报告。
    
    3．发行人业务与技术是否与合肥芯硕存在关联
    
    如上表所述，合肥芯硕与发行人均基于光学、机械、电子、软件等相关学科的基本原理进行研发，并最终分别形成直写光刻设备供下游客户使用。因此，二者的直写光刻设备在技术基本原理方面存在相通之处。
    
    但是，除基本原理外，直写光刻设备的产业化开发还需结合自身的生产工艺条件、市场需求并进行大量、持续的下游客户工艺验证，因此二者的直写光刻设备在具体技术路线和主要下游应用领域等方面存在明显差异。其中，合肥芯硕的主要产品为半导体领域的直写光刻设备，下游客户主要为高校及科研院所，其设备主要应用于上述客户的研发、实验和测试；而发行人的主要产品为PCB领域的直接成像设备，客户主要为PCB生产企业，其设备应用于PCB制造业的大规模产业化生产。
    
    此外，发行人部分技术员工曾就职于合肥芯硕，因此二者在人员上存在一定关联，上述员工入职发行人均为其自主择业的结果。发行人在进行产品研发与专
    
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    利申请时采用了与合肥芯硕不同的技术路线，保证了研发成果的新颖性与创造性，
    
    而上述人员入职发行人后，均按照发行人的业务要求，依据行业公开技术资料，
    
    发挥其专业能力。
    
    综上所述，发行人与合肥芯硕除了同处于直写光刻设备制造领域外，不存在其他业务与技术的关联。
    
    （二）提供实际控制人程卓与高校专家签订的《开发合作协议》文本，说明发行人实际控制人程卓与高校专家合作研发的背景、协议签订时间及履行情况，协议的主要内容，形成的主要成果及权属约定，是否存在纠纷或潜在纠纷，除实际控制人程卓外，发行人及其相关人员是否存在其他与高校等机构或外部专家的研发合作情况，如有，请说明具体情况并提供相关协议
    
    1．提供实际控制人程卓与高校专家签订的《开发合作协议》文本，说明发行人实际控制人程卓与高校专家合作研发的背景、协议签订时间及履行情况，协议的主要内容，形成的主要成果及权属约定，是否存在纠纷或潜在纠纷
    
    （1）发行人已提供实际控制人程卓与高校专家签订的《开发合作协议》文本（见附件）。
    
    （2）发行人实际控制人程卓与高校专家合作研发的背景
    
    程卓2013年下半年受其姐姐程瑶委托处理合肥芯硕债转股事宜，彼时，合肥芯硕正处于业务停滞阶段，技术团队仅剩不到十人，研究开发实力不足；且在原控股股东意外身亡后，其家族人员无意继续接手经营，谋划控股权的出让，也导致合肥芯硕研发、经营、人员并不稳定。
    
    在经过多方面了解，加上自身机械设备行业的教育及从业经验，程卓认为合肥芯硕从事的直写光刻设备制造行业未来具有很大发展空间，也希望介入公司重组，在这个领域发挥自身的能力。基于此，程卓通过行业联盟了解到对光学、电子、机械、软件等方面背景较好的专家和技术人员，并与这些专家逐渐建立了联系与合作，通过业内交流和行业设备展会寻找一些研究开发方向，并委托他们进行了一些光、机、电、软等相关技术的研究及积累，并约定技术成果的所有权归属程卓。程卓希望未来通过资产注入、技术转让等方式借助合肥芯硕的平台进行
    
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    技术产业化。
    
    随着2015年6月，合肥芯硕重组失败，程卓发起设立发行人后，上述研究开发的成果即转为由发行人申报并形成部分专利（另有4项专利由亚歌半导体申报，报告期内由亚歌半导体无偿转让给发行人，详见招股说明书“第六节 业务与技术”之“五、与发行人业务相关的主要资产情况”）。程卓对上述事项确认如下：“在设立合肥芯碁后，本人已将上述技术成果的所有权无偿转让给合肥芯碁和亚歌半导体，合肥芯碁和亚歌半导体依此梳理其创新点后申请专利，该专利的所有权归属于合肥芯碁和亚歌半导体，本人与合肥芯碁、亚歌半导体之间不存在任何纠纷或潜在纠纷。”
    
    （3）目前，程卓与高校专家的《开发合作协议》均已履行完毕，履行情况正常，具体情况如下：
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
      序号   签订时间      专家              协议的主要内容                      形成的主要成果                   权属约定        是否存在纠纷或
        潜在纠纷
                                   整机控制系统、运动控制及驱动系统、 数据旋转的方案；整机控制流程的方案；  技术成果和相关知识
       1    2014年2月     王某     系统稳定性及可靠性等进行专题技术   运动误差补偿方案；光源能量及稳定性监  产权，其所有权归属程        否
                                   分析及研究，根据研究成果向专家支   控方案                                卓
                                   付劳务费
                                   图形、图像处理等进行专题技术分析   图形填充算法及填充方案；采用CUDA并   技术成果和相关知识
       2    2014年3月     吴某     及研究，根据研究成果向专家支付劳   行处理及数据压缩方案；机械运动误差数  产权，其所有权归属程        否
                                   务费                               据补偿方案                            卓
                                   图形、图像处理等进行专题技术分析   图形填充算法及填充方案；采用CUDA并   技术成果和相关知识
       3    2014年3月     彭某     及研究，根据研究成果向专家支付劳   行处理及数据压缩方案；机械运动误差数  产权，其所有权归属程        否
                                   务费                               据补偿方案                            卓
                                   总体结构设计、精密定位运动平台及
                                   控制系统、机械结构总体设计及分析、 不同尺寸基板吸盘设计；机械模块温度控  技术成果和相关知识
       4    2014年8月     童某     机械振动分析等进行专题技术分析及   制方案；图像识别及定位方案；设备减震  产权，其所有权归属程        否
                                   研究，根据研究成果向专家支付劳务   方案及内部除尘方案                    卓
                                   费
                                   光机总体方案、光学照明系统、投影   图像识别及定位方案；多个光纤耦合方案；技术成果和相关知识
       5    2015年2月    杨宇航    成像系统、对位对焦系统等进行专题   光学方案设计；对准照明方式分析；线宽  产权，其所有权归属程        否
                                   技术研究，根据研究成果向专家支付   均匀性的工艺检测方法等                卓
                                   劳务费
    
    
    注：杨宇航于2016年4月，加入发行人，目前担任研发中心光学部负责人。
    
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    北京德恒律师事务所 关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
    2．除实际控制人程卓外，发行人及其相关人员是否存在其他与高校等机构或外部专家的研发合作情况，如有，请说明具体情况并提供相关协议
    
    除实际控制人程卓外，2015年7月，发行人与专家陈某（毕业于北京大学物理系半导体专业，微光刻领域技术专家）签订了《技术顾问聘用协议书》，协议主要内容如下：
    
    （1）聘用岗位及职责
    
    发行人聘用陈某担任技术顾问，协助发行人进行直写光刻技术原理的论证、技术方案的验证，以及终端应用角度为发行人直写光刻设备提供咨询及建议。
    
    （2）聘用期及工作时间
    
    聘用时间自2015年7月2日至2016 年12月31日。协议期满后，双方可协商续聘。
    
    （3）技术成果及归属
    
    陈某在发行人兼职期间，因履行职务或者主要是利用发行人的物质技术条件、业务信息等产生的技术成果、发明创造、产品、技术秘密或其他商业秘密信息，有关的知识产权均属于发行人所有。
    
    发行人已提供与陈某签订的《技术顾问聘用协议书》文本。
    
    除上述外，随着发行人产品产业化的推进，与上述专家的合作形式逐渐转变为讲座、论坛、研讨会等合作形式。同时，随着发行人发展壮大、知名度提升及管理规范化，发行人还陆续与安徽大学电子信息工程学院、中国科学技术大学微纳研究与制造中心、中国科学院重庆绿色智能技术研究院、中科院合肥技术创新工程院等单位积极开展产学研合作研发，具体详见招股说明书“第六节”之“八、发行人核心技术与科研实力”之“（六）合作研发情况”。
    
    （三）发行人各项专利的立项时点、研发过程及时间、实际发明人及专利申报时点等情况，并结合相关情况说明发行人初创期研发团队成员动态变化的具体过程，实际发明人及参与研发的主要人员背景，是否具备相应的研发能力，方林与何少锋在发行人初创期研发过程中发挥作用的时点及发挥的具体作用，相关专利是否属于方林、何少锋前任职单位的职务发明创造、权属是否存在瑕北京德恒律师事务所 关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
    疵
    
    成立初期（2015年-2016年），发行人在光学、机械、电子及软件等学科的专家协助下，并结合员工积累的行业经验，形成了一批偏基本原理的基础层专利技术，该等专利技术对原理样机的研制具有一定的价值，但与下游应用市场需求尚存在较大差距。基于上述偏基本原理的基础层技术以及公开的技术资料，发行人自行研制出只具备实现基本功能和原理性能的原理样机，原理样机的研制过程相对比较简单。
    
    自2016年起，发行人的研发团队不断发展壮大，部分具有丰富行业经验的研发技术人员加入发行人，增强了发行人的产品开发能力。发行人通过结合市场应用和客户需求进一步对原理样机进行了持续工程优化后，开发出初步满足市场应用和客户需求的工程样机，但该工程样机至机型最终成熟需要经历艰难的客户验证周期。
    
    2017 年起，发行人的工程样机经中小型客户的不断试错、调试、改进，并逐渐实现了设备的定型化。在此验证过程中，发行人形成了与产业初步融合的应用层技术，并积累了设备设计、制造和应用等方面的改善经验。经中小型客户验证成功后的机型，再推广至部分行业标杆客户处使用，通过标杆客户的大规模量产验证后最终形成高速量产型的成熟机型。在此验证过程中，发行人进一步形成了与产业深度融合的应用层技术，该等技术包含诸多技术经验和技术诀窍，构筑了较高的技术壁垒。
    
    发行人产品各阶段演进过程、基础层技术及应用层技术对各阶段产品贡献情况如下图所示：
    
    北京德恒律师事务所 关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
    方林与何少锋等来自合肥芯硕的员工在发行人初创期的产品研发过程中，主要提供了行业公开资料、行业通用的技术路线以及行业内其他企业的公开技术资料，并非上述专利的实际发明人，不属于其原任职单位的职务发明。因此，发行人的相关专利技术的权属不存在瑕疵。
    
    报告期内，发行人各项专利的属性、后续工程化情况、申报时点、研发过程及时间、实际发明人及参与研发的主要人员及背景，方林与何少锋在发行人初创期研发过程中发挥作用的时点及发挥的具体作用，如下表：
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
      序   核心   专利保护    专利   专利后续工               专利研发过程、时间               立项时点     专利申报      发明人     主要研发辅   方、何二人
      号   技术     措施      属性    程化情况                                                （见注释）      时间                     助成员       的作用
                                                  根据公开技术资料和技术分析，设备曝光的实际
                  1、一种                         图形，和理论设计图形可能存在偏差，如何对曝
                  PCB曝光     应用                光图形的正确性进行快速验证，成为一个技术课                            陈某（教授，
                  图形正确    层技      采用      题，针对此课题：                              2015/10     2015/11/20   北京大学物        -            -
                  性验证方     术                 2015.10，陈某提出在设备调试阶段，可以利用设                            理系半导体
                  法                              备必备的对位CCD摄像系统对标准版图形与实                              专业，下同）
                                                  际标准版曝光图形进行采集对比，确保曝光图形
                                                  的正确性的专利想法。
                  2、具有抗                       2014年下半年，程卓通过行业展会得知，部分厂                            王某（合肥                何少锋提供
                  拼接撕裂                        家LDI设备是采用多个曝光镜头同时进行曝光                               工业大学工                了光刻设备
                  用于激光    基础                的，其后程卓咨询技术人员得知该方案拼接问题                            学博士，教                和直写光刻
                  直写成像    层技      采用      是其难点，就该问题委托专家进行咨询研究。    2015/7（*）    2015/9/9    授，主要从        -        设备的一些
                  设备的扫     术                 2015年上半年，王某提出了可以通过控制软件补                            事电气自动                公开资料，如
           系统    化领域的教                美国球形半描曝光方偿运动过程中的平台偏摆误差的想法。
      1    集成    学及科研，                导体的公开法2015.7，发行人将上述专利想法进行专利撰写。
           技术    杨下宇同航）（长             资料
        春理工大学
                                                  2014年下半年，程卓通过行业展会得知，部分厂                             本科（测控
                  3、一种具                       家LDI设备是采用多个曝光镜头同时进行曝光                               技术与仪器
                  有倍率微    基础                的，就上述问题委托专家进行咨询研究。                                  专业）及研
                  调功能的    层技      采用      2015.5，杨宇航认为采用多个曝光镜头存在各光   2015/7（*）    2015/9/9    究生（仪器        -            -
                  光刻远心     术                 头倍率一致性的问题，提出镜头倍率可微调的想                            科学与技术
                  物镜                            法，并进行了建模仿真分析确认；                                        专业）；悉
                                                  2015.7，发行人将上述专利想法进行专利撰写。                             尼大学研究
        生（机械工
        程专业），
        下同）
                  4、一种双   基础      采用      根据行业公开信息，高产能是设备开发的重要发     2015/8      2015/9/30       王某           -        方林提供了
    
    
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    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
      序   核心   专利保护    专利   专利后续工               专利研发过程、时间               立项时点     专利申报      发明人     主要研发辅   方、何二人
      号   技术     措施      属性    程化情况                                                （见注释）      时间                     助成员       的作用
                  台面激光    层技                展方向，在保证高解析精度的前提下，如何实现                                                      奥宝科技设
                  直写曝光     术                 高产能成为一个技术课题，针对该问题：                                                            备提高产能
                  机及其控                        2015.7，陈某针对提高设备产能的方法建议借鉴                                                       的技术方案
                  制方法                          ASML的双台面方式；
                                                  2015.8，方林提供了国外竞争对手奥宝科技设备
                                                  提高产能的技术方案；
                                                  2015.8，王某提出采用左右双台面的方式，同样
                                                  可以实现曝光时间、对准时间和上下板时间并
                                                  行，在此基础上形成了左右双台面的专利想法。
        童某（安徽
                  5、一种直                       2015年上半年，童某与杨宇航进行技术讨论，结                            工业大学工
                  写式光刻    基础                合行业展会中了解的公开技术资料，逐步形成了                            学博士，主   杨文（硕士，
                  机缩影物    层技      采用      利用对准中的图像识别定位技术和高精密运动    2015/7（*）    2015/9/30    要从事现代   机械工程专        -
                  镜的倍率     术                 平台组合，测算出光头的倍率。                                          机械设计理   业，下同）
                  标定方法                        2015.7，发行人将上述专利想法进行专利撰写。                             论与方法的
        教学和科研
        工作，下同）
                                                  根据国外同行公开的技术资料可知，图形发生器
                  6、一种直                       倾斜特定角度可实现亚像素的分辨率，但是其倾
                  写式光刻                        斜角的要求极高，如何测量图形发生器的倾斜
                  机图形发    基础                角，并保证多个图形发生器倾斜角的一致性，成
                  生器的角    层技      采用      为技术课题，针对该课题：                       2015/8      2015/9/30       童某         杨文           -
                  度标定方     术                 2015.8，童某提出利用对位中的图像识别定位技
                  法                              术和高精密运动平台组合，利用测量DMD的投
                                                  影和平台的角度，测算出DMD的角度的专利想
                                                  法。
                  7、一种用   基础                根据直写光刻的基本原理和国外同行的公开资                              杨宇航、夏
                  于标定多    层技      采用      料，其对位系统采用多路对准相机，而多路对准    2015/11     2015/11/20   焱（本科，        -            -
                  个相机平     术                 相机在系统中的相对位置关系需要精确保证，如                            光信息科学
    
    
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    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
      序   核心   专利保护    专利   专利后续工               专利研发过程、时间               立项时点     专利申报      发明人     主要研发辅   方、何二人
      号   技术     措施      属性    程化情况                                                （见注释）      时间                     助成员       的作用
                  行性的装                        何保证位置精确成为技术课题：                                           与技术专
                  置及方法                        2015.11，杨宇航、夏焱讨论后提出可以采用不同                            业，下同）
                                                  对准相机看同一靶标在Z轴不同高度下的偏差，
                                                  进行对准相机的平行性测量的专利想法。
                                                  根据光刻应用的特点可知，光刻图形一般为多
                  8、一种基                       层，每次光刻完成其中一层图形，每一图层的光                                         黄明波（硕
                  于无掩膜                        刻均须保证与前一层光刻图形的相对位置关系，                                         士，物理电
                  直写系统    基础                如何实现图层与图层之间的图形位置关系，成为                                         子学专业）、
                  套刻曝光    层技      采用      一种技术课题，针对此课题：                     2016/2      2016/7/22       王某      卞洪飞（硕        -
                  的定位方     术                 2016.1，陈某提出利用对位信息，再根据实际的                                          士，软件工
                  法                              位置生成该位置的曝光图形来实现套刻；                                               程专业，下
                                                  2016.2，王某提出可以使用数据旋转代替平台旋                                             同）
                                                  转的专利想法。
                                                  根据国外同行发布的公开技术资料得知，其光刻
                                                  设备配载了不同倍率的曝光物镜。如何实现不同
                  9、一种用                       倍率光刻物镜的快速切换，成为技术课题，针对
                  于光刻机    基础                该课题：                                                                           沈显勇（机
                  对准曝光    层技     未采用     2015.11，陈某提出海德堡设备是采用更换镜头实    2016/1       2016/2/3    杨宇航、夏   械专业工程        -
                  工序的物     术                 现不同倍率的镜头配置，提出是否可以自动切换                                焱          师）
                  镜切换装                        支持不同倍率的镜头；
                  置                              2016.1，杨宇航、夏焱讨论后提出利用棱镜柱分
                                                  光和反射面组合进行不同倍率光学镜头的切换
                                                  的专利想法。
           光刻   1、一种无                       根据光刻的基本原理可知，照明系统的均匀性直
           紫外   掩膜光刻    应用                接影响到曝光线宽的均匀性，要确保其照明的均
      2    光学   直写系统    层技      采用      匀性，必须先有照明均匀性的快速、准确的测量     2015/8       2015/9/9       陈某           -            -
           及光   的照明均     术                 方法，针对该课题：
           源技   匀性测试                        2015.8，陈某提出利用曝光工艺检测照明均匀性
            术    方法                            的专利想法。
    
    
    8-3-17
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
      序   核心   专利保护    专利   专利后续工               专利研发过程、时间               立项时点     专利申报      发明人     主要研发辅   方、何二人
      号   技术     措施      属性    程化情况                                                （见注释）      时间                     助成员       的作用
                                                  激光器的应用特性可知，其工作过程会发热升
                  2、一种用                       温，温度升高影响激光器的输出光功率，因此必                            李辉（硕士， 王历先（本
                  于半导体    应用                须对激光器的温度进行控制，针对该问题：                                流体机械及   科，过程装
                  激光器的    层技      采用      2016.7，为了解决专利"一种用于激光直写曝光机    2016/7      2016/7/22    工程专业，   备与控制工        -
                  循环水冷     术                 的高功率紫外半导体激光器"的散热问题，李辉和                             下同）     程专业，下
                  却装置                          王历先讨论后提出了水冷散热（用流动的冷却水                                            同）
                                                  带走激光光源所产生的热量）的专利想法。
                                                  为了提升LD激光光源的性价比，保证激光光源
                  3、一种LD                       的供应链安全，需要考虑发展LD激光光源自主                                           杨宇航、张
                  激光器组    应用                组装的能力，针对该问题：                                                           小鹏（本科，
                  件的装配    层技      采用      2016.7，为了解决专利"一种用于激光直写曝光机    2016/7      2016/7/22       夏焱      机械设计制        -
                  及检验方     术                 的高功率紫外半导体激光器"的装配问题，夏焱与                                         造及自动
                  法                              杨宇航与张小鹏讨论后提出了半导体激光器与                                              化）
                                                  光纤耦合的检测和对准效率的专利想法。
        李永强（本
        科，光信息
                  4、一种用                                                                                              科学与技术
                  于大倍率                        2017.9，在研制客户罗奇泰克定制设备时，因为                              专业，下
                  光刻设备    应用                镜头倍率大，单个CCD的视场范围小，调平工                              同）、杨宇                何少锋确认
                  光学系统    层技      采用      装效率低，李永强、吴琼、杨宇航、何伟等人提     2017/9      2018/3/19    航、吴琼（硕      -        了该技术方
                  的辅助       术                 出可以通过多个工业相机取像分析比对的方式，                            士，光学工                案，同意实施
                  DMD调平                        辅助DMD微镜面与运动平台的平行性调整的专                              程专业，下
                  装置                            利想法。                                                              同）、何伟
        （硕士，机
        械设计制造
        及自动化）
                  5、一种直   应用                2017.9，在研制客户罗奇泰克定制设备时，客户                             杨宇航、吴                何少锋参与
                  写光刻机    层技      采用      提出双波段UVLED曝光光源的要求，杨宇航、      2017/9      2018/3/19    琼、何少锋、      -        该专利的讨
                  中高利用     术                 吴琼、何少锋、李永强、项宗齐等人提出可以通                            李永强、项                论，并确认了
    
    
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    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
      序   核心   专利保护    专利   专利后续工               专利研发过程、时间               立项时点     专利申报      发明人     主要研发辅   方、何二人
      号   技术     措施      属性    程化情况                                                （见注释）      时间                     助成员       的作用
                  率高均匀                        过LED光源准直镜组、匀光镜组、激光透镜和转                            宗齐（本科，              该技术方案，
                  度的LED                         向棱镜形成具有高功率、高均匀性的LED照明系                            机械自动化                 同意实施
                  照明系统                        统的专利想法。                                                        专业，下同）
                  6、一种用                       针对PCB内层板双面图形对准对打标的标记形
                  于直写光                        状和精度要求很高，采用机械加工方式难以满足                            吴琼、张琦、              何少锋参与
                  刻设备中    应用                对准精度要求的问题，2017.6，吴琼、张琦、王                             王历先、项                该专利的讨
                  的MEMS    层技      采用      历先、项宗齐、何少锋等人在对TRIPOD100的      2017/6      2018/3/19    宗齐、何少        -       论，并确认了
                  光阑打标     术                 内层对准技术优化过程中，提出可以采用光刻的                                锋                    该技术方案，
                  装置                            方式制作打标图形标记光阑，取代机械加工的方                                                       同意实施
                                                  式的专利想法。
        魏云飞（本
        科，电子信
                  7、一种用                       2017.10，在研制客户罗奇泰克定制设备中，魏云                            息科学与技   伍凯（本科、
                  于UVLED    应用                飞、朱会敏提出了一种用于UVLED曝光机的强                              术专业，下   信息系统管   何少锋确认
                  曝光机的    层技      采用      电控制开关电路和接地方式，提高UVLED曝光     2017/10      2018/8/9    同）、朱会   理专业，下   了该技术方
                  强电控制     术                 机的稳定性的专利想法。                                                敏（本科，      同）      案，同意实施
                  开关电路                                                                                               电子信息工
        程专业，下
        同）
        CHEN
                  8、一种用    DONG（美国
                  于直写式    威斯康辛大
                  光刻机曝    应用                2018.9，为解决MLL-C900功率不稳定的问题，                                           学麦迪逊分   何少锋确认
                  光光源的    层技      采用      伍凯提出可以利用热敏电阻与光源进行集成，然     2018/9      2019/1/31       伍凯      校物理学博   了该技术方
                  反馈信号     术                 后利用热敏电阻测量曝光光源温度的专利想法。                                         士、美国亚   案，同意实施
                  采集电路    利桑那大学
                  系统    光学科学中
        心博士后，
        下同）、张
    
    
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    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
      序   核心   专利保护    专利   专利后续工               专利研发过程、时间               立项时点     专利申报      发明人     主要研发辅   方、何二人
      号   技术     措施      属性    程化情况                                                （见注释）      时间                     助成员       的作用
        浩为（本科，
        自动化专
        业）
                  9、一种用                       根据光机基本原理可知，由于装配误差因素的影                                         张琦（本科，
                  于检测曝    基础                响，其曝光系统的光轴与基准面的垂直度是需要                                         光信息科学
                  光系统光    层技      采用      检测和校正的，如何检测和矫正成为技术课题：    2015/10     2015/11/20      夏焱       与技术专         -
                  轴垂直度     术                 2015.10，夏焱提出了采用反射式过光轴中心的方                                         业，下同）
                  的装置                          式，检测曝光系统光轴垂直度的专利想法。
                                                  为了提升LD激光光源的性价比，保证激光光源
                  10、一种用                      的供应链安全，需要考虑发展LD激光光源自主
                  于激光直    基础                组装的能力，针对该问题：                                                           张宽（本科，  何少锋提出
                  写曝光机    层技      采用      2016.6，何少锋提出激光光源供应链安全性以及     2016/7      2016/7/22       夏焱      应用物理专   激光光源供
                  的高功率     术                 成本问题；                                                                         业，下同）   应链安全性
                  紫外半导                        2016.7，夏焱和张宽讨论后提出了将多路激光二                                                       及成本问题
                  体激光器                        极管独立耦合进光纤，再把光纤组合成束形成大
                                                  功率激光器的专利想法。
                  11、一种用                      根据LED的技术特性可知，其发光是按照扇形发
                  于直写曝                        散角度辐射的，发散角越大，光能量越分散。如
                  光机的      基础                何保证最大限度的收集光能量，提高能量利用
                  UVLED阵    层技     未采用     率，成为技术课题，针对该课题：                 2015/7       2015/9/9      杨宇航          -            -
                  列光源收     术                 2015.7，为了采用多个UVLED芯片组合成大功
                  集利用装                        率的UVLED曝光光源，杨宇航提出可以使用低
                  置                              成本的UVLED，结合复眼和光棒做照明的专利
                                                  想法。
                  12、一种用                      2015上半年，王某在进行光刻技术的控制研究
                  于直写式    基础                时，发现光源在不同温度时发光的特性会有一些
                  光刻机曝    层技     未采用     变化的特点，所以产生增加专门光源温度探测的  2015/7（*）    2015/9/30       王某           -            -
                  光光源的     术                 想法。
                  温度控制                        2015.7，发行人将上述专利想法进行专利撰写。
    
    
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    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
      序   核心   专利保护    专利   专利后续工               专利研发过程、时间               立项时点     专利申报      发明人     主要研发辅   方、何二人
      号   技术     措施      属性    程化情况                                                （见注释）      时间                     助成员       的作用
                  系统
                  13、一种适                      根据光机基本原理可知，光刻物镜在曝光过程中
                  用于不同    基础                存在发热升温现象，温度升高会导致光机元件的
                  管径的光    层技     未采用     热变形，从而影响物镜的光学性能，针对该问题：  2015/12      2016/2/3       夏焱           -            -
                  学镜筒水     术                 2015.12，为了解决温度对镜头成像质量的影响，
                  冷装置                          夏焱提出了使用水冷散热保持镜头的专利想法。
                  14、一种用                      为了提升多波长紫外激光光源的性价比，保证激
                  于激光直                        光光源的供应链安全，需要考虑发展LD激光光                                           何少锋（本
                  写曝光机    基础                源自主设计及组装的能力，针对该问题：                                               科，应用物
                  的多波长    层技     未采用     2016.7，为解决感光材料的曝光速度问题，张宽     2016/7      2016/7/22       张宽      理学专业，        -
                  紫外半导     术                 和何少锋、王历先讨论后提出了利用多路、多种                                         下同）、王
                  体激光器                        波长的激光二极管耦合独立进入光纤，再使光纤                                            历先
                                                  组合成束，形成多波长混合光源的专利想法。
                                                  根据光刻技术的基本原理可知，光刻过程中需要
                                                  保证曝光基板与物镜成像焦面重合，针对大负载                                                       何少锋提出
                  1、一种用                       的工件台，如何实现快速对焦响应，成为技术课                                         李辉、高天   需要为了解
                  于激光直    应用                题：                                                                               （硕士，信   决原来PCB
           高精   写曝光机    层技      采用      2017.6，何少锋提出原来PCB的Z轴在大负载下      2017/6      2018/3/19      张小鹏     号与信息处   的Z轴在大
           度高   的自动升     术                 对焦响应慢，可靠性差问题；                                                         理专业，下   负载下对焦
           速实   降的Z轴                         2017.6，张小鹏在TRIPOD200项目开发设计，提                                             同）      响应慢，可靠
      3    时自   装置                            出通过楔形块的相对运动，把水平位移转为垂直                                                       性差问题
           动对                                   位移，提高Z轴在大负载下的响应和精度的专利
           焦技                                   想法。
            术    2、一种大                       在客户1250mm*1250mm大基板尺寸项目中，李
                  幅面真空    应用                辉、李香滨发现吸盘平面度差，并于2018.11提                              李辉、李香
                  吸盘平面    层技      采用      出了结合测量进行二次精修的方式改善吸盘平      2018/11      2019/1/31        滨            -            -
                  度加工装     术                 面度的专利想法。
                  置
    
    
    8-3-21
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
      序   核心   专利保护    专利   专利后续工               专利研发过程、时间               立项时点     专利申报      发明人     主要研发辅   方、何二人
      号   技术     措施      属性    程化情况                                                （见注释）      时间                     助成员       的作用
                                                  根据光刻原理可知，光刻过程中，需要实时保证
                                                  光刻物镜的实时焦面调整。针对封装机型物镜焦
                  3、一种用                       深小，精度高、响应快的特点，其对焦技术成为                                                      何少锋提出
                  于直写光                        技术课题：                                                                         何少锋、胡   在封装载版
                  刻封装机    基础                2017.12，何少锋提出ACURA280设备焦深短，                                           刚（本科，   领域的设备
                  型中的高    层技      采用      需要增加对焦功能模块；                        2017/12      2018/3/19       吴琼      机械设计及   需要增加对
                  精度调焦     术                 2017.12，吴琼在和胡刚、张琦等人讨论后提出可                                        制造专业）、 焦功能模块，
                  装置                            以对201510568711.3的专利进行优化，通过高精                                             张琦      并且同意该
                                                  度激光位移对焦面进行实时检测，并通过楔形棱                                                       专利工程化
                                                  镜运动对焦面进行实时调整，保证曝光面与成像
                                                  焦面的重合的专利想法。
                  4、一种用                       根据光刻技术的基本原理可知，曝光过程中需要
                  于无掩膜                        实时保证光刻物镜的焦面与曝光面的重合，否则
                  光刻直写    基础                会产生离焦并影响成像质量，如何实时调整物镜
                  系统的调    层技     未采用     的焦面与曝光面重合，成为技术课题：             2015/8       2015/9/9      杨宇航          -            -
                  焦装置及     术                 2015.8，杨宇航提出可以采用楔形棱镜和阶梯棱
                  其调焦方                        镜组合的技术进行曝光镜头独立调焦的专利想
                  法                              法。
                                                  根据光刻技术的基本原理可知，曝光过程中需要
                  5、一种用                       实时保证光刻物镜的焦面与曝光面的重合，否则
                  于无掩膜    基础                会产生离焦并影响成像质量，如何实时调整物镜
                  光刻直写    层技     未采用     的焦面与曝光面重合，成为技术课题：             2015/8       2015/9/9      杨宇航          -            -
                  系统的调     术                 2015.8，杨宇航提出可以采用楔形棱镜和阶梯棱
                  焦装置                          镜组合的技术进行曝光镜头独立调焦的专利想
                                                  法。
                  6、一种用   基础                根据光刻技术的基本原理可知，曝光过程中需要                            巩郑（本科，
                  于镜筒调    层技     未采用     实时保证光刻物镜的焦面与曝光面的重合，否则     2016/7      2016/7/22    机电一体化   李辉、夏焱
                  焦的微调     术                 会产生离焦并影响成像质量，其中通过物镜部分                              专业）                       -
                  装置                            组件微调的方式可以快速调整焦面，针对该问
    
    
    8-3-22
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
      序   核心   专利保护    专利   专利后续工               专利研发过程、时间               立项时点     专利申报      发明人     主要研发辅   方、何二人
      号   技术     措施      属性    程化情况                                                （见注释）      时间                     助成员       的作用
                                                  题：
                                                  2016.7，巩郑与李辉和夏焱讨论后在TRIPOD100
                                                  的优化设计时提出可以通过调整镜头的安装单
                                                  面和调节座之间的距离变化改变镜头与焦面之
                                                  间的距离，解决多个曝光镜头焦面一致性的专利
                                                  想法。
                                                  2017.12，何少锋提出利用显微镜进行AOI开发                                            何少锋、黄   何少锋提出
                  7、一种显   基础                的可能性探讨；                                                                     胜洲（博士，  利用显微镜
                  微镜自动    层技     未采用     2018.1，胡刚提出显微镜自动对焦需要电机控制     2018/1      2018/3/19       胡刚      仪器科学与   进行AOI开
                  对焦装置     术                 Z轴上下移动的专利想法。                                                            技术专业）   发的可能性
        探讨
                  1、一种激                       根据光刻制程的应用特点可知，PCB基板曝光过
                  光直写曝    应用                程中，需要保证PCB板上下曝光面的相对位置关                                         李智（本科，
                  光机内层    层技      采用      系，针对该问题：                              2015/10     2015/11/20      陈某      测控技术与        -
                  对位精度     术                 2015.10，陈某提出可以采用先做通孔，可以通过                                         仪器专业）
                  的测量方                        测量两面曝光图形相对通孔的偏差，计算对两面
           高精   法                              的对位偏差的专利想法。
           度高   2、一种用                       根据市场需求调研和竞争对手的公开资料，半导
           速对   于半导体                        体光刻需要考虑针对不同尺寸基板的吸附装置，                                                      方林提供了
      4    准多   无掩膜直    应用                针对该问题：                                                                       王厉先、沈   行业内通用
           层套   写曝光设    层技      采用      2015.11，客户提出需要兼容不同尺寸基板；        2016/1       2016/2/3       童某         显勇      的定位调节
           刻技   备的吸盘     术                 2016.1，童某提出可以采用两个可垂直方向滑动                                                      方式
            术    定位装置                        的滑块和滑槽，使得吸盘可适用于不同基板的尺
                                                  寸的专利想法。
                  3、一种直                       2016.10，何少锋提出不同材质的曝光基板如何准                            吴琼、曹永     蔡潍（硕   何少锋提出
                  写光刻设    应用                确抓取靶标的问题；                                                    珍（硕士，   士，光学专   不同材质的
                  备中的双    层技      采用      2016.12，吴琼、曹永珍、何少锋提出采用同轴光    2016/12     2016/12/31   凝聚态物理   业，下同）、  基板如何准
                  光源双照     术                 源和环形光源两种双光源的照明方式，实现明暗                            专业）、何      高天      确抓取靶标
                  明方式的                        双照明，改善对准照明的适应性的专利想法。                                 少锋                   的问题并参
    
    
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    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
      序   核心   专利保护    专利   专利后续工               专利研发过程、时间               立项时点     专利申报      发明人     主要研发辅   方、何二人
      号   技术     措施      属性    程化情况                                                （见注释）      时间                     助成员       的作用
                  图像采集    与该专利的
                  装置    讨论
                  4、一种激                       2017.9，何少锋提出需要解决靶点被不同感光材                                                       何少锋提出
                  光直写光                        料覆盖能识别的适应性；                                                吴琼、张琦、              需要从光学
                  刻设备中    应用                2017.9，吴琼、张琦、范云瑞、项宗齐、何少锋                             范云瑞、项                角度解决该
                  的双波段    层技      采用      在TRIPOD100S的测试中，提出采用双波段环形     2017/9      2018/3/19    宗齐、何少        -        问题并参与
                  高精度机     术                 光源实现双波长亮度可配比照明的图形采集系                                  锋                    该专利的讨
                  器视觉系                        统，满足高对比度、高精度、高速度的采集要求                                                          论
                  统                              的专利想法。
                  5、一种用
                  于激光直    应用                在对TRIPOD100优化设计时, 2017.7，项宗齐提                                                       何少锋确认
                  接成像设    层技      采用      出可以用于实现激光直接成像设备的层间内层       2017/7      2018/3/19      项宗齐        李辉      了该技术方
                  备的内层     术                 对准的专利想法。                                                                                案，同意实施
                  对准装置
        何少锋认为
        采用非标尺
        寸的客户需
                  6、一种用                       根据市场需求调研和竞争对手的公开资料，半导                                                      求少，已有手
                  于半导体                        体光刻需要考虑针对不同尺寸基板的吸附装置，                                                      动的方式，同
                  无掩膜直    应用                针对该问题：                                                           王历先、项    李辉、张   时这类需求
                  写曝光设    层技     未采用     2016.11，王历先、项宗齐对2016201090298专利，   2016/11     2016/12/31      宗齐         小鹏      的客户也是
                  备的吸盘     术                 提出不同尺寸基板可以采用电机控制垂直两个                                                        手动操作，所
                  定位装置                        方向滑块的移动，实现基板自动定位的专利想                                                        以没有必要
                                                  法。                                                                                            采用电动，没
        有批准该专
        利后续工程
        化
                  7、一种具   基础     未采用     2015.5，杨宇航研究光刻对准的光学系统，认为   2015/7（*）    2015/9/30      杨宇航          -            -
                  有背面对    层技                半导体现有的红外背面对准，结构复杂，对基底
    
    
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    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
      序   核心   专利保护    专利   专利后续工               专利研发过程、时间               立项时点     专利申报      发明人     主要研发辅   方、何二人
      号   技术     措施      属性    程化情况                                                （见注释）      时间                     助成员       的作用
                  准功能的     术                 的要求高，认为可以利用反光镜的原理实现背面
                  无掩膜直                        对位。
                  写光刻机                        2015.7，发行人将上述专利想法进行专利撰写。
                  吸盘结构
        张琦、李香
                  8、一种直                                                                                              滨（硕士，                何少锋提出
                  写光刻系    基础                2016.9，何少锋提出如何解决PCB基板无孔对位                             机械电子工                 如何解决
                  统中用于    层技     未采用     的问题；                                      2016/11     2016/12/31   程专业，下      高天      PCB基板无
                  内层电路     术                 2016.11，张琦、李香滨、范云瑞提出可以采用红                            同）、范云                孔对位的问
                  板对位的                        紫双色光源进行靶标识别和打标的专利想法。                              瑞（本科，                    题
                  打标装置                                                                                               应用物理，
        下同）
                  1、直写光                       2018.12针对Tripod100设备，在没有激光干涉仪
                  刻曝光设    应用                的条件下，如何进行运动平台的正交性测量和问                                            CHEN     何少锋确认
                  备定位运    层技      采用      题排查成为一个技术课题，针对该问题：李辉、    2018/12      2019/3/25    李辉、项宗   DONG，卫攻  了该技术方
                  动平台正     术                 项宗齐、卫攻文等人提出利用图像检测的方式调                                齐       文（机械技   案，同意实施
           高精   交性调试                        整运动平台的正交性的专利想法。                                                        师）
           度多   装置
           轴高   2、一种精                       2015年上半年，童某在研究光刻技术的工件台
           速大   密定位平    基础                时，结合展会和研讨会，分析出平台的平面度在                                                      何少锋提供
      5    行程   台动态平    层技      采用      运动过程中会有变化，逐步提出了用Z轴聚焦和   2015/7（*）    2015/9/9       童某         杨文      了运动平台
           精密   面度的测     术                 平台运动组合可以对平台平面度进行测量的想                                                        方面的一些
           驱动   量方法                          法。                                                                                             公开资料
           控制                                   2015.7，发行人将上述专利想法进行专利撰写。
           技术   3、一种双                       根据行业公开信息，高产能是设备开发的重要发                                                      方林提供了
                  台面激光    基础                展方向，在保证高解析精度的前提下，如何实现                                                      国外竞争对
                  直写曝光    层技      采用      高产能成为一个技术课题，针对该问题：           2015/8      2015/9/30       王某           -        手奥宝科技
                  机           术                 2015.7，陈某针对提高设备产能的方法建议借鉴                                                       设备提高产
                                                  ASML的双台面方式；                                                                             能的技术方
    
    
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    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
      序   核心   专利保护    专利   专利后续工               专利研发过程、时间               立项时点     专利申报      发明人     主要研发辅   方、何二人
      号   技术     措施      属性    程化情况                                                （见注释）      时间                     助成员       的作用
                                                  2015.8，方林提供了国外竞争对手奥宝科技设备                                                           案
                                                  提高产能的技术方案；
                                                  2015.8，王某提出采用左右双台面的方式，同样
                                                  可以实现曝光时间、对准时间和上下板时间并
                                                  行，在此基础上形成了左右双台面的专利想法。
                  1、一种用
                  于卷对卷                        为解决卷对卷结构不能带动标定相机升降，而无
                  激光直写    应用                法进行曝光镜头位置的标定问题，2017.9，王历                                                       何少锋确认
                  曝光机的    层技      采用      先提出可以利用安装在升降气缸支架上的标定       2017/9      2018/3/19      王历先     李辉、高天   了该技术方
                  镜头位置     术                 相机，对卷对卷曝光机的光刻物镜进行相对位置                                                      案，同意实施
                  自动标定                        关系的自动标定的专利想法。
                  装置
                  2、一种用                       2017.5，在LDW-D1项目客户要求需要排查设备
                  于激光直    应用                的安全性和可靠性的隐患；                                              魏云飞、朱   伍凯、张浩   何少锋确认
           高可   写曝光机    层技      采用      2017.8，魏云飞、朱会敏提出可以增加漏水检测     2017/8       2018/8/9       会敏       为、高天    了该技术方
           靠高   的漏水检     术                 传感器，检测环控是否漏水的专利想法。                                                            案，同意实施
      6    稳定   测装置
           性及   3、一种用                       2017.5，在LDW-D1项目中客户要求需要排查设
           ECC   于无掩模    应用                备的安全性和可靠性的隐患；                                                         伍凯、张浩   何少锋确认
           技术   光刻机的    层技      采用      2017.7，魏云飞提出可以控制真空吸盘的真空度，   2017/7       2018/8/9      魏云飞      为、高天    了该技术方
                  真空吸附     术                 避免出现基板的局部突变的专利想法。                                                              案，同意实施
                  控制装置
                  4、一种用                       2017.5，在LDW-D1项目客户要求需要排查设备
                  于无掩膜    应用                的安全性和可靠性的隐患；                                                           伍凯、张浩   何少锋确认
                  光刻机的    层技      采用      2017.8，魏云飞提出可以增加互锁传感器，检测     2017/8       2018/8/9      魏云飞      为、高天    了该技术方
                  安全互锁     术                 所有面板的开关，改善设备安全性的专利想法。                                                      案，同意实施
                  装置
                  5、一种用   应用      采用      2017.11，魏云飞、朱会敏在对TRIPOD系列产品    2017/11      2018/8/9    魏云飞、朱   伍凯、张浩   何少锋提出
                  于激光直    层技                升级优化过程中，提出可以利用水冷机系统及温                               会敏       为、高天    急需解决对
    
    
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    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
      序   核心   专利保护    专利   专利后续工               专利研发过程、时间               立项时点     专利申报      发明人     主要研发辅   方、何二人
      号   技术     措施      属性    程化情况                                                （见注释）      时间                     助成员       的作用
                  写曝光机     术                 度控制系统，实现对曝光设备内部温度控制的专                                                      位问题，并且
                  的内部温                        利想法。                                                                                        尽可能利用
                  度控制装    现有条件解
                  置    决，确认了该
        技术方案，同
        意实施
                  6、一种用    何少锋提出
                  于激光直    应用                2018.4，为解决TRIPOD100/200机台的气动门运                                                       需要解决该
                  写曝光机    层技      采用      动不畅的问题，魏云飞提出可以通过各气动门、     2018/4      2018/11/26     魏云飞     伍凯、张浩   问题，同时确
                  气动门的     术                 控制阀、调节管路及控制装置的连接方式，实现                                          为、高天    认了该技术
                  控制装置                        气动门稳定平滑控制的专利想法。                                                                  方案，同意实
        施
        何少锋提出
                  7、一种直   应用                2019.1，为解决客户端一些基板吸附不平的问题，                                                     需要解决板
                  写光刻机    层技      采用      胡刚提出增加可移动的压条，进行吸、压结合的     2019/1       2019/4/2       胡刚      李辉、张浩   子吸附的问
                  吸盘压板     术                 方式固定曝光线路板的专利想法。                                                         为       题，同时确认
                  装置    了该技术方
        案，同意实施
                  8、一种用                       2019.4，为解决客户端因为采用压杆压板带来压
                  于激光直    应用                痕进而影响品质的问题，魏云飞、朱会敏、张浩                            魏云飞、朱
                  写曝光机    层技      采用      为提出了采用正压和真空组合的方式解决压杆       2019/4      2019/6/20    会敏、张浩        -            -
                  的气体压     术                 带来压痕问题的专利想法。                                                  为
                  板装置
                  9、一种用                                                                                              魏云飞、卞
                  于激光直    应用                2019.4，为解决客户端自动线真空发生器出现问                            显珊（本科，
                  写曝光机    层技      采用      题，魏云飞、卞显珊、卫国提出了通过增加保护     2019/4      2019/6/20    电气工程及        -            -
                  真空发生     术                 装置，解决真空发生器因为过流、过热而损坏的                             自动化专
                  器的保护                        问题的专利想法。                                                      业）、卫国
                  装置                                                                                                   （专科、应
    
    
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    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
      序   核心   专利保护    专利   专利后续工               专利研发过程、时间               立项时点     专利申报      发明人     主要研发辅   方、何二人
      号   技术     措施      属性    程化情况                                                （见注释）      时间                     助成员       的作用
        用电子技术
        专业）
                  10、一种用                      2014年下半年，王某在对光刻技术的整机控制进
                  于激光直    基础                行研究时，认为光源能量的控制非常关键，逐步
                  写曝光机    层技      采用      形成了利用光电探头进行曝光光源能量探测的    2015/7（*）    2015/9/9       王某           -            -
                  的激光能     术                 想法；
                  量测量装                        2015.7，发行人将上述专利想法进行专利撰写。
                  置
                                                  根据直写光刻的基本原理和国外同行的公开资
                  11、一种用                      料，其对位系统采用多路对准相机，而多路对准
                  于标定多    基础                相机在系统中的相对位置关系需要精确保证，如
                  个相机平    层技      采用      何保证位置精确成为技术课题：                  2015/10     2015/11/20      夏焱         张琦           -
                  行性的装     术                 2015.10，夏焱提出可以采用不同对准相机看同一
                  置                              靶标在Z轴不同高度下的偏差，进行对准相机的
                                                  平行性测量的专利想法。
                                                  根据直写光刻的基本技术原理可知，光刻设备各
                  12、一种使                      光头之间的位置关系及其变化，会影响各曝光条
                  用吸盘相                        带之间的拼接误差，如何对各曝光镜头之间相对
                  机标定曝    基础                位置关系进行实时的测量和校正，成为技术课
                  光机光路    层技      采用      题：                                           2015/8      2015/11/20      童某                        -
                  位置关系     术                 2015.8，童某提出利用对位中的图像识别定位技
                  的方法                          术和高精密运动平台组合，利用同一个吸盘相机
                                                  测量不同DMD中心投影在平台坐标，测算出各
                                                  曝光镜头的相对位置关系的专利想法。
                  13、一种用                      根据光刻制程的应用场景可知，合格率是客户端                                                      何少锋提供
                  于激光直    基础                关注的重要指标，曝光制程的灰尘是影响曝光良                                                      了行业内洁
                  写曝光机    层技     未采用     率的重要因素，如何在曝光过程中克服灰尘的影     2015/8       2015/9/9       童某           -        净度的标准
                  的自动粘     术                 响，成为技术课题：                                                                              以及常用控
                  尘装置                          2015.8，何少锋提供了行业内洁净度的标准以及                                                         制方式
    
    
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    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
      序   核心   专利保护    专利   专利后续工               专利研发过程、时间               立项时点     专利申报      发明人     主要研发辅   方、何二人
      号   技术     措施      属性    程化情况                                                （见注释）      时间                     助成员       的作用
                                                  常用控制方式；
                                                  2015.8，童某提出了在曝光腔体内内置粘尘滚轮
                                                  的专利想法。
                  14、一种激                      2015上半年，童某在研究光刻技术的环境控制
                  光直写式    基础                时，结合其参加行业展会时搜集的公开技术资
                  光刻机精    层技     未采用     料，提出采用计算机调整水冷机的温度进而控制  2015/7（*）    2015/9/9       童某         杨文           -
                  确温度控     术                 设备温度的专利想法。
                  制方法                          2015.7，发行人将上述专利想法进行专利撰写。
                                                  根据光刻制程的应用场景可知，合格率是客户端
                  15、一种用                      关注的重要指标，曝光制程的灰尘是影响曝光良                                                      何少锋提供
                  于激光直    基础                率的重要因素，如何在曝光过程中克服灰尘的影                                                      了业界洁净
                  写曝光机    层技     未采用     响，成为技术课题：                             2015/8       2015/9/9       童某           -        度的标准以
                  的自动吸     术                 何少锋提供了业界洁净度的标准以及常用控制                                                        及常用控制
                  尘装置                          方式；                                                                                             方式
                                                  2015.8，童某提出了在曝光腔体内采用真空吸尘
                                                  的专利想法。
                                                  2015上半年，童某在研究光刻设备结构时提出振
                  16、一种可  基础                动控制的重要性。结合其参加研讨会时搜集的国                                                      方林提供了
                  测振幅的    层技     未采用     外精密设备减震方案，产生了采用指针刻度和滚  2015/8（*）    2015/9/14       童某           -       光刻设备采
                  精密机台     术                 柱结构相结合，达到既具有减振又能测振的想                                                        用隔振的一
                  减振座                          法；                                                                                            些公开资料
                                                  2015.8，发行人将上述专利想法进行专利撰写。
                  17、一种用                      根据光刻制程的应用场景可知，合格率是客户端
                  于直写式                        关注的重要指标，曝光制程的灰尘是影响曝光良                                                      何少锋提供
                  光刻机      基础                率的重要因素，如何在曝光机的光刻过程中克服                                                      了业界洁净
                  PCB板的     层技     未采用     灰尘的影响，成为技术课题：                     2015/9      2015/9/30       童某           -        度的标准以
                  卷对卷粘     术                 2015.8，何少锋提供了业界洁净度的标准以及常                                                       及常用控制
                  尘装置                          用控制方式；                                                                                       方式
                                                  2015.9，童某提出了在曝光机内部内置粘尘滚轮
    
    
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    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
      序   核心   专利保护    专利   专利后续工               专利研发过程、时间               立项时点     专利申报      发明人     主要研发辅   方、何二人
      号   技术     措施      属性    程化情况                                                （见注释）      时间                     助成员       的作用
                                                  进行除尘的专利想法。
                                                  2016.8，在“一种用于激光直写曝光机的自动吸尘
                  18、一种    基础                装置”专利工程化的过程中，发现该专利没有除尘                           王历先、项
                  LDI自动     层技     未采用     效果；                                        2016/11     2016/12/31      宗齐         李辉           -
                  除尘装置     术                 2016.11，王历先和项宗齐提出在曝光腔内采用正
                                                  压的方式进行除尘的专利想法。
                  1、一种基
                  于CUDA                         结合MLL-C900在客户端应用时经常出现数据传                                          卞洪飞、高
                  技术的直    应用                输等待，严重影响产能的问题，2016.7，赵美云                                          芒（硕士，
                  写式光刻    层技      采用      提出采用CUDA技术进行并行数据压缩的专利       2016/7      2016/7/22      赵美云     无线电路专        -
                  机图像数     术                 想法。                                                                                业）
                  据按位压
                  缩方法
                  2、一种用                                                                                             刘扬（本科，
           高速   于直写光    应用                为提高解决客户端错图、漏图和多图等问题，                              电子信息科   卞洪飞、蔡
           实时   刻设备图    层技      采用      2017.8，刘扬提出通过投影实时显示，可以方便     2017/8      2018/1/22    学与技术专       潍            -
           高精   形的实时     术                 目视，提高FPGA开发效率的专利想法。                                      业）
      7    度图   观测装置
           形处   3、一种基                       基于显示领域的客户交流，预计3D灰度曝光在
           理技   于DMD的    应用                显示领域将是一个非常重要的功能。2017.11，许                            许成军（本
            术    光刻机3D    层技      采用      成军、赵美云开始进行该领域的研究，并基于位    2017/11      2018/1/22    科，电子信     赵美云          -
                  灰度图像     术                 图的特点，许成军提出了通过压缩的方式解决位                             息工程专
                  曝光优化                        图的数据过大问题的专利想法。                                             业）
                  方法
                  4、一种基                       2014年上半年，程卓在参与合肥芯硕重组期间得                            吴某（安徽
                  于CUDA     基础                知，图形处理是直写光刻技术的关键点之一，于                            大学教授，
                  技术对栅    层技      采用      是委托专家进行咨询研究。                    2015/7（*）    2015/9/9    主要研究方        -            -
                  格化数据     术                 2014年下半年，吴某、彭某在对倾斜扫描的相关                            向为电子信
                  进行抽阶                        专利（US006133986A）等在数据处理方面进行                              息工程领
    
    
    8-3-30
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
      序   核心   专利保护    专利   专利后续工               专利研发过程、时间               立项时点     专利申报      发明人     主要研发辅   方、何二人
      号   技术     措施      属性    程化情况                                                （见注释）      时间                     助成员       的作用
                  的方法                          研究时，发现倾斜扫描数据处理复杂，逐步形成                            域，下同）、
                                                  可以利用CUDA的并行处理代替CPU的想法。                               彭某（安徽
                                                  2015.7，发行人将上述专利想法进行专利撰写。                             大学教授，
        主要研究方
        向为电子信
        息工程领
        域，下同）
                                                  2014年上半年，程卓在参与合肥芯硕重组期间得
                  5、倾斜扫                       知，图形处理是直写光刻技术的关键点之一，于
                  描式光刻                        是委托专家进行咨询研究。
                  机在步进    基础                2014年下半年，吴某、彭某在对倾斜扫描的相关
                  式曝光时    层技      采用      专利（US006133986A）等在数据处理方面进行   2015/8（*）    2015/9/30    吴某、彭某        -            -
                  的二维拼     术                 研究时，发现倾斜扫描的曝光条带拼接难度大，
                  接处理方                        逐步形成了利用补黑图和切边组合的方式解决
                  法                              该拼接问题的想法。
                                                  2015.8，发行人将上述专利想法进行专利撰写。
                                                  根据直写光刻技术的基本原理可知，其曝光图形
                                                  需要经过数据转化与处理后，方可转换为设备可
                  6、一种用                       识别的数据，其图形转换与处理的速度，是设备
                  于光刻机    基础                产能的决定因素之一。图形填充方式是图形处理                                         赵美云（本
                  矢量数据    层技      采用      的关键环节之一，采用什么样的图形填充方法，    2015/12      2016/2/3    吴某、彭某   科，计算机        -
                  栅格化的     术                 成为技术课题：                                                                     科学和技术
                  三角形填                        2015.12，赵美云提出四边形填充方式中凹四边形                                        专业，下同）
                  充方法                          处理太耗时，速度慢，需要寻找新方法；
                                                  2015.12，吴某、彭某提出可以采用三角法填充方
                                                  式的专利想法。
                  7、一种用   基础                2014年上半年，程卓在参与合肥芯硕重组期间得
                  于直写式    层技     未采用     知，图形处理是直写光刻技术的关键点之一，于  2015/8（*）    2015/9/30    吴某、彭某        -            -
                  光刻机图     术                 是委托专家进行咨询研究。
    
    
    8-3-31
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
      序   核心   专利保护    专利   专利后续工               专利研发过程、时间               立项时点     专利申报      发明人     主要研发辅   方、何二人
      号   技术     措施      属性    程化情况                                                （见注释）      时间                     助成员       的作用
                  形发生器                        2014年下半年，吴某、彭某在对倾斜扫描的相关
                  的凹四边                        专利（US006133986A）等在数据处理方面进行
                  形FPGA                         研究时，参考了一些公开的三角形和梯形填充的
                  硬件填充                        算法，逐渐产生了四边形的填充算法的想法。
                  方法                            2015.8，发行人将上述专利想法进行专利撰写。
                  1、一种网   应用                2016.11，在CTS项目中客户提出需要做无节点                                                        何少锋确认
                  版制版丝    层技      采用      网版的需求，2016.12，张琦、李香滨、范云瑞提    2016/12      2017/4/7    张琦、李香        -        了该技术方
           智能   网角度的     术                 出利用设备的对准光路，对丝网的张网角度进行                            滨、范云瑞                案，同意实施
           生产   测量装置                        测量的专利想法。
      8    平台                                   2015.7，程卓提出设备自动化是以后的发展趋势；
           制造   2、一种     基础                2015.8，方林提供了传统曝光机和奥宝科技的设                                                       方林提供了
           技术   LDI单机     层技      采用      备特点；                                       2015/8       2015/9/9       王某           -        传统曝光机
                  自动装置     术                 2015.8，王某提出结合当前的机器人的趋势，提                                                       和奥宝科技
                                                  出采用自动移载的方式，与单台LDI进行自动化                                                       的设备特点
                                                  匹配，实现LDI单机的自动化方案的专利想法。
    
    
    注：发行人的部分专利是将其已有成果，梳理其创新点后申请专利保护，如上表中的立项时点列中加注*的为该类专利，该列所示之立项时点为专利的撰写起始时间；其它部分专利是发行人针对产品应用开发的专项攻关过程中形成的，如上表中的立项时点列中未加注*的即为该类专利，该列所示之立项时点为专利想法的产生时点。除上表所述发明与实用新型的授权专利外，发行人还于2017年8月申请并获授权3项外观设计专利。
    
    8-3-32
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
    （四）发行人聘请的第三方知识产权服务机构相关结论的权威性、客观性，发行人相关产品是否落入合肥芯硕专利权保护范围，是否侵犯了合肥芯硕专利权
    
    1．发行人聘请的第三方知识产权服务机构相关结论的权威性、客观性
    
    发行人聘请了第三方知识产权服务机构智慧芽信息技术（苏州）有限公司（以下简称“智慧芽”）提供技术比对工作，智慧芽成立于2010年12月16日，为中国知识产权发展联盟专利价值评估专业委员会委员单位，曾获得由中国知识产权研究会、中华全国专利代理人协会、中华商标协会、中国知识产权报社、《今日财富》杂志社联合授予的“全国知识产权服务品牌机构”称号。
    
    根据智慧芽出具《声明》，确认其及发行人项目的专利比对报告分析师与发行人及其股东、董监高以及负责发行人此次发行上市工作的中介机构之间不存在任何关联关系，亦不存在其他利益关系，确认其所出具的发行人项目专利比对结论是基于全面覆盖原则、等同原则等专利侵权判定的基本原则做出，比对方法公正，比对结论客观。
    
    2．发行人相关产品是否落入合肥芯硕专利权保护范围，是否侵犯了合肥芯硕专利权
    
    根据智慧芽出具的《专利分析报告》，发行人的产品相关技术方案与合肥芯硕（包括其前身及其控股股东中夏芯基）的专利存在明显差异，所述产品未落入合肥芯硕（包括其前身及其控股股东中夏芯基）的28件标的专利的保护范围，所述28件专利对发行人产品的实施不构成障碍，具体分析结论如下：
    
      专利权人       专利公开号                            分析结论
                                     发行人产品不包括旋转平台，因此，发行人产品未落入第
                   CN104199257B     CN104199257B号专利的保护范围，该标的专利对发行人产
                                     品在中国的实施不构成障碍。
     合肥芯硕                        发行人产品不包括用于保护镜头的气体保护结构，因此，
     半导体有      CN104281012B     发行人产品未落入第 CN104281012B 号专利的保护范围，
     限公司                          该标的专利对发行人产品在中国的实施不构成障碍。
                                     发行人产品的槽不是十字形，且不包括高出十字定位槽的
                   CN104914679B     十字突起部位，因此，发行人产品未落入第CN104914679B
                                     号专利的保护范围，该标的专利对发行人产品在中国的实
                                     施不构成障碍。
    
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
      专利权人       专利公开号                            分析结论
                                     发行人产品采用气管走拖链，与第 CN104678717B 号专利
                   CN104678717B     的 对 应 特 征 不 同，因  此，发  行 人 产 品 未 落 入 第
                                     CN104678717B号专利的保护范围，该标的专利对发行人产
                                     品在中国的实施不构成障碍。
                                     发行人产品的镜头不包括刻度结构，因此，发行人产品未
                   CN202649580U     落入第CN202649580U号专利的保护范围，该标的专利对
                                     发行人产品在中国的实施不构成障碍。
                                     发行人产品的PCB板装夹装置不包括用于分区的限位边，
                   CN205040100U     因此，发行人产品未落入第CN205040100U号专利的保护
                                     范围，该标的专利对发行人产品在中国的实施不构成障碍。
                                     发行人产品采用PLC模块实现上位机对子系统的控制，未
                   CN202735678U     设置带有通信系统的电路板或者类似的物理载体，因此，
                                     发行人产品未落入第CN202735678U号专利的保护范围，
                                     该标的专利对发行人产品在中国的实施不构成障碍。
                                     发行人产品采用圆形光阑孔，与第CN202486496U号专利
                   CN202486496U     的 对 应 特 征 不 同，因  此，发  行 人 产 品 未 落 入 第
                                     CN202486496U号专利的保护范围，该标的专利对发行人产
                                     品在中国的实施不构成障碍。
                                     发行人产品镜头无气体保护结构，因此，发行人产品未落
                   CN205038436U     入第CN205038436U号专利的保护范围，该标的专利对发
                                     行人产品在中国的实施不构成障碍。
                                     发行人产品均未采用分光棱镜实现的偏振合光装置，因此，
                   CN202486436U     发行人产品未落入第CN202486436U号专利的保护范围，
                                     该标的专利对发行人产品在中国的实施不构成障碍。
                                     发行人产品不需要全黑全白检测，并且采用CUDA的并行
                   CN102736448B     压缩技术，与第 CN102736448B 号专利的对应特征不同，
                                     因此，发行人产品未落入第 CN102736448B 号专利的保护
                                     范围，该标的专利对发行人产品在中国的实施不构成障碍。
                                     发行人产品未采用精密移动旋转工作台，不需要对衬底进
                   CN102207689B     行移动，因此，发行人产品未落入第 CN102207689B号专
                                     利的保护范围，该标的专利对发行人产品在中国的实施不
                                     构成障碍。
                                     发行人产品中第一门体和第二门体的移动方式与第
                   CN104950599B     CN104950599B号专利的对应特征不同，因此，发行人产品
                                     未落入第 CN104950599B号专利的保护范围，该标的专利
                                     对发行人产品在中国的实施不构成障碍。
     芯硕半导                        发行人产品的光刻装置的多个投影镜头倍率一致，与第
     体(合肥)有     CN100561357C     CN100561357C号专利的对应特征不同，因此，发行人产品
     限公司                          未落入第 CN100561357C号专利的保护范围，该标的专利
                                     对发行人产品在中国的实施不构成障碍。
     芯硕半导                        发行人产品最多仅为 4 轴调整装置，与第 CN100568038C
     体(中国)有     CN100568038C     号专利的对应特征不同，因此，发行人产品未落入第
     限公司                          CN100568038C号专利的保护范围，该标的专利对发行人产
                                     品在中国的实施不构成障碍。
                                     发行人产品双工件台左右分布，不能分别移至对方工作空
     中夏芯基      CN104950598B     间，与第 CN104950598B号专利的对应特征不同，因此，
     （上海）科                      发行人产品未落入第 CN104950598B 号专利的保护范围，
     技有限公                        该标的专利对发行人产品在中国的实施不构成障碍。
     司                              发行人产品双工件台左右分布，不能分别移至对方工作空
                   CN104950595B     间，与第 CN104950595B号专利的对应特征不同，因此，
                                     发行人产品未落入第 CN104950595B 号专利的保护范围，
    
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
      专利权人       专利公开号                            分析结论
                                     该标的专利对发行人产品在中国的实施不构成障碍。
                                     发行人产品双工件台左右分布，不能分别移至对方工作空
                   CN104950597B     间，与第 CN104950597B号专利的对应特征不同，因此，
                                     发行人产品未落入第 CN104950597B 号专利的保护范围，
                                     该标的专利对发行人产品在中国的实施不构成障碍。
                                     发行人产品对机台的动态、静态两个方面进行实时综合稳
                   CN102289153B     定性测量，与第 CN102289153B 号专利的对应特征不同，
                                     因此，发行人产品未落入第 CN102289153B 号专利的保护
                                     范围，该标的专利对发行人产品在中国的实施不构成障碍。
                                     发行人产品采用实施同步机制进行数据处理，与第
                   CN102354327B     CN102354327B号专利的对应特征不同，因此，发行人产品
                                     未落入第 CN102354327B号专利的保护范围，该标的专利
                                     对发行人产品在中国的实施不构成障碍。
                                     发行人产品采用硬件电路传输同步信号，不涉及因不同速
                                     度带来的图形曝光后的绝对误差的变化，也未采用测量同
                   CN102681359B     步信号触发扫描方式延迟时间来解决绝对误差，因此，发
                                     行人产品未落入第 CN102681359B 号专利的保护范围，该
                                     标的专利对发行人产品在中国的实施不构成障碍。
                                     发行人产品数据压缩时处理的像素长度范围可调，与第
                   CN102736447B     CN102736447B号专利的对应特征不同，因此，发行人产品
                                     未落入第 CN102736447B号专利的保护范围，该标的专利
                                     对发行人产品在中国的实施不构成障碍。
                                     发行人产品采用相同倍率的投影镜头对的轮廓和精细结构
                                     进行一次性曝光光刻，与第 CN100561356C 号专利的对应
                   CN100561356C     特征不同，因此，发行人产品未落入第 CN100561356C号
                                     专利的保护范围，该标的专利对发行人产品在中国的实施
                                     不构成障碍。
                                     发行人产品采用光源直出，不包括四对光源和分色分光镜，
                   CN202486497U     因此，发行人产品未落入第CN202486497U号专利的保护
                                     范围，该标的专利对发行人产品在中国的实施不构成障碍。
                                     发行人产品采用的数据压缩方法不限于 N×N 的固定形式,
                                     也无需全黑全白检测，与第 CN102736449B 号专利的对应
                   CN102736449B     特征不同，因此，发行人产品未落入第 CN102736449B号
                                     专利的保护范围，该标的专利对发行人产品在中国的实施
                                     不构成障碍。
                                     发行人产品填充凹四边形或三角形，与第  CN102521789B
                   CN102521789B     号专利的对应特征不同，因此，发行人产品未落入第
                                     CN102521789B号专利的保护范围，该标的专利对发行人产
                                     品在中国的实施不构成障碍。
                                     发行人产品采用倾斜扫描方式进行灰度曝光，与第
                   CN102147575B     CN102147575B号专利的对应特征不同，因此，发行人产品
                                     未落入第 CN102147575B号专利的保护范围，该标的专利
                                     对发行人产品在中国的实施不构成障碍。
                                     发行人产品填充凹四边形，与第CN102184515B号专利的
                   CN102184515B     对应特征不同，因此，发行人产品未落入第CN102184515B
                                     号专利的保护范围，该标的专利对发行人产品在中国的实
                                     施不构成障碍。
    
    
    （五）发行人产品研发及客户开发的历史沿革，申请的相关专利在发行人产品开发中发挥的具体作用，并结合上述情况，进一步说明发行人技术及业务
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
    是否来源于合肥芯硕，是否存在纠纷或潜在争议，发行人较短时间内开发出产
    
    品与所处行业具有较高技术门槛的论述是否存在矛盾
    
    1．关于发行人产品研发及客户开发的历史沿革，申请的相关专利在发行人产品开发中发挥的具体作用的情况说明
    
    发行人的每一款产品从研发立项、原理样机研制、工程样机验证至机型成熟，均需经历一个较长的过程，整个过程通常包括研发立项阶段、原理样机研制阶段、工程样机客户端调试改进优化阶段、成熟机型阶段，具体情况如下：
    
    （1）研发立项阶段
    
    研发部根据市场需求及行业技术动态提出新产品、新技术的定位与构想，综合比对多种技术方案以确定符合市场发展方向的研发方案。研发立项通常包括两个方面的分析：一方面，需进行市场层面分析，通过对市场需求和行业发展趋势进行调研分析，确认拟立项的产品符合行业发展的趋势并能够满足市场的需求；另一方面，需进行技术层面分析，通过查阅公开技术资料和文献，结合市场需求和竞争状况，初步确定技术方案，进行技术可行性分析、竞争力分析、竞争对手专利障碍分析等。
    
    （2）原理样机研制阶段
    
    根据公开技术文献资料，通过对立项设备的功能和性能进行分析，结合光、机、电、软等相关领域专家的讨论、原理性论证以及员工的行业经验，形成相对具体的技术方案，并对技术创新点进行专利布局。随后，研发人员根据技术方案进行具体的设计、集成、调试，先研制出具备实现基本功能和原理性能的原理样机。
    
    （3）工程样机客户端调试改进优化阶段
    
    在原理样机研制完成后，需根据市场应用和客户需求进一步对原理样机进行完善、优化，形成能够初步应用于市场和下游客户生产的工程样机，该工程样机需要在客户端进行大量的实际生产验证与压力测试，以充分考察其稳定性、可靠性、工艺匹配性、操作便利性是否满足客户需求，发行人在此验证过程中对设备
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
    再进行持续改进、优化，逐步实现机型的定型化。
    
    通常，客户作为生产型企业，出于产量和良率的考量，不愿意接受未经生产测试与验证的设备。发行人通过长期的市场耕耘和艰苦的商业谈判，通过免费试用等方式，将工程样机推广至部分客户处进行测试、验证，从中发现设备的问题并积极进行改进。设备试用会产生两种结果：第一种为经调试后，设备在客户端使用中仍未达到客户对于性能的要求，则设备会被客户退机；第二种为调试、改进后，产品性能达到了客户的验证，则在调试、改进中所使用的新方法和经验得以积累并形成了发行人的应用层技术。
    
    （4）成熟机型阶段
    
    工程样机经部分客户验证成功后，再通过试用或试用转销售的方式进一步推广至部分行业标杆客户处，标杆客户的大规模量产验证成功，标志着机型技术已经成熟，能够符合市场需求，机型开始根据市场需求进行量产。通过在上述验证过程中持续对设备改进和技术优化，发行人的应用层技术得到进一步加强与完善。
    
    报告期内，发行人每一款产品面市时间、产品所涉及的专利、涉及专利具体作用（具体作用内容已申请豁免披露）以及各产品对应的客户开发情况如下表所示：
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
          产品           面市时间                         涉及专利                                            客户开发情况
                                       一种双台面激光直写曝光机及其控制方法
                                       具有抗拼接撕裂用于激光直写成像设备的扫描曝光    2016年确认收入：深圳市业顺电子有限公司（PCB直接成像设备的
                                       方法                                            第一款产品-Tripod系列，发行人于2016年7月推出该系列产品工程
                                       一种具有倍率微调功能的光刻远心物镜              样机并于年底完成初步验证成功后实现销售）；
                                       一种PCB曝光图形正确性验证方法
                                       一种基于无掩膜直写系统套刻曝光的定位方法        技20有17限年公确司认、收宏入华：大胜连精吉密星电电子（子烟股台份）有有限限公公司司、乐、昌江门市市俊浩耀远电电子子科
                                       一种用于标定多个相机平行性的装置及方法          子科技科技有限有限公司公、司深、圳深捷圳腾市微硕电成子科科技技有有限限公公司司；、深圳市持创捷宇电
                                       一种LD激光器组件的装配及检验方法
                                       一种用于激光直写曝光机的高功率紫外半导体激光    2018年确认收入：柏承科技（昆山）股份有限公司、广德东风电子
                                       器                                              有限公司、广州市俊耀电子有限公司、合库金国际租赁有限公司（深
     TRIPOD         2016年7月         一种用于半导体激光器的循环水冷却装置            圳实锐泰）、江门市高智电子科技有限公司、深圳市安元达电子有
     100/100T                           一种用于检测曝光系统光轴垂直度的装置            限公司、深圳市德顺鑫电子有限公司、深圳市同键电子有限公司、
                                                                                       四会富仕电子科技股份有限公司、苏州市惠利源科技有限公司；
                                       一种用于直写光刻设备中的MEMS光阑打标装置
                                       一种用于激光直写曝光机的自动升降的Z轴装置       2019年确认收入：博敏电子股份有限公司、诚亿电子（嘉兴）有限
                                       一种激光直写曝光机内层对位精度的测量方法        公司、广东科翔电子科技有限公司、广合科技（广州）有限公司、
                                       一种直写光刻设备中的双光源双照明方式的图像采    宏华胜精密电子（烟台）有限公司、深南电路股份有限公司、深圳
                                       集装置                                          市裕维电子有限公司、深圳市则成电子工业有限公司、胜宏科技（惠
                                       一种激光直写光刻设备中的双波段高精度机器视觉    州）股份有限公司、台湾软电股份有限公司、迅嘉电子股份有限公
                                       系统                                            司、浙江万正电子科技有限公司；
                                       一种用于激光直接成像设备的内层对准装置
                                       一种双台面激光直写曝光机                        2正0高20密年1电-6子月有确限认公收司入。：胜宏科技（惠州）股份有限公司、重庆方
                                       直写光刻曝光设备定位运动平台正交性调试装置
    
    
    8-3-38
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
          产品           面市时间                         涉及专利                                            客户开发情况
                                       一种使用吸盘相机标定曝光机光路位置关系的方法
                                       一种用于激光直写曝光机的激光能量测量装置
                                       一种用于标定多个相机平行性的装置
                                       一种用于激光直写曝光机的漏水检测装置
                                       一种用于无掩膜光刻机的安全互锁装置
                                       一种用于激光直写曝光机的内部温度控制装置
                                       一种用于激光直写曝光机气动门的控制装置
                                       一种直写光刻机吸盘压板装置
                                       一种大幅面真空吸盘平面度加工装置
                                       一种用于激光直写曝光机的气体压板装置
                                       一种用于激光直写曝光机真空发生器的保护装置
                                       一种基于CUDA技术对栅格化数据进行抽阶的方法
                                       倾斜扫描式光刻机在步进式曝光时的二维拼接处理
                                       方法
                                       一种用于光刻机矢量数据栅格化的三角形填充方法
                                       一种基于CUDA技术的直写式光刻机图像数据按位压
                                       缩方法
                                       一种用于直写光刻设备图形的实时观测装置
                                       具有抗拼接撕裂用于激光直写成像设备的扫描曝光
                                       方法                                            2018年确认收入：合肥矽迈微电子科技有限公司；ACURA280     2016年12月
                                       一种具有倍率微调功能的光刻远心物镜
    
    
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    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
          产品           面市时间                         涉及专利                                            客户开发情况
                                       一种PCB曝光图形正确性验证方法                  2019年确认收入：健鼎科技股份有限公司。
                                       一种基于无掩膜直写系统套刻曝光的定位方法
                                       一种用于标定多个相机平行性的装置及方法
                                       一种LD激光器组件的装配及检验方法
                                       一种用于激光直写曝光机的高功率紫外半导体激光
                                       器
                                       一种用于半导体激光器的循环水冷却装置
                                       一种用于检测曝光系统光轴垂直度的装置
                                       一种用于直写光刻设备中的MEMS光阑打标装置
                                       一种用于激光直写曝光机的自动升降的Z轴装置
                                       一种激光直写曝光机内层对位精度的测量方法
                                       一种直写光刻设备中的双光源双照明方式的图像采
                                       集装置
                                       一种激光直写光刻设备中的双波段高精度机器视觉
                                       系统
                                       一种用于激光直接成像设备的内层对准装置
                                       直写光刻曝光设备定位运动平台正交性调试装置
                                       一种使用吸盘相机标定曝光机光路位置关系的方法
                                       一种用于激光直写曝光机的激光能量测量装置
                                       一种用于标定多个相机平行性的装置
                                       一种用于激光直写曝光机的漏水检测装置
    
    
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    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
          产品           面市时间                         涉及专利                                            客户开发情况
                                       一种用于无掩膜光刻机的安全互锁装置
                                       一种用于激光直写曝光机的内部温度控制装置
                                       一种用于激光直写曝光机气动门的控制装置
                                       一种直写光刻机吸盘压板装置
                                       一种大幅面真空吸盘平面度加工装置
                                       一种用于激光直写曝光机的气体压板装置
                                       一种用于激光直写曝光机真空发生器的保护装置
                                       一种基于CUDA技术对栅格化数据进行抽阶的方法
                                       倾斜扫描式光刻机在步进式曝光时的二维拼接处理
                                       方法
                                       一种用于光刻机矢量数据栅格化的三角形填充方法
                                       一种基于CUDA技术的直写式光刻机图像数据按位压
                                       缩方法
                                       一种用于直写光刻封装机型中的高精度调焦装置
                                       一种用于直写光刻设备图形的实时观测装置
                                       具有抗拼接撕裂用于激光直写成像设备的扫描曝光
                                       方法
                                       一种具有倍率微调功能的光刻远心物镜
     RTR 100/200     2018年3月         一种PCB曝光图形正确性验证方法                  2019年确认收入：珠海元盛电子科技股份有限公司。
                                       一种基于无掩膜直写系统套刻曝光的定位方法
                                       一种LD激光器组件的装配及检验方法
    
    
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    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
          产品           面市时间                         涉及专利                                            客户开发情况
                                       一种用于激光直写曝光机的高功率紫外半导体激光
                                       器
                                       一种用于半导体激光器的循环水冷却装置
                                       一种用于检测曝光系统光轴垂直度的装置
                                       一种用于直写光刻设备中的MEMS光阑打标装置
                                       一种激光直写曝光机内层对位精度的测量方法
                                       一种直写光刻设备中的双光源双照明方式的图像采
                                       集装置
                                       一种激光直写光刻设备中的双波段高精度机器视觉
                                       系统
                                       一种用于激光直接成像设备的内层对准装置
                                       直写光刻曝光设备定位运动平台正交性调试装置
                                       一种用于激光直写曝光机的激光能量测量装置
                                       一种用于激光直写曝光机的漏水检测装置
                                       一种用于无掩膜光刻机的安全互锁装置
                                       一种用于激光直写曝光机的内部温度控制装置
                                       一种用于激光直写曝光机气动门的控制装置
                                       一种基于CUDA技术对栅格化数据进行抽阶的方法
                                       倾斜扫描式光刻机在步进式曝光时的二维拼接处理
                                       方法
                                       一种用于光刻机矢量数据栅格化的三角形填充方法
                                       一种基于CUDA技术的直写式光刻机图像数据按位压
    
    
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    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
          产品           面市时间                         涉及专利                                            客户开发情况
                                       缩方法
                                       一种用于直写光刻设备图形的实时观测装置
                                       一种用于卷对卷激光直写曝光机的镜头位置自动标
                                       定装置
                                       一种LDI单机自动装置                             四20会19富年仕确电认子收科入技：红股板份（有江限西公）司有；限公司、深南电路股份有限公司、
     DI-LINE         2018年5月
                                       含PCB单机和泛半导体单机专利                    2020年1-6月确认收入：大连崇达电路有限公司、红板（江西）有
                                                                                       限公司、江西志博信科技股份有限公司、胜宏科技（惠州）股份有
                                                                                       限公司。
                                       一种双台面激光直写曝光机及其控制方法
                                       具有抗拼接撕裂用于激光直写成像设备的扫描曝光    2018年确认收入：健鼎科技股份有限公司、江门原动力科技有限公
                                       方法                                            司、江苏普诺威电子股份有限公司、台湾相互股份有限公司、珠海
                                       一种具有倍率微调功能的光刻远心物镜              元盛电子科技股份有限公司；
                                       一种PCB曝光图形正确性验证方法
                                       一种基于无掩膜直写系统套刻曝光的定位方法        2019年确认收入：赣州明高科技股份有限公司、湖北久祥电子科技
     TRIPOD                                                                           有限公司、江门市浩远电子科技有限公司、江门原动力科技有限公
     200/200T        2018年6月         一种用于标定多个相机平行性的装置及方法          司、江苏普诺威电子股份有限公司、峻新电脑股份有限公司、深圳
                                       一种LD激光器组件的装配及检验方法               华麟电路技术有限公司、深圳市耐特电路板有限公司、深圳市鑫顺
                                                                                       华电子有限公司、台湾相互股份有限公司、珠海市联决电子有限公
                                       一种用于激光直写曝光机的高功率紫外半导体激光    司；
                                       器
                                       一种用于半导体激光器的循环水冷却装置            2020年1-6月确认收入：广德鼎星电子科技有限公司、黄石西普电
                                       一种用于检测曝光系统光轴垂直度的装置            子科技有限公司、中山市三角镇城市建设发展有限公司。
                                       一种用于直写光刻设备中的MEMS光阑打标装置
    
    
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    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
          产品           面市时间                         涉及专利                                            客户开发情况
                                       一种用于激光直写曝光机的自动升降的Z轴装置
                                       一种激光直写曝光机内层对位精度的测量方法
                                       一种直写光刻设备中的双光源双照明方式的图像采
                                       集装置
                                       一种激光直写光刻设备中的双波段高精度机器视觉
                                       系统
                                       一种用于激光直接成像设备的内层对准装置
                                       一种双台面激光直写曝光机
                                       直写光刻曝光设备定位运动平台正交性调试装置
                                       一种使用吸盘相机标定曝光机光路位置关系的方法
                                       一种用于激光直写曝光机的激光能量测量装置
                                       一种用于标定多个相机平行性的装置
                                       一种用于激光直写曝光机的漏水检测装置
                                       一种用于无掩膜光刻机的安全互锁装置
                                       一种用于激光直写曝光机的内部温度控制装置
                                       一种用于激光直写曝光机气动门的控制装置
                                       一种直写光刻机吸盘压板装置
                                       一种大幅面真空吸盘平面度加工装置
                                       一种用于激光直写曝光机的气体压板装置
                                       一种用于激光直写曝光机真空发生器的保护装置
    
    
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    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
          产品           面市时间                         涉及专利                                            客户开发情况
                                       一种基于CUDA技术对栅格化数据进行抽阶的方法
                                       倾斜扫描式光刻机在步进式曝光时的二维拼接处理
                                       方法
                                       一种用于光刻机矢量数据栅格化的三角形填充方法
                                       一种基于CUDA技术的直写式光刻机图像数据按位压
                                       缩方法
                                       一种用于直写光刻设备图形的实时观测装置
                                       一种双台面激光直写曝光机及其控制方法
                                       具有抗拼接撕裂用于激光直写成像设备的扫描曝光
                                       方法
                                       一种具有倍率微调功能的光刻远心物镜              2018年确认收入：珠海元盛电子科技股份有限公司；
                                       一种PCB曝光图形正确性验证方法
                                       一种基于无掩膜直写系统套刻曝光的定位方法        2019年确认收入：红板（江西）有限公司、
                                       一种用于标定多个相机平行性的装置及方法          江门市浩远电子科技有限公司、江西德顺芯科技有限公司、上海嘉
     UVDI 100/100T   2018年7月                                                         捷通电路科技股份有限公司、深圳市景旺电子股份有限公司、浙江
                                       一种用于检测曝光系统光轴垂直度的装置            罗奇泰克科技股份有限公司；
                                       一种用于直写光刻设备中的MEMS光阑打标装置
                                       一种用于激光直写曝光机的自动升降的Z轴装置       2020年1-6月确认收入：柏承科技(昆山)股份有限公司、大连崇达电
                                                                                       路有限公司、江门市浩远电子科技有限公司、宁波华远电子科技有
                                       一种激光直写曝光机内层对位精度的测量方法        限公司。
                                       一种直写光刻设备中的双光源双照明方式的图像采
                                       集装置
                                       一种激光直写光刻设备中的双波段高精度机器视觉
                                       系统
    
    
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    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
          产品           面市时间                         涉及专利                                            客户开发情况
                                       一种用于激光直接成像设备的内层对准装置
                                       一种双台面激光直写曝光机
                                       直写光刻曝光设备定位运动平台正交性调试装置
                                       一种使用吸盘相机标定曝光机光路位置关系的方法
                                       一种用于激光直写曝光机的激光能量测量装置
                                       一种用于标定多个相机平行性的装置
                                       一种用于激光直写曝光机的漏水检测装置
                                       一种用于无掩膜光刻机的安全互锁装置
                                       一种用于激光直写曝光机的内部温度控制装置
                                       一种用于激光直写曝光机气动门的控制装置
                                       一种直写光刻机吸盘压板装置
                                       一种大幅面真空吸盘平面度加工装置
                                       一种用于激光直写曝光机的气体压板装置
                                       一种用于激光直写曝光机真空发生器的保护装置
                                       一种基于CUDA技术对栅格化数据进行抽阶的方法
                                       倾斜扫描式光刻机在步进式曝光时的二维拼接处理
                                       方法
                                       一种用于光刻机矢量数据栅格化的三角形填充方法
                                       一种基于CUDA技术的直写式光刻机图像数据按位压
                                       缩方法
    
    
    8-3-46
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
          产品           面市时间                         涉及专利                                            客户开发情况
                                       一种用于直写光刻设备图形的实时观测装置
                                       一种用于大倍率光刻设备光学系统的辅助DMD调平
                                       装置
                                       一种直写光刻机中高利用率高均匀度的LED照明系
                                       统
                                       一种用于UVLED曝光机的强电控制开关电路
                                       一种双台面激光直写曝光机及其控制方法
                                       具有抗拼接撕裂用于激光直写成像设备的扫描曝光
                                       方法
                                       一种具有倍率微调功能的光刻远心物镜
                                       一种PCB曝光图形正确性验证方法
                                       一种基于无掩膜直写系统套刻曝光的定位方法
                                       一种用于标定多个相机平行性的装置及方法
     MAS 50T        2019年6月         一种用于检测曝光系统光轴垂直度的装置            2020年1-6月确认收入：昆山市华涛电子有限公司。
                                       一种用于直写光刻设备中的MEMS光阑打标装置
                                       一种用于激光直写曝光机的自动升降的Z轴装置
                                       一种激光直写曝光机内层对位精度的测量方法
                                       一种直写光刻设备中的双光源双照明方式的图像采
                                       集装置
                                       一种激光直写光刻设备中的双波段高精度机器视觉
                                       系统
                                       一种用于激光直接成像设备的内层对准装置
    
    
    8-3-47
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
          产品           面市时间                         涉及专利                                            客户开发情况
                                       一种双台面激光直写曝光机
                                       直写光刻曝光设备定位运动平台正交性调试装置
                                       一种使用吸盘相机标定曝光机光路位置关系的方法
                                       一种用于激光直写曝光机的激光能量测量装置
                                       一种用于标定多个相机平行性的装置
                                       一种用于激光直写曝光机的漏水检测装置
                                       一种用于无掩膜光刻机的安全互锁装置
                                       一种用于激光直写曝光机的内部温度控制装置
                                       一种用于激光直写曝光机气动门的控制装置
                                       一种直写光刻机吸盘压板装置
                                       一种大幅面真空吸盘平面度加工装置
                                       一种用于激光直写曝光机的气体压板装置
                                       一种用于激光直写曝光机真空发生器的保护装置
                                       一种基于CUDA技术对栅格化数据进行抽阶的方法
                                       倾斜扫描式光刻机在步进式曝光时的二维拼接处理
                                       方法
                                       一种用于光刻机矢量数据栅格化的三角形填充方法
                                       一种基于CUDA技术的直写式光刻机图像数据按位压
                                       缩方法
                                       一种用于直写光刻设备图形的实时观测装置
    
    
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    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
          产品           面市时间                         涉及专利                                            客户开发情况
                                       一种用于大倍率光刻设备光学系统的辅助DMD调平
                                       装置
                                       一种直写光刻机中高利用率高均匀度的LED照明系
                                       统
                                       一种用于UVLED曝光机的强电控制开关电路
                                       一种双台面激光直写曝光机及其控制方法
                                       具有抗拼接撕裂用于激光直写成像设备的扫描曝光
                                       方法
                                       一种具有倍率微调功能的光刻远心物镜
                                       一种PCB曝光图形正确性验证方法
                                       一种基于无掩膜直写系统套刻曝光的定位方法
                                       一种用于标定多个相机平行性的装置及方法          2限0公19司年、确深认圳收市入景：发红顺板科（技江有西限）有公限司公、深司圳、深市圳景恩旺电亿达子电股子份科有技限有公
                                       一种LD激光器组件的装配及检验方法                司；
     MAS 25T        2019年7月         一种用于激光直写曝光机的高功率紫外半导体激光
                                       器                                              2020年1-6月确认收入：深圳市鑫顺华电子有限公司、深圳市众鑫
                                       一种用于半导体激光器的循环水冷却装置            达精密线路有限公司、苏州福莱盈电子有限公司。
                                       一种用于检测曝光系统光轴垂直度的装置
                                       一种用于直写光刻设备中的MEMS光阑打标装置
                                       一种用于激光直写曝光机的自动升降的Z轴装置
                                       一种激光直写曝光机内层对位精度的测量方法
                                       一种直写光刻设备中的双光源双照明方式的图像采
                                       集装置
    
    
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    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
          产品           面市时间                         涉及专利                                            客户开发情况
                                       一种激光直写光刻设备中的双波段高精度机器视觉
                                       系统
                                       一种用于激光直接成像设备的内层对准装置
                                       一种双台面激光直写曝光机
                                       直写光刻曝光设备定位运动平台正交性调试装置
                                       一种使用吸盘相机标定曝光机光路位置关系的方法
                                       一种用于激光直写曝光机的激光能量测量装置
                                       一种用于标定多个相机平行性的装置
                                       一种用于激光直写曝光机的漏水检测装置
                                       一种用于无掩膜光刻机的安全互锁装置
                                       一种用于激光直写曝光机的内部温度控制装置
                                       一种用于激光直写曝光机气动门的控制装置
                                       一种直写光刻机吸盘压板装置
                                       一种大幅面真空吸盘平面度加工装置
                                       一种用于激光直写曝光机的气体压板装置
                                       一种用于激光直写曝光机真空发生器的保护装置
                                       一种基于CUDA技术对栅格化数据进行抽阶的方法
                                       倾斜扫描式光刻机在步进式曝光时的二维拼接处理
                                       方法
                                       一种用于光刻机矢量数据栅格化的三角形填充方法
    
    
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    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
          产品           面市时间                         涉及专利                                            客户开发情况
                                       一种基于CUDA技术的直写式光刻机图像数据按位压
                                       缩方法
                                       一种用于直写光刻设备图形的实时观测装置
                                       一种双台面激光直写曝光机及其控制方法
                                       具有抗拼接撕裂用于激光直写成像设备的扫描曝光
                                       方法
                                       一种具有倍率微调功能的光刻远心物镜
                                       一种PCB曝光图形正确性验证方法
                                       一种基于无掩膜直写系统套刻曝光的定位方法
                                       一种用于标定多个相机平行性的装置及方法
                                       一种LD激光器组件的装配及检验方法
                                       一种用于激光直写曝光机的高功率紫外半导体激光
     MAS 15T        2019年7月         器                                              2020年1-6月确认收入：惠州市志金电子科技有限公司。
                                       一种用于半导体激光器的循环水冷却装置
                                       一种用于检测曝光系统光轴垂直度的装置
                                       一种用于直写光刻设备中的MEMS光阑打标装置
                                       一种用于激光直写曝光机的自动升降的Z轴装置
                                       一种激光直写曝光机内层对位精度的测量方法
                                       一种直写光刻设备中的双光源双照明方式的图像采
                                       集装置
                                       一种激光直写光刻设备中的双波段高精度机器视觉
                                       系统
    
    
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    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
          产品           面市时间                         涉及专利                                            客户开发情况
                                       一种用于激光直接成像设备的内层对准装置
                                       一种双台面激光直写曝光机
                                       直写光刻曝光设备定位运动平台正交性调试装置
                                       一种使用吸盘相机标定曝光机光路位置关系的方法
                                       一种用于激光直写曝光机的激光能量测量装置
                                       一种用于标定多个相机平行性的装置
                                       一种用于激光直写曝光机的漏水检测装置
                                       一种用于无掩膜光刻机的安全互锁装置
                                       一种用于激光直写曝光机的内部温度控制装置
                                       一种用于激光直写曝光机气动门的控制装置
                                       一种直写光刻机吸盘压板装置
                                       一种大幅面真空吸盘平面度加工装置
                                       一种用于激光直写曝光机的气体压板装置
                                       一种用于激光直写曝光机真空发生器的保护装置
                                       一种基于CUDA技术对栅格化数据进行抽阶的方法
                                       倾斜扫描式光刻机在步进式曝光时的二维拼接处理
                                       方法
                                       一种用于光刻机矢量数据栅格化的三角形填充方法
                                       一种基于CUDA技术的直写式光刻机图像数据按位压
                                       缩方法
    
    
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    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
          产品           面市时间                         涉及专利                                            客户开发情况
                                       一种用于直写光刻设备图形的实时观测装置
                                       一种双台面激光直写曝光机及其控制方法
                                       具有抗拼接撕裂用于激光直写成像设备的扫描曝光
                                       方法
                                       一种具有倍率微调功能的光刻远心物镜
                                       一种PCB曝光图形正确性验证方法
                                       一种基于无掩膜直写系统套刻曝光的定位方法
                                       一种用于标定多个相机平行性的装置及方法
                                       一种用于检测曝光系统光轴垂直度的装置
                                       一种用于直写光刻设备中的MEMS光阑打标装置
     NEX 3T         2019年12月        一种用于激光直写曝光机的自动升降的Z轴装置
                                       一种激光直写曝光机内层对位精度的测量方法
                                       一种直写光刻设备中的双光源双照明方式的图像采
                                       集装置
                                       一种激光直写光刻设备中的双波段高精度机器视觉
                                       系统
                                       一种用于激光直接成像设备的内层对准装置
                                       一种双台面激光直写曝光机
                                       直写光刻曝光设备定位运动平台正交性调试装置
                                       一种使用吸盘相机标定曝光机光路位置关系的方法
                                       一种用于激光直写曝光机的激光能量测量装置
    
    
    8-3-53
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
          产品           面市时间                         涉及专利                                            客户开发情况
                                       一种用于标定多个相机平行性的装置
                                       一种用于激光直写曝光机的漏水检测装置
                                       一种用于无掩膜光刻机的安全互锁装置
                                       一种用于激光直写曝光机的内部温度控制装置
                                       一种用于激光直写曝光机气动门的控制装置
                                       一种直写光刻机吸盘压板装置
                                       一种大幅面真空吸盘平面度加工装置
                                       一种用于激光直写曝光机的气体压板装置
                                       一种用于激光直写曝光机真空发生器的保护装置
                                       一种基于CUDA技术对栅格化数据进行抽阶的方法
                                       倾斜扫描式光刻机在步进式曝光时的二维拼接处理
                                       方法
                                       一种用于光刻机矢量数据栅格化的三角形填充方法
                                       一种基于CUDA技术的直写式光刻机图像数据按位压
                                       缩方法
                                       一种用于直写光刻设备图形的实时观测装置
                                       一种基于无掩膜直写系统套刻曝光的定位方法        2016年确认收入：温州大学（2015年11月，发行人通过招标网了解
                                       一种直写式光刻机缩影物镜的倍率标定方法          到温州大学的公开招投标信息，后参与投标并中标，于2016年4月
     MLL-C900       2016年4月                                                         推出泛半导体直写光刻设备的第一款产品-MLL系列的定制化工程
                                       一种直写式光刻机图形发生器的角度标定方法        样机，该样机供客户研究、试验使用，当年完成验收并实现销售）；
                                       一种无掩膜光刻直写系统的照明均匀性测试方法
    
    
    8-3-54
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
          产品           面市时间                         涉及专利                                            客户开发情况
                                       一种用于直写式光刻机曝光光源的反馈信号采集电    2018年确认收入：广东工业大学；
                                       路系统
                                       一种用于半导体无掩膜直写曝光设备的吸盘定位装
                                       置                                              2三0研20究年1所-6。月确认收入：五邑大学、中国电子科技集团公司第四十
                                       一种精密定位平台动态平面度的测量方法
                                       一种用于激光直写曝光机的激光能量测量装置
                                       一种用于激光直写曝光机的漏水检测装置
                                       一种用于无掩模光刻机的真空吸附控制装置
                                       一种用于无掩膜光刻机的安全互锁装置
                                       一种基于DMD的光刻机3D灰度图像曝光优化方法
                                       一种基于CUDA技术对栅格化数据进行抽阶的方法
                                       倾斜扫描式光刻机在步进式曝光时的二维拼接处理
                                       方法
                                       一种用于光刻机矢量数据栅格化的三角形填充方法
                                       一种基于CUDA技术的直写式光刻机图像数据按位压
                                       缩方法
                                       一种用于直写光刻设备图形的实时观测装置
                                       一种基于无掩膜直写系统套刻曝光的定位方法
                                       一种直写式光刻机缩影物镜的倍率标定方法          2017年确认收入：上海胜保诺国际贸易有限公司；
     MLL-C500       2017年2月         一种直写式光刻机图形发生器的角度标定方法
                                       一种无掩膜光刻直写系统的照明均匀性测试方法      2光0聚19变年研确究认中收心入：。清华-伯克利深圳学院、中国工程物理研究院激
                                       一种用于直写式光刻机曝光光源的反馈信号采集电
    
    
    8-3-55
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
          产品           面市时间                         涉及专利                                            客户开发情况
                                       路系统
                                       一种用于半导体无掩膜直写曝光设备的吸盘定位装
                                       置
                                       一种精密定位平台动态平面度的测量方法
                                       一种用于激光直写曝光机的激光能量测量装置
                                       一种用于激光直写曝光机的漏水检测装置
                                       一种用于无掩模光刻机的真空吸附控制装置
                                       一种用于无掩膜光刻机的安全互锁装置
                                       一种基于DMD的光刻机3D灰度图像曝光优化方法
                                       一种基于CUDA技术对栅格化数据进行抽阶的方法
                                       倾斜扫描式光刻机在步进式曝光时的二维拼接处理
                                       方法
                                       一种用于光刻机矢量数据栅格化的三角形填充方法
                                       一种基于CUDA技术的直写式光刻机图像数据按位压
                                       缩方法
                                       一种用于直写光刻设备图形的实时观测装置
                                       一种基于无掩膜直写系统套刻曝光的定位方法
                                       一种直写式光刻机缩影物镜的倍率标定方法
     LDW-X6        2017年3月         一种直写式光刻机图形发生器的角度标定方法        2020年1-6月确认收入：广东佛智芯微电子技术研究有限公司。
                                       一种无掩膜光刻直写系统的照明均匀性测试方法
                                       一种精密定位平台动态平面度的测量方法
    
    
    8-3-56
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
          产品           面市时间                         涉及专利                                            客户开发情况
                                       一种用于激光直写曝光机的激光能量测量装置
                                       一种用于激光直写曝光机的漏水检测装置
                                       一种用于无掩模光刻机的真空吸附控制装置
                                       一种用于无掩膜光刻机的安全互锁装置
                                       一种基于DMD的光刻机3D灰度图像曝光优化方法
                                       一种基于CUDA技术对栅格化数据进行抽阶的方法
                                       倾斜扫描式光刻机在步进式曝光时的二维拼接处理
                                       方法
                                       一种用于光刻机矢量数据栅格化的三角形填充方法
                                       一种基于CUDA技术的直写式光刻机图像数据按位压
                                       缩方法
                                       一种用于直写光刻设备图形的实时观测装置
                                       一种基于无掩膜直写系统套刻曝光的定位方法
                                       一种直写式光刻机缩影物镜的倍率标定方法
                                       一种直写式光刻机图形发生器的角度标定方法
                                       一种无掩膜光刻直写系统的照明均匀性测试方法
     LDW-D1        2017年3月                                                         2018年确认收入：昆山国显光电有限公司。
                                       一种精密定位平台动态平面度的测量方法
                                       一种用于激光直写曝光机的激光能量测量装置
                                       一种用于激光直写曝光机的漏水检测装置
                                       一种用于无掩模光刻机的真空吸附控制装置
    
    
    8-3-57
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
          产品           面市时间                         涉及专利                                            客户开发情况
                                       一种用于无掩膜光刻机的安全互锁装置
                                       一种基于DMD的光刻机3D灰度图像曝光优化方法
                                       一种基于CUDA技术对栅格化数据进行抽阶的方法
                                       倾斜扫描式光刻机在步进式曝光时的二维拼接处理
                                       方法
                                       一种用于光刻机矢量数据栅格化的三角形填充方法
                                       一种基于CUDA技术的直写式光刻机图像数据按位压
                                       缩方法
                                       一种用于直写光刻设备图形的实时观测装置
                                       具有抗拼接撕裂用于激光直写成像设备的扫描曝光
                                       方法
                                       一种具有倍率微调功能的光刻远心物镜
                                       一种用于检测曝光系统光轴垂直度的装置
                                       直写光刻曝光设备定位运动平台正交性调试装置      2电0子17有年限确公认司收入；：德化县永旺办公设备广告材料商店、广州市俊耀
                                       一种用于激光直写曝光机的激光能量测量装置
     CTS 1211        2016年6月         一种基于CUDA技术对栅格化数据进行抽阶的方法    2018年确认收入：深圳市同键电子有限公司；
                                       倾斜扫描式光刻机在步进式曝光时的二维拼接处理
                                       方法                                            2019年确认收入：浙江罗奇泰克科技股份有限公司。
                                       一种用于光刻机矢量数据栅格化的三角形填充方法
                                       一种基于CUDA技术的直写式光刻机图像数据按位压
                                       缩方法
                                       一种网版制版丝网角度的测量装置
    
    
    8-3-58
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
    2．关于发行人技术及业务是否来源于合肥芯硕，是否存在纠纷或潜在争议的情况说明
    
    正如前面所述，发行人技术及业务均不来源于合肥芯硕。报告期内，发行人及其核心技术人员与合肥芯硕之间存在已决诉讼，合肥芯硕的诉讼请求均被人民法院予以驳回。且合肥芯硕已确认发行人不侵犯其任何权利。截至本《补充法律意见书》出具之日，发行人与合肥芯硕不存在其他纠纷或争议。
    
    3．关于发行人较短时间内开发出产品与所处行业具有较高技术门槛的论述是否存在矛盾的情况说明
    
    发行人产品从原理样机研制、工程样机验证至机型成熟经历了一个较长的周期，特别是工程样机至成熟机型经历了艰难的客户验证过程。各阶段产品特点及基础层技术与应用层技术所起的作用具有明显差异。
    
    （1）成立初期，发行人结合部分光、机、电、软等学科的基础原理性研究成果及员工的行业经验，先推出了只具备基本功能和原理性能的原理样机，该原理样机主要通过基础层技术进行研制，应用层技术利用的较少，研制过程相对比较简单。
    
    随后，发行人结合市场应用与客户需求进一步开发出初步满足市场应用和客户需求的工程样机，该工程样机的技术指标不仅需要经过客户端的产业化验证（如样机的稳定性、可靠性、与客户工艺匹配性、操作便利性等方面需要在客户端进行大量的压力测试），而且验证的时间周期相对较长。
    
    （2）发行人工程样机推出后，在短期内并未获得客户的认可
    
    发行人于2016年4月推出了泛半导体领域的第一款工程样机MLL-C90（0 属于定制化工程样机，仅供客户科研、实验、测试使用，未成为量产的成熟机型），于2016年7月推出了PCB领域的第一款工程样机Tripod 100（该工程样机刚推出时的技术指标与下游客户的要求差距较大）。
    
    与此同时，国内市场仍被以色列Orbotech与日本ORC、ADTEC、SCREEN为代表的国外企业所垄断，因此在较长一段时间内，包括发行人在内的国产设备
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
    厂商的工程样机很难获取客户的验证机会，发行人经过艰难的市场开拓获得了客
    
    户的验证支持，但由于应用层面经验不足，产品多次在下游客户工艺验证过程中
    
    失败，如发行人Tripod 100工程样机先后提供给苏州金像电子有限公司、苏州福
    
    莱盈电子有限公司两家PCB生产企业试用，最终由于样机技术指标、功能与客
    
    户实际生产需求差距较大而被退机。
    
    2016年，发行人仅实现2台Tripod 100销售（产品经不断调试与改善才于2016 年底在客户深圳业顺处验证成功）。经中小型客户验证成功后，2017 年 6月起，Tripod 100产品继续通过试用或试用转销售的方式推广至部分行业标杆客户处使用，通过标杆客户的大规模量产验证后逐渐形成高速量产型的成熟机型。在工程样机至成熟机型的验证过程中，发行人进一步积累了与产业融合的应用层技术，具体如下图所示：
    
    （3）2016年下半年以来，由于不断加大资金投入、人才引进与培养，以及抓住下游行业技术变革及设备进口替代两大市场契机，发行人技术及产品不断走向成熟，产品逐渐被下游客户所接受。2017-2019年，PCB直接成像设备销售收入分别为1,823.41万元、5,247.11万元和19,242.85万元，复合增长率为224.86%。
    
    ①资金投入、人才引进与培养
    
    在资金投入方面，自2016年起，发行人在原始股东投资的基础上，先后获得了安徽高新投、合肥创新投、合肥高新投等国有投资机构以及春生三号、聚源
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
    聚芯等专业投资机构的投资，发行人将上述资金大部分用于新产品研发以及产品
    
    的产业化，从而有效提升了发行人技术与产品的成熟度。
    
    在人才引进与培养方面，发行人陆续引进了一批具有高端设备研制及销售经验的海内外高端人才，如从美国硅谷引进首席科学家CHEN DONG博士，从台湾引进工程技术管理专家张任纬，从日资企业引进客服专家李建新，引进国际化营销人才李建兵、沈祥。同时发行人加大了自身人才培养的力度，陆续成立了合肥市直写光刻设备工程技术研究中心、合肥市外国专家工作室、博士后科研工作站等。
    
    ②下游行业技术变革
    
    随着PCB产品不断升级，传统曝光技术在光刻精度、对位精度、生产效率、柔性化生产、自动化水平以及环保性等方面已经难以满足中高端PCB产品的产业化生产需求，直接成像技术已经成为了中高端PCB产品制造中的主流技术方案。2016年以后，PCB直接成像设备的应用日益受到PCB产业的重视，方正越亚、深南电路等中国大陆地区领先的PCB厂商开始逐步减少传统曝光设备的采购，转向采购PCB直接成像设备作为替代，推动PCB直接成像设备的市场需求快速增长。
    
    ③国际贸易摩擦下，带来的国产高端设备进口替代
    
    2016年3月，美国商务部对中兴通讯实施出口限制措施，给中国集成电路产业敲响了警钟，在元器件、设备、材料等产业核心领域摆脱对国外供应商的过度依赖刻不容缓。在此背景下，发行人工程样机在经中小客户不断试错、改进、验证后形成了相对定型的设备，并于2017年后逐步获得了国内大型PCB企业的设备入厂许可和验证机会，并最终获得了健鼎科技、深南电路、景旺电子、胜宏科技等标杆客户的订单，在客户验证的过程中不断积累技术经验和技术诀窍，促使发行人的PCB直接成像设备机型逐步走向成熟并实现量产。
    
    （4）发行人产品在逐渐被客户接受后，随着下游客户验证过程中的持续反馈，发行人应用层经验和技术诀窍随之不断积累和提升，从而构筑了较高的技术壁垒。
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
    发行人直写光刻设备需要经过大量客户工艺验证及优化，产业融合要求高。在上述技术变革及高端设备进口替代两大市场契机的推动下，发行人得以拥有更多的客户验证机会，并在验证、优化过程中不断积累和掌握了包含诸多技术经验和技术诀窍的应用层技术，该技术难以在短期内被竞争对手复制和模仿，从而构筑了发行人较高的技术壁垒。
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
    问题2、关于国资股变动
    
    根据反馈回复，2019年8月，合肥创新投将其持有的芯碁有限5.27%的股权以 1.42 元/股转让给发行人实际控制人程卓系履行协议约定的股权回购行为，2019年10月又以12.13元/股价格增资发行人，系市场投资行为，定价系依据双方协商情况和当时的市场价格，二者价格存在差异具有合理性。
    
    请发行人说明：（1）发行人历次国资股权变动的价格及定价依据，是否经过评估、备案，与实际控制人等关于股份回购的具体约定，相关安排的原因及商业合理性，是否属于激励措施，是否符合国资管理相关规定；（2）2019年10月，合肥创新投投资发行人2000万元是否需经管委会审批，是否符合《合肥市天使投资基金管理办法（2019）》投资限额的相关规定，发行人历次国有股权变动是否履行了必要的审批程序，是否存在瑕疵。
    
    请发行人律师对上述事项进行核查并发表明确意见。
    
    回复：
    
    本所承办律师履行了包括但不限于如下查验程序：
    
    1．查阅发行人与国资股东的投资协议、回购协议；2．查阅合肥高新区国有资产管理局出具的《关于合肥高新科技创业投资有限公司持有合肥芯碁微电子装备股份有限公司国有股权管理有关情况的说明》；3．查阅《合肥市天使投资基金管理办法（2019）》、查阅合肥市国资委出具的《关于合肥市创新科技风险投资有限公司及合肥市天使投资基金有限公司持有合肥芯碁微电子装备股份有限公司管理有关情况的说明》《合肥市企业国有资产产权代表重大事项请示与报告制度》及合肥创新投《公司章程》；4．查阅安徽省创业投资有限公司出具的《关于量子基金投资芯碁微装的说明》及《安徽省国资委授权放权清单（2019）年版》（皖国资法规[2019]108 号）；5．查阅中共安徽省委宣传部出具的《关于安徽报业传媒集团有限公司股权退出有关事项的批复》及报业传媒进场交易相关程序证明资料；6．查阅安徽省科学技术厅出具的《关于安徽省高新技术产业投资有限公司持有合肥芯碁微电子装备股份有限公司国有股权有关情况的说明》及其发布的《安徽省扶持高层次科技人才团队在皖创新创业实施细则》等。
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
    （一）发行人历次国资股权变动的价格及定价依据，是否经过评估、备案，与实际控制人等关于股份回购的具体约定，相关安排的原因及商业合理性，是否属于激励措施，是否符合国资管理相关规定
    
    1．发行人历次国资股权变动的价格及定价依据，是否经过评估、备案
    
    经本所承办律师核查，发行人的历史上国有股东包括合肥高新投、合肥创新投、合肥天使投、量子产业基金、报业传媒、安徽高新投，上述国有股东的股权变动、变动价格、定价依据等情况如下：
    
    （1）合肥高新投历次股权变动、变动价格、定价依据等情况
    
    经合肥市高新区天使投资基金决策委员会2016年第三次投委会决议通过，2016年11月，合肥高新投以500万元认缴芯碁微装新增注册资本312.5万元（占芯碁微装股权的4.95%），每股价格为1.6元。合肥高新投入股发行人后历次股权变动情况、价格、定价依据如下：
    
       时间       相关经济行为      增资/转让        定价依据         国有股权变动情况
                                      价格
               芯碁微装注册资本由                                  本次增资完成后，合肥
               6,312.50 万元增加至               基于前次投资价格、  高新投持有芯碁微装股
      2016年   6,499.9990 万元，新   1.60元/股    公司经营发展状况    权比例被稀释至4.81%。
       12月    增注册资本187.4990               与公司协商确定。    本次增资价格不低于合
               万元由合肥创新投出                                  肥高新投入股芯碁微装
               资300万元认缴。                                     价格。
               芯碁微装注册资本由                                  本次增资完成后，合肥
               6,499.9990 万元增加               基于前次投资价格、  高新投持有芯碁微装股
     2017年3   至6,687.4990万元，    1.60元/股    公司经营发展状况    权比例被稀释至4.67%。
        月     新增注册资本187.50               与公司协商确定。    本次增资价格不低于合
               万元由安徽高新投出                                  肥高新投入股芯碁微装
               资300万元认缴。                                     价格。
               芯碁微装注册资本由                                  本次增资完成后，合肥
               6,687.4990 万元增加                                   高新投持有芯碁微装股
     2018年5   至7,187.4972万元，                基于公司经营发展    权比例被稀释至4.35%。
        月     新 增 注 册 资 本   4.00元/股    状况与公司协商确    本次增资价格不低于合
               499.9982万元由春生               定。                肥高新投入股芯碁微装
               三号出资 2,000 万元                                  价格。
               认缴。
               芯碁微装注册资本由                                  本次增资完成后，合肥
     2018年8   7,187.4972 万元增加               基于前次投资价格、  高新投持有芯碁微装股
        月     至7,287.4972万元，    4.00元/股    公司经营发展状况    权比例被稀释至4.29%。
               新增注册资本100万                与公司协商确定。    本次增资价格不低于合
               元由合肥天使投出资                                  肥高新投入股芯碁微装
    
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
       时间       相关经济行为      增资/转让        定价依据         国有股权变动情况
                                      价格
               400万元认缴。                                       价格。
               芯碁微装注册资本由                                  本次增资完成后，合肥
               7,287.4972 万元增加                                   高新投持有芯碁微装股
      2018年   至7,651.8721万元，                基于前次投资价格、  权比例被稀释至4.08%。
       12月    新 增 注 册 资 本  5.49元／股   公司经营发展状况    本次增资价格不低于合
               364.3749万元由聚源               与公司协商确定。    肥高新投入股芯碁微装
               聚芯出资 2,000 万元                                  价格。
               认缴。
               芯碁微装注册资本由
               7,651.8721 万元增加                                   本次增资完成后，合肥
     2019年8   至7,833.8721万元，                                    高新投持有芯碁微装股
        月     新增注册资本182万    2.00元／股   实施员工股权激励。  权比例被稀释至3.99%。
               元，由纳光刻、合光                                  本次增资系芯碁微装实
               刻出资 364 万元认                                   施股权激励。
               缴。
                                                该次转让系合肥高
                                                新投依据《关于合肥
                                                芯碁微电子装备有
               合肥高新投将218.75               限公司的增资扩股
     2019年9   万元芯碁微装股权以               事宜的补充协议》    该次股权转让后，合肥
        月     432.99737 万元的价   1.98元／股   《关于合肥高新科    高新投持有芯碁微装股
               格转让给程卓。                   技创业投资有限公    权比例降低至1.20%。
                                                司增资扩股事宜的
                                                备忘录》进行的股权
                                                回购，依照上述协议
                                                约定定价。
               芯碁微装注册资本由
               7,833.8721 万元增加
               至8,823.4138万元，                                   本次增资完成后，合肥
               新 增 注 册 资 本                                  高新投持有芯碁微装股
      2019年   989.5417万元，由康   12.13元／   基于前次投资价格、  权比例被稀释至1.06%。
       10月    同投资、启赋国隆、      股      公司经营发展状况    本次增资价格不低于合
               中小企业发展基金、               与公司协商确定。    肥高新投入股芯碁微装
               合肥创新投、量子产                                  价格。
               业基金、东方富海、
               新余国隆出资12,000
               万元认缴。
               芯碁微装注册资本由                                  本次增资完成后，合肥
               8,823.4138 万元增加                                   高新投持有芯碁微装股
      2019年   至9,059.7552万元，    12.69元／   基于前次投资价格、  权比例被稀释至1.03%。
       12月    新 增 注 册 资 本      股      公司经营发展状况    本次增资价格不低于合
               236.3414万元由国投               与公司协商确定。    肥高新投入股芯碁微装
               基金出资 3,000 万元                                  价格。
               认缴。
    
    
    如上表所述，本所承办律师认为，合肥高新投入股发行人后历次股权变动定价合理。
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
    根据《企业国有资产评估管理暂行办法》的规定，“非上市公司国有股东股权比例变动”应当履行评估及相应的备案程序。经本所承办律师核查，合肥高新投在入股发行人后，上表所述经济行为导致合肥高新投股权比例发生变动，但未履行评估、备案程序，不符合《企业国有资产评估管理暂行办法》的相关规定。
    
    就上述情况，2020年8月21日，合肥高新投的国有资产管理部门合肥高新技术产业开发区财政局（国有资产管理局）（以下简称“合肥高新区国有资产管理局”）出具了《关于合肥高新科技创业投资有限公司持有合肥芯碁微电子装备股份有限公司国有股权管理有关情况的说明》，确认：合肥高新投持有的芯碁微装国有股权管理规范、有效，履行了必要的决策审批程序，在上述股权变动过程中，未存在合肥高新投作为国有股东利益受损的情况。
    
    本所承办律师认为，上表所述经济行为未按照《企业国有资产评估管理暂行办法》的规定履行资产评估程序，不符合《企业国有资产评估管理暂行办法》的相关规定。但鉴于合肥高新投入股发行人后历次股权变动定价合理，且合肥高新区国有资产管理局亦确认未存在合肥高新投作为国有股东利益受损的情况，因此该等情形不构成本次发行上市的实质性法律障碍。
    
    （2）合肥创新投及合肥天使投历次股权变动、变动价格、定价依据等情况
    
    合肥创新投系合肥天使投的出资人及资金管理人，合肥天使投为合肥创新投的全资子公司，二者的主管部门为合肥市人民政府国有资产监督管理委员会（以下简称“合肥市国资委”）。2019年9月之前，合肥创新投作为合肥天使投的资金管理人，对发行人的出资资金全部来自合肥天使投，因此相关投资的入股、转让或退出的投资决策均由合肥市天使投资基金管委会（2017 年决策机构调整为天使投资决策委员会）作出；2019年9月之后，合肥创新投作为直接出资人，依据《合肥市企业国有资产产权代表重大事项请示与报告制度》及其《公司章程》规定，其投资决策均由董事会作出。
    
    2020年8月19日，合肥创新投和合肥天使投的主管部门合肥市国资委出具了《关于合肥市创新科技风险投资有限公司及合肥市天使投资基金有限公司持有合肥芯碁微电子装备股份有限公司管理有关情况的说明》（以下简称“《关于合肥
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
    创新投及合肥天使投的情况说明》”），对发行人历史上合肥创新投和合肥天使投
    
    的上述投资决策进行了确认。
    
    ①合肥创新投历次股权变动、变动价格、定价依据等情况
    
    经合肥市天使投资基金管委会办公室2016年第五次会议审议通过，2016年12月，合肥创新投受让亚歌半导体持有的芯碁微装4.75%股权的认缴权（对应芯碁微装注册资本300万元）并履行了出资义务，以300万元认缴芯碁微装新增注册资本187.4990万元（每股价格为1.6元），合计持有芯碁微装7.5%股权。合肥创新投入股发行人后历次股权变动情况具体如下：
    
       时间       相关经济行为      增资/转让        定价依据         国有股权变动情况
                                      价格
               芯碁微装注册资本由                                  本次增资完成后，合肥
               6,499.9990 万元增加               基于前次投资价格、  创新投持有芯碁微装股
     2017年3   至6,687.4990万元，    1.60元/股    公司经营发展状况    权比例被稀释至7.29%。
        月     新增注册资本187.50               与公司协商确定。    本次增资价格不低于合
               万元由安徽高新投出                                  肥创新投入股芯碁微装
               资300万元认缴。                                     价格。
               芯碁微装注册资本由                                  本次增资完成后，合肥
               6,687.4990 万元增加                                   创新投持有芯碁微装股
     2018年5   至7,187.4972万元，                基于公司经营发展    权比例被稀释至6.78%。
        月     新 增 注 册 资 本   4.00元/股    状况与公司协商确    本次增资价格不低于合
               499.9982万元由春生               定。                肥创新投入股芯碁微装
               三号出资 2,000 万元                                  价格。
               认缴。
               芯碁微装注册资本由                                  本次增资完成后，合肥
               7,187.4972 万元增加               基于前次投资价格、  创新投持有芯碁微装股
     2018年8   至7,287.4972万元，    4.00元/股    公司经营发展状况    权比例被稀释至6.69%。
        月     新增注册资本100万                与公司协商确定。    本次增资价格不低于合
               元由合肥天使投出资                                  肥创新投入股芯碁微装
               400万元认缴。                                       价格。
               芯碁微装注册资本由                                  本次增资完成后，合肥
               7,287.4972 万元增加                                   创新投持有芯碁微装股
      2018年   至7,651.8721万元，                基于前次投资价格、  权比例被稀释至6.37%。
       12月    新 增 注 册 资 本  5.49元／股   公司经营发展状况    本次增资价格不低于合
               364.3749万元由聚源               与公司协商确定。    肥创新投入股芯碁微装
               聚芯出资 2,000 万元                                  价格。
               认缴。
               芯碁微装注册资本由
               7,651.8721 万元增加                                   本次增资完成后，合肥
     2019年8   至7,833.8721万元，                                    创新投持有芯碁微装股
        月     新增注册资本182万    2.00元／股   实施员工股权激励。  权比例被稀释至6.22%。
               元，由纳光刻、合光                                  本次增资系芯碁微装实
               刻出资 364 万元认                                   施股权激励。
               缴。
    
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
       时间       相关经济行为      增资/转让        定价依据         国有股权变动情况
                                      价格
                                                该次转让系合肥创
                                                新投依据《合肥芯碁
               合 肥 创 新 投 将               微电子装备有限公
     2019年9   412.4990万元芯碁微               司增资协议之补充    该次转让后合肥创新投
        月     装股权以585.205479   1.41元／股   协议》和《合肥市天  持有芯碁微装股权的比
               万元的价格转让给程               使投资基金管理办    例降低至0.96％。
               卓。                             法（2019）》进行的
                                                股权回购，依照上述
                                                协议约定定价。
                                                该次转让系同一国
               合肥天使投将 20 万               资主管部门控制下    该次转让后合肥创新投
     2019年9   元芯碁微装股权以     9.35元／股   两家公司的资产转    持有芯碁微装股权的比
        月     187 万元的价格转让               让，价格由合肥创新  例增加至1.21％。
               给合肥创新投。                   投、合肥天使投基于
                                                市场情况协商确定。
               芯碁微装注册资本由
               7,833.8721 万元增加
               至8,823.4138万元，                                   本次增资完成后，合肥
               新 增 注 册 资 本                                  创新投持有芯碁微装股
      2019年   989.5417万元，由康   12.13元／   基于前次投资价格、  权比例增加至2.95%。
       10月    同投资、启赋国隆、      股      公司经营发展状况    本次增资价格不低于合
               中小企业发展基金、               与公司协商确定。    肥创新投入股芯碁微装
               合肥创新投、量子产                                  价格。
               业基金、东方富海、
               新余国隆出资12,000
               万元认缴。
               芯碁微装注册资本由                                  本次增资完成后，合肥
               8,823.4138 万元增加                                   创新投持有芯碁微装股
      2019年   至9,059.7552万元，    12.69元／   基于前次投资价格、  权比例被稀释至2.87%。
       12月    新 增 注 册 资 本      股      公司经营发展状况    本次增资价格不低于合
               236.3414万元由国投               与公司协商确定。    肥创新投入股芯碁微装
               基金出资 3,000 万元                                  价格。
               认缴。
    
    
    如上表所述，本所承办律师认为，合肥创新投入股发行人后历次股权变动定价合理。
    
    根据《企业国有资产评估管理暂行办法》的规定，“非上市公司国有股东股权比例变动”应当履行评估及相应的备案程序。经本所承办律师核查，合肥创新投在入股发行人后，上表所述经济行为导致合肥创新投股权比例发生变动，但未履行评估、备案程序，不符合《企业国有资产评估管理暂行办法》的相关规定。
    
    就上述情况，合肥市国资委出具了《关于合肥创新投及合肥天使投的情况说明》，确认：合肥创新投对芯碁微装国有股权管理规范、有效，履行了必要的决策审批程序，且上述股权变动过程中未存在合肥创新投作为国有股东利益受损的
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
    情况。
    
    本所承办律师认为，上表所述经济行为未按照《企业国有资产评估管理暂行办法》的规定履行资产评估程序，不符合《企业国有资产评估管理暂行办法》的相关规定。但鉴于合肥创新投入股发行人后历次股权变动定价合理，且合肥市国资委亦确认未存在合肥创新投作为国有股东利益受损的情况，因此该等情形不构成本次发行上市的实质性法律障碍。
    
    ②合肥天使投历次股权变动、变动价格、定价依据等情况
    
    经合肥市国资委2018年第17次主任办公会审议通过，2018年8月，合肥天使投以 400 万元认缴芯碁微装新增注册资本 100 万元（占芯碁微装股权的1.37%），每股价格为4元。合肥天使投入股发行人后历次股权变动情况具体如下：
    
       时间       相关经济行为      增资/转让        定价依据         国有股权变动情况
                                      价格
               芯碁微装注册资本由                                  本次增资完成后，合肥
               7,287.4972 万元增加                                   天使投持有芯碁微装股
     2018  年  至7,651.8721万元，                基于前次投资价格、  权比例被稀释至1.31%。
     12月      新 增 注 册 资 本  5.49元／股   公司经营发展状况    本次增资价格不低于合
               364.3749万元由聚源               与公司协商确定。    肥天使投入股芯碁微装
               聚芯出资 2,000 万元                                  价格。
               认缴。
               芯碁微装注册资本由
               7,651.8721 万元增加                                   本次增资完成后，合肥
     2019年8   至7,833.8721万元，                                    天使投持有芯碁微装股
     月        新增注册资本182万   2.00元／股   实施员工股权激励。  权比例被稀释至1.28%。
               元，由纳光刻、合光                                  本次增资系芯碁微装实
               刻出资 364 万元认                                   施股权激励。
               缴。
                                                该次转让系合肥天
                                                使投依据《合肥芯碁
                                                微电子装备有限公
               合肥天使投将 80 万               司增资协议之补充    该次转让后，合肥天使
     2019年9   元芯碁微装股权以    4.32元／股   协议》和《合肥市天  投持有芯碁微装股权比
     月        346.090959万元的价               使投资基金管理办    例降低至0.26%。
               格转让给程卓。                   法（2019）》进行的
                                                股权回购，依照上述
                                                规定及协议约定定
                                                价。
                                                该次转让系同一国
               合肥天使投将 20 万               资主管部门控制下    该次转让后合肥天使投
     2019年9   元芯碁微装股权以    9.35元／股   两家公司的资产转    不再持有芯碁微装股
     月        187 万元的价格转让               让，价格由合肥创新  权。
               给合肥创新投。                   投、合肥天使投基于
                                                市场情况协商确定。
    
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
    如上表所述，本所承办律师认为，合肥天使投入股发行人后历次股权变动定价合理。
    
    根据《企业国有资产评估管理暂行办法》的规定，“非上市公司国有股东股权比例变动”应当履行评估及相应的备案程序。经本所承办律师核查，合肥天使投在入股发行人后，上表所述经济行为导致合肥天使投股权比例发生变动，但未履行评估、备案程序，不符合《企业国有资产评估管理暂行办法》的相关规定。
    
    就上述情况，合肥市国资委出具了《关于合肥创新投及合肥天使投情况的说明》，确认：合肥天使投对芯碁微装国有股权管理规范、有效，履行了必要的决策审批程序，且上述股权变动过程中未存在合肥天使投作为国有股东利益受损的情况。
    
    本所承办律师认为，上表所述经济行为未按照《企业国有资产评估管理暂行办法》的规定履行资产评估程序，不符合《企业国有资产评估管理暂行办法》的相关规定。但鉴于合肥天使投入股发行人后历次股权变动定价合理，且合肥市国资委亦确认未存在合肥天使投作为国有股东利益受损的情况，因此该等情形不构成本次发行上市的实质性法律障碍。
    
    （3）量子产业基金历次股权变动、变动价格、定价依据等情况
    
    经安徽省量子产业基金投资决策委员会2019年第四次会议决议通过，2019年10月，量子产业基金以1,000万元认缴芯碁微装新增注册资本82.4618万元（占芯碁微装股权的0.93％），每股价格为12.13元。量子产业基金入股发行人后历次股权变动情况具体如下：
    
       时间       相关经济行为      增资/转让        定价依据         国有股权变动情况
                                      价格
               芯碁微装注册资本由                                  本次增资完成后，量子
               8,823.4138 万元增加                                   产业基金持有芯碁微装
     2019  年  至9,059.7552万元，   12.69 元／   基于前次投资价格、  股 权 比 例 被 稀 释 至
     12月      新 增 注 册 资 本  股          公司经营发展状况    0.91%。
               236.3414万元由国投               与公司协商确定。    本次增资价格不低于量
               基金出资 3,000 万元                                  子产业基金入股芯碁微
               认缴。                                              装价格。
    
    
    如上表所述，本所承办律师认为，量子产业基金入股发行人后历次股权变动
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
    定价合理。
    
    根据《企业国有资产评估管理暂行办法》的规定，“非上市公司国有股东股权比例变动”应当履行评估及相应的备案程序。经本所承办律师核查，量子产业基金在入股发行人后，上表所述经济行为导致量子产业基金股权比例发生变动，但未履行评估、备案程序，不符合《企业国有资产评估管理暂行办法》的相关规定。
    
    就上述情况，2020年8月21日，安徽省创业投资有限公司（以下简称“安徽省创投公司”）出具了《关于量子基金投资芯碁微装的说明》，确认：安徽省创投公司系属《安徽省国资委授权放权清单（2019）年版》（皖国资法规[2019]108号）规定的授权省属企业，量子产业基金系安徽省创投公司管理的国有私募股权投资基金，量子产业基金对芯碁微装的增资已履行必要的审批程序、未违反相关国有资产管理规定，量子产业基金上述持股比例变动情形不会造成量子产业基金作为国有股东的利益受损。
    
    经本所承办律师核查，《安徽省国资委授权放权清单（2019）年版》规定：省属企业审批所持有非上市股份有限公司的国有股权管理方案和股权变动事项（主业处于关系国家安全、国民经济命脉的重要行业和关键领域，主要承担重大专项任务的子企业除外）。因此安徽省创投公司作为授权省属企业有权对量子产业基金的国有股权变动情况进行确认。
    
    本所承办律师认为，上表所述经济行为未按照《企业国有资产评估管理暂行办法》的规定履行资产评估、备案程序，不符合《企业国有资产评估管理暂行办法》的相关规定。但鉴于量子产业基金入股发行人后历次股权变动定价合理，且安徽省创投公司作为授权省属企业亦确认量子产业基金持股比例变动情形未存在国有股东利益受损的情况，因此，该等情形不构成本次发行上市的实质性法律障碍。
    
    （4）报业传媒历次股权变动、变动价格、定价依据等情况
    
    经安徽日报报业集团（安徽日报社）内部决策会议审议，2016年7月，报业传媒以1,200万元的对价取得芯碁微装20%股权（对应芯碁微装注册资本1,200
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
    万元），每股价格为1元。报业传媒入股发行人后历次股权变动情况、价格、定
    
    价依据如下：
    
       时间       相关经济行为      增资/转让        定价依据         国有股权变动情况
                                      价格
               芯碁微装注册资本由                                  本次增资完成后，报业
               6,000 万 元 增 加 至               基于公司经营发展    传媒持有芯碁微装股权
      2016年   6,312.50 万元，新增   1.60元/股    状况与公司协商确    比例被稀释至19.01%。
       11月    注册资本312.50万元               定。                本次增资价格不低于报
               由合肥高新投出资                                    业传媒入股芯碁微装价
               500万元认缴。                                       格。
               芯碁微装注册资本由                                  本次增资完成后，报业
               6,312.50 万元增加至               基于前次投资价格、  传媒持有芯碁微装股权
      2016年   6,499.9990 万元，新   1.60元/股    公司经营发展状况    比例被稀释至18.46%。
       12月    增注册资本187.4990               与公司协商确定。    本次增资价格不低于报
               万元由合肥创新投出                                  业传媒入股芯碁微装价
               资300万元认缴。                                     格。
               芯碁微装注册资本由                                  本次增资完成后，报业
               6,499.9990 万元增加               基于前次投资价格、  传媒持有芯碁微装股权
     2017年3   至6,687.4990万元，    1.60元/股    公司经营发展状况    比例被稀释至17.94%。
        月     新增注册资本187.50               与公司协商确定。    本次增资价格不低于报
               万元由安徽高新投出                                  业传媒入股芯碁微装价
               资300万元认缴。                                     格。
               报业传媒以公开挂牌
      2017年   交易的方式将其所持               基于资产评估价值    该次转让完成后报业传
       12月    1,200  万 元 股 权 以   1.20元/股    经公开挂牌程序确    媒不再持有芯碁微装股
               1,440 万元对价转让               定。                权。
               给顶擎电子。
    
    
    如上表所述，本所承办律师认为，报业传媒入股发行人后历次股权变动定价合理。
    
    根据《企业国有资产评估管理暂行办法》的规定，“非上市公司国有股东股权比例变动”应当履行评估及相应的备案程序。经本所承办律师核查，报业传媒在入股发行人后，上表所述经济行为导致报业传媒股权比例发生变动，但未履行评估、备案程序，不符合《企业国有资产评估管理暂行办法》的相关规定。
    
    经本所承办律师核查，报业传媒退出发行人时已按照《企业国有资产交易监督管理办法》等相关规定履行了如下程序：2017年9月20日，中共安徽省委宣传部出具《关于安徽报业传媒集团有限公司股权退出有关事项的批复》，同意报业传媒退出芯碁微装；2017年10月16日，安徽省财政厅对《合肥芯碁微电子装备有限公司股东全部权益价值项目评估报告》（皖华安评报字（2017）082号）的评估结果进行了备案，备案编号为财资评备2017022号；根据相关评估报告和
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
    备案结果，确认截至2017年5月31日，芯碁有限净资产账面价值为4,332.30
    
    万元，评估价值为4,308.46万元；2017年11月6日至2017年12月1日，安徽
    
    省产权交易中心就报业传媒拟对外转让芯碁有限股权事宜公开挂牌征集受让方
    
    ‘经安徽省产交所对意向受让方进行审查，确定顶擎电子为合格竞买人；2017
    
    年12月12日，报业传媒和顶擎电子签署了《产权交易合同》，约定报业传媒将
    
    其持有的芯碁有限17.94%股权以1,440万元的价格转让给顶擎电子；2017年12
    
    月19日，安徽省产权交易中心出具《产权交易凭证》（皖产交凭字[2017]第0085
    
    号），确认报业传媒和顶擎电子的产权转让行为符合法定程序。
    
    本所承办律师认为，上表所述经济行为未按照《企业国有资产评估管理暂行办法》的规定履行资产评估程序，不符合《企业国有资产评估管理暂行办法》的相关规定。但鉴于报业传媒自2017年12月起已不再持有发行人股权，其入股发行人后历次股权变动定价合理，且退出时已按照相关规定进场挂牌交易，履行了必要程序，因此该等情形不构成本次发行上市的实质性法律障碍。
    
    （5）安徽高新投历次股权变动、变动价格、定价依据等情况
    
    根据安徽省科学技术厅发布的《安徽省2016年度扶持高层次科技人才团队在皖创新创业公告》，2017年3月，安徽高新投以300万元认缴芯碁微装新增注册资本187.50万元（占芯碁微装股权的2.80%），每股价格为1.6元。安徽高新投入股发行人后历次股权变动情况具体如下：
    
       时间       相关经济行为      增资/转让        定价依据         国有股权变动情况
                                      价格
               芯碁微装注册资本由                                  本次增资完成后，安徽
               6,687.4990 万元增加                                   高新投持有芯碁微装股
     2018年5   至7,187.4972万元，                基于公司经营发展    权比例被稀释至2.61%。
        月     新 增 注 册 资 本   4.00元/股    状况与公司协商确    本次增资价格不低于安
               499.9982万元由春生               定。                徽高新投入股芯碁微装
               三号出资 2,000 万元                                  价格。
               认缴。
               芯碁微装注册资本由                                  本次增资完成后，安徽
               7,187.4972 万元增加               基于前次投资价格、  高新投持有芯碁微装股
     2018年8   至7,287.4972万元，    4.00元/股    公司经营发展状况    权比例被稀释至2.57%。
        月     新增注册资本100万                与公司协商确定。    本次增资价格不低于安
               元由合肥天使投出资                                  徽高新投入股芯碁微装
               400万元认缴。                                       价格。
    
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
       时间       相关经济行为      增资/转让        定价依据         国有股权变动情况
                                      价格
               芯碁微装注册资本由                                  本次增资完成后，安徽
               7,287.4972 万元增加                                   高新投持有芯碁微装股
      2018年   至7,651.8721万元，                基于前次投资价格、  权比例被稀释至2.45%。
       12月    新 增 注 册 资 本  5.49元／股   公司经营发展状况    本次增资价格不低于安
               364.3749万元由聚源               与公司协商确定。    徽高新投入股芯碁微装
               聚芯出资 2,000 万元                                  价格。
               认缴。
               芯碁微装注册资本由
               7,651.8721 万元增加                                   本次增资完成后，安徽
     2019年8   至7,833.8721万元，                                    高新投持有芯碁微装股
        月     新增注册资本182万    2.00元／股   实施员工股权激励。  权比例被稀释至2.39%。
               元，由纳光刻、合光                                  本次增资系芯碁微装实
               刻出资 364 万元认                                   施股权激励。
               缴。
                                                该次转让系安徽高
                                                新投依据《安徽省扶
               安徽高新投将 147.5               持高层次科技人才
               万元芯碁微装股权转               团队在皖创新创业
               让给程卓，将20万元               实施细则》（皖政办
     2019年9   芯碁微装股权转让给   0.00元／股   [2015]40 号）《合肥 该次转让完成后安徽高
        月     方林，将20万元芯碁               芯碁微电子装备有    新投退出芯碁微装。
               微装股权转让给何少               限公司增资协议》的
               锋。                             相关规定和协议约
                                                定进行的股权奖励，
                                                依照上述规定及协
                                                议约定定价。
    
    
    如上表所述，本所承办律师认为，安徽高新投入股发行人后历次股权变动定价合理。
    
    根据《企业国有资产评估管理暂行办法》的规定，“非上市公司国有股东股权比例变动”应当履行评估及相应的备案程序。经本所承办律师核查，安徽高新投在入股发行人后，上表所述经济行为导致安徽高新投股权比例发生变动，但未履行评估、备案程序，不符合《企业国有资产评估管理暂行办法》的相关规定。
    
    根据《安徽省扶持高层次科技人才团队在皖创新创业实施细则》，省政府对于符合条件的科技团队以投资入股的方式给予支持，委托安徽高新投作为出资人，由安徽省科技部门会同相关部门负责协调落实相关政策。就上述安徽高新投的股
    
    权变动情况，2020年9月1日，安徽省科学技术厅出具了《关于安徽省高新技
    
    术产业投资有限公司持有合肥芯碁微电子装备股份有限公司国有股权有关情况
    
    的说明》，确认：安徽高新投对持有的芯碁微装国有股权管理规范、有效，均履
    
    行了必要的决策审批程序，均严格依照有关政策和法规执行，不存在违法行为致
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
    使安徽高新投作为国有股东利益受损的情况。
    
    本所承办律师认为，上表所述经济行为未按照《企业国有资产评估管理暂行办法》的规定履行资产评估程序，不符合《企业国有资产评估管理暂行办法》的相关规定。但鉴于安徽高新投入股发行人后历次国资股权变动定价合理，且安徽省科学技术厅亦确认未存在安徽高新投作为国有股东利益受损的情况，因此该等情形不构成本次发行上市的实质性法律障碍。
    
    2．与实际控制人等关于股份回购的具体约定，相关安排的原因及商业合理性，是否属于激励措施，是否符合国资管理相关规定
    
    经本所承办律师核查，报告期内发行人的实际控制人等依照与国有股东合肥高新投、合肥创新投、合肥天使投的股份回购约定进行了股权回购，相关回购条款的具体情况如下：
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）相关安排的
    
     国有    是否符合国资管理相
            协议名称    协议各方                         回购条款内容                        原因及商业   是否属于激励措施
     股东    关规定
                                                                                               合理性
                                    第五条 股权激励约定
                                    乙方承诺将本次投资甲方股权的70%（即218.75万股）用于甲
                                    方未来员工股权激励，在本次投后4年内低价（不低于8%年利                否，2019年9月合肥
                                    率）转让给激励对象，具体股权激励计划方案由股东会会议决               高新投出具了《合肥
                                    定。                                                                 高新科技创业投资    是，2020年8月21日，
                                    第六条 本次增资的其它相关约定                                        有限公司关于合肥    合肥高新技术产业开
                                    6.10业绩约定及补偿股份                                                芯碁微电子装备有    发区财政局（国有资产
                                    乙方有权要求丙、丁选择以下2种方式中1种方式对丙、丁方                 限公司投资和回购    管理局）出具了《关于
                       甲方：芯碁   进行业绩考核及股份补偿：                                             的情况说明》，对程  合肥高新科技创业投
            《关于合   有限         方式一：乙方将对甲方 2016-2018 年累计营业收入进行考核，               卓依据《关于合肥芯  资有限公司持有合肥
            肥芯碁微   乙方：合肥   若甲方 2016-2018 年的经乙方认可的会计所审计后的累计营业               碁微电子装备有限    芯碁微电子装备股份
     合 肥  电子装备   高新投       收入小于12000万元时，则丙、丁方将按下面计算公式对乙方                公司增资扩股事宜    有限公司国有股权管
     高 新  有限公司   丙方：赵扬、 进行股权补偿，补偿方式为股权无偿转让。补偿过程中涉及股   相关股东依   的补充协议的备忘    理有关情况的说明》，
     投     增资扩股   方林、何少   权转让等的相关费用由丙、丁方承担。                       据协商约定   录》的协议约定内容  确认合肥高新投持有
            事宜的补   锋             股权补偿额度=9600*（1—2016至2018年实际累计营业收                  回购其 218.75 万元  的芯碁微装国有股权
            充协议》   丁方：亚歌     入/12000）/1.6。补偿上限为300万股。                                  芯碁有限股权的情    管理规范、有效，履行
                       半导体       方式二：乙方将对甲方2018年市值进行考核，若2018年12月                 况进行了确认，并确  了必要的决策审批程
                                    31日之前甲方市值低于1.5亿元，则丙、丁方将按下表对乙方                 认该转让不涉及对    序。在上述股权变动过
                                    进行股权补偿，市值认定方式：本次增资后原股东或其他投资               公司员工的奖励或    程中，未存在合肥高新
                                    者按1.5亿元估值对甲方进行股权投资1000万元以上，补偿方                 激励，与获得相关人  投作为国有股东利益
                                    式为股权无偿转让。补偿过程中涉及股权转让的相关费用由丙，             员的服务无关，为股  受损的情况。
                                    丁方承担。                                                           东之间对相关协议
                                      表—丁方对乙方进行股权补偿标准                                     约定的履行。
                                       2018年甲方市值       股权补偿份额
                                       大于或等于1.5亿元    0
                                       小于1.5亿元          300万股
    
    
    8-3-76
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）相关安排的
    
     国有    是否符合国资管理相
            协议名称    协议各方                         回购条款内容                        原因及商业   是否属于激励措施
     股东    关规定
                                                                                               合理性
                                    一、根据《关于合肥芯碁微电子装备有限公司增资扩股事宜的
                                    补充协议》（以下简称“《补充协议》”）第五条“股权激励约定”
                                    之约定，合肥高新投将其持有的芯碁有限的218.75万股股权用
                                    于甲方未来员工股权激励，在合肥高新投本次投资后4年内以
            《关于合                不低于8%年利率转让给激励对象，具体股权激励方案由芯碁有
            肥芯碁微   程卓、芯碁   限股东会决议决定。
            电子装备   有限、合肥   为满足公司迫切的人才发展需求，2016年3月程卓女士通过公
            有限公司   高新投、赵   司持股平台亚歌半导体向芯碁有限员工进行了股权激励。
            增资扩股   扬、方林、   鉴于上述股权激励数量（合计对应514.5万元芯碁有限股权）高
            事宜的补   何少锋、亚   于《补充协议》第五条约定的数量（对应218.75万元芯碁有限
            充协议的   歌半导体     股权），各方同意未来在履行《补充协议》第五条约定时，可依
            备忘录》                据《补充协议》第五条约定并在程卓女士已激励股权额度范围
                                    内，由程卓女士购买合肥高新投所持有的芯碁有限股权。
                                    二、另就《补充协议》6.10 条“业绩约定及补偿股份”之相关
                                    约定，若公司2016年至2018年经审计的营业收入小于12,000
                                    万元，或2018年12月31日前甲方市值15,000万元，对应的股
                                    权补偿义务由程卓女士履行。
                       甲方：芯碁                                                                        否，2019年9月，合   是，2020年8月19日，
            《合肥芯   有限         第三条 股权回购                                                      肥创新投与合肥天    合肥市国资委出具了
            碁微电子   乙方：亚歌   3.7 戊方投资期内，不论目标公司是否完成业绩约定，乙方、丙              使投一同出具了《合  《关于合肥市创新科
     合 肥  装备有限   半导体、方   方亦可以提出回购请求（乙方、丙方提出回购请求的日期不得   相关股东依   肥市创新科技风险    技风险投资有限公司
     创 新  公司投资   林、何少锋、 晚于2021年5月31日），全额或者根据戊方要求回购戊方合并    据协商约定   投资有限公司、合肥  及合肥市天使投资基
     投     协议之补   赵扬         投资额600万元的80%，双方约定，回购利率为年8%，按单利                市天使投资基金有    金有限公司持有合肥
            充协议》   丙方：程卓   计算。                                                               限公司关于合肥芯    芯碁微电子装备股份
                       丁方：报业                                                                        碁微电子装备有限    有限公司国有股权管
                       集团、顶擎                                                                        公司投资和回购的    理有关情况的说明》，
    
    
    8-3-77
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）相关安排的
    
     国有    是否符合国资管理相
            协议名称    协议各方                         回购条款内容                        原因及商业   是否属于激励措施
     股东    关规定
                                                                                               合理性
                       电子、合肥                                                                        情况说明》，对合肥  确认合肥创新投、合肥
                       高新投                                                                            创新投依据约定向    天使投对芯碁微装的
                       戊方：合肥                                                                        程卓转让其5.27%芯   国有股权管理规范、有
                       创新投                                                                            碁有限的股权（对应  效，均履行了必要的决
        注册资本   412.4990  策审批程序，上述股权
                                    第三条 股权回购                                                      万元）、合肥天使投  变动过程中未存在合
                       甲方：芯碁   3.7 丙方投资期内，不论目标公司是否完成业绩约定，乙方均可              依据约定向程卓转    肥创新投、合肥天使投
            《合肥芯   有限         以主动提出回购丙方持有目标公司股权的请求（乙方提出回购               让1.02%的股权（对   作为国有股东利益受
     合 肥  碁微电子   乙方：程卓、 请求的日期不得晚于 2023 年1月31日）。全额或者根据丙方                应注册资本80万元）  损的情况。
     天 使  装备有限   亚 歌 半 导  要求回购丙方本次增资金额400万元的80%。各方一致同意约    相关股东依   的情况进行了确认，
     投     公司增资   体、方林、   定：主动回购价款以乙方要求回购时目标公司经评估确定的股   据协商约定   并确认上述转让不
            协议之补   何少锋       权价值或按 8%的年利率单利计算的本次增资金额的本息之和               涉及对公司员工的
            充协议》   丙方：合肥   （以孰高者为准），再扣除该期间丙方取得的累计现金分红确               奖励或激励，与获得
                       天使投       定。计息日自目标公司实际收到投资款之日起至丙方实际收到               相关人员的服务无
                                    回购款之日止。                                                       关，为股东之间对相
        关协议约定的履行。
    
    
    8-3-78
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
    截至本《补充法律意见书》出具之日，合肥高新投、合肥创新投、合肥天使投均已出具情况说明，确认其对发行人实际控制人等的股权转让均系依据相关投资协议中的回购约定作出，不涉及股权激励。根据相关国有股东的主管国有资产管理部门作出的确认，上述股权回购均符合国有资产管理的相关规定。
    
    综上，本所承办律师认为，合肥高新投、合肥创新投、合肥天使投对发行人实际控制人等的股权转让均系依据相关投资协议中的回购约定作出，不涉及股权激励，符合国有资产管理的相关规定。
    
    （二）2019年10月，合肥创新投投资发行人2000万元是否需经管委会审批，是否符合《合肥市天使投资基金管理办法（2019）》投资限额的相关规定，发行人历次国有股权变动是否履行了必要的审批程序，是否存在瑕疵。
    
    1．2019年10月，合肥创新投投资发行人2000万元是否需经管委会审批，是否符合《合肥市天使投资基金管理办法（2019）》投资限额的相关规定
    
    合肥创新投系合肥天使投的出资人及资金管理人，合肥天使投为合肥创新投的全资子公司，二者的主管部门为合肥市国资委。
    
    2019年9月之前，合肥创新投作为合肥天使基金的资金管理人，对发行人的出资资金全部来自合肥天使基金，因此相关投资的入股、转让或退出的投资决策均由合肥市天使投资基金管委会（2017 年决策机构调整为天使投资决策委员会）作出；2019年9月之后，合肥创新投作为直接出资人，依据《合肥市企业国有资产产权代表重大事项请示与报告制度》及其《公司章程》规定，其相关投资的投资决策均由合肥创新投董事会作出。
    
    根据《合肥市企业国有资产产权代表重大事项请示与报告制度》相关规定，合肥创新投作为专业风险投资公司，使用其自有资金进行投资时无需报请国有控股公司审批或向合肥市国资委备案，不受投资额度限制。根据合肥创新投《公司章程》，合肥创新投不设股东会，由合肥市国有资产控股有限公司授权董事会代行股东会部分职权，决定公司的重大事项。因此合肥创新投本次应依据其章程规定，由公司董事会决策。
    
    2019年9月30日，合肥创新投召开第四届董事会临时会议，决议同意以2,000
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
    万元的对价认购芯碁微装164.9236万股新增股本。
    
    2020年8月19日，合肥市国资委出具了《关于合肥创新投及合肥天使投的情况说明》，确认合肥创新投对芯碁微装国有股权管理规范、有效，履行了必要的决策审批程序。
    
    综上，本所承办律师认为，合肥创新投就本次投资事项已经依法履行了相关决策程序，符合《合肥市企业国有资产产权代表重大事项请示与报告制度》、合肥创新投《公司章程》等的相关规定，且经过其主管部门合肥市国资委确认。该投资事项不需要经管委会审批，也无需符合《合肥市天使投资基金管理办法（2019）》投资限额的相关规定，相关国有股权变动的审批程序不存在瑕疵。
    
    2．发行人历次国有股权变动是否履行了必要的审批程序，是否存在瑕疵
    
    （1）经本所承办律师核查，发行人国有股东入股及历次转让、增资所履行的审批程序如下：
    
      国有      入股及退出情况        履行的国资审批程序      国有资产管理部门意见
      股东
                                   1、安徽日报报业集团（安徽
                                   日报社）作为报业传媒股东
                                   单位，于2015年12月与芯
                                   碁有限等相关主体签订《关
             2016年7月，报业传媒   于共同投资合肥芯碁公司的   2017年9月20日，中
             从赵扬处受让芯碁有    前期协议书》；             共安徽省委宣传部出具
             限20%股权（对应芯碁  2、安徽日报报业集团（安徽  《关于安徽报业传媒集
             有限600万元实缴出资   日报社）内部部门2016年1    团有限公司股权退出有
             和600万元认缴出资）。月25日作出《关于参股合肥    关事项的批复》，同意报
      报业                         芯碁公司的请示》并提交内   业传媒退出芯碁微装。
      传媒                         部决策会议进行审议，经研   安徽省产权交易中心于
                                   究后同意对芯碁有限进行投   2017年12月19日出具
                                   资，本次投资已按相关规定   《产权交易凭证》（皖产
                                   履行了必要的决策程序。     交凭字[2017]第   0085
             2017年12月，报业传    中共安徽省委宣传部于2017   号），确认报业传媒和顶
             媒将持有的芯碁有限    年9月20日作出《关于安徽    擎电子的产权转让行为
             17.94%股权通过公开    报业传媒集团有限公司股权   符合法定程序。
             挂牌的交易方式进行    退出有关事项的批复》（皖宣
             转让。                办字[2017]77号），同意报业
                                   传媒退出芯碁有限。
    
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
      国有      入股及退出情况        履行的国资审批程序      国有资产管理部门意见
      股东
             2016年11月，合肥高
             新投以500万元认购芯   合肥高新投于2016年3月24    合肥高新区国有资产管
             碁有限新增注册资本    日召开 2016 年第三次投委  理局于2020年8月21
             312.5 万元。芯碁有限  会，同意对芯碁有限进行投   日出具了《关于合肥高
             注册资本由6,000万元   资。                       新科技创业投资有限公
             合肥增加至6,312.50万元。                              装司持备有股份合肥有限芯碁公微司电国有子
      高新                                                    股权管理有关情况的说
       投                                                     明》，确认合肥高新投持
             2019年9月，合肥高新   合肥高新投于2019年8月15    有的芯碁微装国有股权
             投将其持有的芯碁有    日作出2019年第三次投委会   管理规范、有效，履行
             限 218.75 万元股权转  决议，同意合肥高新投向程   了必要的决策审批程
             让给程卓。            卓转让218.75万元股权。     序。
             2016年12月，合肥创
             新投从亚歌半导体处
             受让芯碁有限4.75%股   2016年5月31日，合肥市天
             权（对应芯碁有限 300  使投资基金管委会办公室第
             万元认缴出资）        五次会议就投资芯碁有限事
             2016年12月，合肥创    宜作出决议，同意对芯碁有
             新投以300万元认购芯   限投资。
             碁有限新增注册资本
             187.4990万元                                     合肥市国资委于  2020
                                   1、2019年8月23日，天使     年8月19日出具了《关
                                   投资决策委员会决议，同意   于合肥市创新科技风险
                                   合肥创新投向程卓转让芯碁   投资有限公司及合肥市
                                   有限412.499万元。合肥创新  天使投资基金有限公司
                                   投于2019年8月23日作出      持有合肥芯碁微电子装
                                   四届董事会临时会议决议，   备股份有限公司国有股
      合肥                         同意合肥创新投向程卓转让   权管理有关情况的说
      创新                         芯碁有限412.499万元股权。  明》，确认合肥创新投、
       投    2019年9月，合肥创新   2、2019年9月16日，合肥     合肥天使投对芯碁微装
             投将其持有的芯碁有    市国资委就合肥创新投向程   的国有股权管理规范、
             限 412.4990 万元股权  卓进行股权转让事宜出具了   有效，均履行了必要的
             转让给程卓            《合肥市国有企业合肥市创   决策审批程序
                                   新科技风险投资有限公司持
                                   有的合肥芯碁微电子装备有
                                   限公司股权回购退出事项备
                                   案表》，确认本次股权转让符
                                   合合肥创新投与芯碁有限签
                                   订的相关投资协议以及《合
                                   肥市天使投资基金管理办法
                                   （2019）》及其他国有资产监
                                   管法律法规。
             2019年9月，合肥天使   1、合肥创新投于 2019 年 9
             投将其持有的芯碁有    月24日作出四届董事会临时
             限 20 万元股权以 187  会议决议，同意合肥天使投
             万元的价格转让给合    向合肥创新投转让股权；
    
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
      国有      入股及退出情况        履行的国资审批程序      国有资产管理部门意见
      股东
             肥创新投。            2、合肥市产业投资控股（集
                                   团）有限公司于 2019 年 12
                                   月27日召开2019年第27次
                                   办公会，审议并同意合肥天
                                   使投向合肥创新投转让股
                                   权。
             2019年10月，芯碁微
             装  注  册  资  本  由  合肥创新投于2019年9月30
             7,833.8721 万元增加至  日作出四届董事会临时会议
             8,823.4138 万元，合肥  决议，同意合肥创新投本次
             创新投以2,000万元认   投资。
             购其中164.9236万股。
                                   合肥市国资委于2018年7月
             2018年8月，合肥天使   27日召开2018年第17次主
             投以400万元认购新增   任办公会，同意合肥天使投
             注册资本100万元       对9个高层次人才团队项目，
                                   其中包括芯碁有限进行投
                                   资。
                                   1、合肥天使投于 2019 年 8
                                   月23日作出投资决策委员会
                                   决议，同意合肥天使投向程
                                   卓转让80万元股权；
      合肥                         2、2019年9月16日，合肥
      天使                         市国资委就合肥天使投向程
       投    2019年9月，合肥天使   卓股权转让事宜出具了《合
             投将其持有的芯碁有    肥市国有企业合肥市天使投
             限 80 万元股权转让给  资基金有限公司持有的合肥
             程卓。                芯碁微电子装备有限公司股
                                   权回购退出事项备案表》，确
                                   认本次股权转让符合合肥天
                                   使投与芯碁有限签订的相关
                                   投资协议以及《合肥市天使
                                   投资基金管理办法（2019）》
                                   及其他国有资产监管法律法
                                   规。
                                   安徽省科学技术厅于2016年   安徽省科学技术厅于
             2017年3月，安徽高新   3月23日发布《安徽省2016    2020年9月1日出具了
      安徽   投以300万元认购公司   年度扶持高层次科技人才团   《关于安徽省高新技术
      高新   新增注册资本  187.50  队在皖创新创业公告》，芯碁 产业投资有限公司持有
       投    万元                  有限被列为C类支持企业并   合肥芯碁微电子装备股
                                   同意由省扶持资金出资  300  份有限公司国有股权有
                                   万元。                     关情况的说明》，确认安
    
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
      国有      入股及退出情况        履行的国资审批程序      国有资产管理部门意见
      股东
             2019年9月，安徽高新                              徽高新投对持有的芯碁
             投将其持有的  147.50  安徽省科学技术厅于2019年   微装国有股权管理规
             万元股权转让给程卓，  8月8日作出《关于办理业绩   范、有效，均履行了必
             将其持有的 20 万元股  奖励兑现的函》，同意安徽高 要的决策审批程序，均
             权转让给方林，将其持  新投对程卓、方林、何少锋   严格依照有关政策和法
             有的 20 万元股权转让  进行业绩奖励。             规执行。
             给何少锋。
             2019年10月，芯碁微                               安 徽 省 创 投 公 司 于
             装  注  册  资  本  由                             2020年8月21日出具
      量子   7,833.8721 万元增加至  安徽省量子产业基金投资决   了《关于量子基金投资
      产业   8,823.4138 万元，量子  策委员会于2019年9月30      芯碁微装的说明》，确认
      基金   产业基金以1,000万元    日作出第四次会议决议，同   量子产业基金对芯碁微
             认购其中  82.4618 万  意量子产业基金本次投资。   装的增资已履行必要的
             股。                                             审批程序、未违反相关
                                                              国有资产管理规定。
    
    
    （2）发行人国有股东历次股权变动情况及履行的程序如问题2回复之“（一）发行人历次国资股权变动的价格及定价依据，是否经过评估、备案，与实际控制人等关于股份回购的具体约定，相关安排的原因及商业合理性，是否属于激励措施，是否符合国资管理相关规定”之“1. 发行人历次国资股权变动的价格及定价依据，是否经过评估、备案”所述。
    
    综上，本所承办律师认为，发行人国有股东入股及历次转让、增资均履行了必要国资审批程序；发行人历次国有股权变动未按照《企业国有资产评估管理暂行办法》的规定履行资产评估程序，不符合《企业国有资产评估管理暂行办法》的相关规定，但如问题2回复之“（一）发行人历次国资股权变动的价格及定价依据，是否经过评估、备案，与实际控制人等关于股份回购的具体约定，相关安排的原因及商业合理性，是否属于激励措施，是否符合国资管理相关规定”之“1.发行人历次国资股权变动的价格及定价依据，是否经过评估、备案”所述，该等情形不构成本次发行上市的实质性法律障碍。
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
    第三部分 补充披露期间更新事项
    
    一、本次发行上市的批准和授权
    
    经本所承办律师核查，补充披露期间，发行人本次发行上市的批准和授权情况未发生变化。
    
    二、本次发行上市的主体资格
    
    经本所承办律师核查，补充披露期间，发行人本次发行上市的主体资格未发生变化。
    
    三、本次发行上市的实质条件
    
    本所承办律师履行了包括但不限于如下补充查验程序：1．查阅容诚审字[2020]230Z3658 号《合肥芯碁微电子装备股份有限公司审计报告》、容诚专字[2020]230Z1894号《合肥芯碁微电子装备股份有限公司内部控制鉴证报告》、容诚专字[2020]230Z1895号《合肥芯碁微电子装备股份有限公司非经常性损益鉴证报告》、容诚专字[2020]230Z1896号《合肥芯碁微电子装备股份有限公司原始财务报表与申报财务报表差异情况的鉴证报告》、容诚专字[2020]230Z1897号《合肥芯碁微电子装备股份有限公司主要税种纳税及税收优惠情况的鉴证报告》；2．查阅《招股说明书（申报稿）》；3．取得发行人的董事、监事、高级管理人员填写的调查表及其无犯罪记录证明、《个人信用报告》；4取得发行人及其分公司相关政府主管部门出具的证明文件，对相关政府部门进行走访等。
    
    在审慎核查基础上，本所承办律师出具如下法律意见：
    
    （一）本次发行上市符合《公司法》第一百二十六条规定的发行条件
    
    发行人本次发行的股票为每股面值1.00元的人民币普通股（A股），每股的发行条件和价格相同，每一股份具有同等权利，任何单位或者个人认购每股股份应当支付相同价额，符合《公司法》第一百二十六条的相关规定。
    
    （二）本次发行上市符合《证券法》第十条及第十二条相关规定的发行条件
    
    1．经本所承办律师核查，截至本《补充法律意见书》出具之日，发行人已
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
    依据《公司法》等相关法律法规的规定设立股东大会、董事会和监事会，董事会
    
    下设战略与发展委员会、审计委员会、提名委员会、薪酬与考核委员会四个专门
    
    委员会，并建立了独立董事和董事会秘书制度。发行人各组织机构健全，职责分
    
    工明确，运行良好，符合《证券法》第十二条第一款第（一）项的相关规定。
    
    2．根据容诚审字[2020]230Z3658号《合肥芯碁微电子装备股份有限公司审计报告》、容诚专字[2020]230Z1894号《合肥芯碁微电子装备股份有限公司内部控制鉴证报告》、发行人工商登记资料、内部控制制度文件和发行人书面确认并经本所承办律师核查，发行人系依法设立并有效存续的股份有限公司，截至本《补充法律意见书》出具之日，发行人的经营范围和经营方式符合法律法规的规定；发行人内部控制制度健全且被有效执行；发行人经营期限为长期，不存在因违法经营而被相关行政机关责令停业整顿或吊销营业执照的情形；发行人的主要经营性资产不存在对发行人持续经营构成重大影响的抵押、质押、查封、冻结、扣押、拍卖等情形；发行人2017年度、2018年度、2019年度及2020年1-6月份经审计扣除非经常性损益后归属于母公司所有者的净利润分别为-771.35 万元、1,727.38万元、4,627.00万元、383.26万元，发行人具有持续经营能力，符合《证券法》第十二条第一款第（二）项的相关规定。
    
    3．根据容诚审字[2020]230Z3658号《合肥芯碁微电子装备股份有限公司审计报告》、发行人的书面确认并经本所承办律师核查，发行人最近三年财务会计报告被出具无保留意见审计报告，符合《证券法》第十二条第一款第（三）项的相关规定。
    
    4．根据发行人的书面确认并经本所承办律师核查，截至本《补充法律意见书》出具之日，发行人及其控股股东、实际控制人最近三年不存在贪污、贿赂、侵占财产、挪用财产或者破坏社会主义市场经济秩序的刑事犯罪，符合《证券法》第十二条第一款第（四）项的规定。
    
    5．发行人已聘请具有保荐资格的海通证券担任本次发行上市的保荐人，符合《证券法》第十条的规定。
    
    （三）本次发行上市符合《科创板注册管理办法》规定的发行条件
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
    1．如本《补充法律意见书》第二部分之“二、本次发行上市的主体资格”所述，发行人是依法设立且持续经营三年以上的股份有限公司，具备健全且运行良好的组织机构，相关机构和人员能够依法履行职责，符合《科创板注册管理办法》第十条的规定。
    
    2．根据容诚审字[2020]230Z3658号《合肥芯碁微电子装备股份有限公司审计报告》和容诚专字[2020]230Z1894号《合肥芯碁微电子装备股份有限公司内部控制鉴证报告》，发行人在报告期的财务报表在所有重大方面按照企业会计准则的规定编制，公允反映了芯碁微装2017年12月31日、2018年12月31日、2019年12月31日、2020年6月30日的财务状况以及2017年度、2018年度、2019年度、2020年1-6月份的经营成果和现金流量，并由容诚会所出具了无保留意见的审计报告，符合《科创板注册管理办法》第十一条第一款的相关规定。
    
    3．根据容诚专字[2020]230Z1894号《合肥芯碁微电子装备股份有限公司内部控制鉴证报告》，发行人结合公司实际制订了较为完善的内部控制制度，并在所有重要控制环节得到了有效的执行，并由容诚会所出具了无保留结论的内部控制鉴证报告，符合《科创板注册管理办法》第十一条第二款的相关规定。
    
    4．如本《补充法律意见书》正文“五、发行人的独立性”和“九、发行人的关联交易及同业竞争”所述，发行人资产完整，业务及人员、财务、机构独立，与控股股东、实际控制人及其控制的其他企业间不存在同业竞争以及严重影响发行人独立性或者显失公平的关联交易，符合《科创板注册管理办法》第十二条第一款第（一）项的相关规定。
    
    5．如本《补充法律意见书》正文“八、发行人的业务”所述，发行人最近两年内主营业务为专业从事以微纳直写光刻为技术核心的直接成像设备及直写光刻设备的研发、制造、销售以及相应的维保服务，未发生变更；如本《补充法律意见书》正文“十五、发行人董事、监事和高级管理人员、核心技术人员及其变化”所述，发行人最近两年内董事、高级管理人员及核心技术人员未发生重大不利变化；如本《补充法律意见书》正文“六、发行人股东及实际控制人”和“七、发行人的股本及其演变”所述，截至本《补充法律意见书》出具之日，控股股东所持发行人的股份均权属清晰，发行人实际控制人为程卓，最近两年没有发生控
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
    制权变更的情形，不存在导致控制权可能变更的重大权属纠纷，符合《科创板注
    
    册管理办法》第十二条第（二）项的相关规定。
    
    6．如本《补充法律意见书》正文“十、发行人的主要财产”所述，截至本《补充法律意见书》出具之日，发行人不存在主要资产、核心技术、商标等的重大权属纠纷；如本《补充法律意见书》正文“十一、发行人重大债权债务”和“二十、诉讼、仲裁或行政处罚”所述，截至本《补充法律意见书》出具之日，发行人不存在重大偿债风险，重大担保、诉讼、仲裁等或有事项；如本《补充法律意见书》正文“八、发行人的业务”所述，发行人不存在经营环境已经或者将要发生的重大变化等对持续经营有重大不利影响的事项，符合《科创板注册管理办法》第十二条第一款第（三）项的相关规定。
    
    7．如本《补充法律意见书》正文“八、发行人的业务”所述，发行人生产经营符合法律法规的规定和国家产业政策，符合《科创板注册管理办法》第十三条第一款的相关规定。
    
    8．如本《补充法律意见书》正文“二十、诉讼、仲裁或行政处罚”所述，并根据发行人及其控股股东、实际控制人书面确认，以及经本所承办律师核查，发行人及其控股股东、实际控制人最近三年内不存在贪污、贿赂、侵占财产、挪用财产或者破坏社会主义市场经济秩序的刑事犯罪，不存在欺诈发行、重大信息披露违法或者其他涉及国家安全、公共安全、生态安全、生产安全、公众健康安全等领域的重大违法行为。因此，发行人本次发行上市符合《科创板注册管理办法》第十三条第二款的相关规定。
    
    9．如本《补充法律意见书》正文“二十、诉讼、仲裁或行政处罚”所述，并根据发行人提供的董事、监事和高级管理人员的调查表及其无犯罪记录证明及个人信用报告并经本所承办律师核查，发行人的董事、监事和高级管理人员不存在最近三年内受到中国证监会行政处罚，或者因涉嫌犯罪被司法机关立案侦查或者涉嫌违法违规被中国证监会立案调查，尚未有明确结论意见等情形，符合《科创板注册管理办法》第十三条第三款的相关规定。
    
    （四）本次发行上市符合《科创板上市规则》规定的相关上市条件
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
    1．如前文“（三）本次发行上市符合《科创板注册管理办法》规定的发行条件”所述，发行人符合中国证监会规定的相关发行条件，符合《科创板上市规则》第2.1.1条第一款第（一）项的相关规定。
    
    2．根据《公司章程》及发行方案，发行人的股本总额为9,059.7552万股，本次发行股票数量不低于发行后公司股份总数的25%，不超过3,020.2448万股。因此，发行人在本次发行后股本总额不少于3,000万元，符合《科创板上市规则》第2.1.1条第一款第（二）项的相关规定。
    
    3．如前文所述，截至本《补充法律意见书》出具之日，发行人总股本为9,059.7552万股，本次发行股票数量不低于发行后公司股份总数的25%，不超过3,020.2448万股。因此，发行人本次发行上市后公开发行股份达到股本总额的25%以上，符合《科创板上市规则》第2.1.1条第一款第（三）项的相关规定。
    
    4．根据容诚审字[2020]230Z3658号《合肥芯碁微电子装备股份有限公司审计报告》、容诚专字[2020]230Z1895号《合肥芯碁微电子装备股份有限公司非经常性损益鉴证报告》及发行人书面确认，并经本所承办律师核查，发行人 2017年度、2018年度、2019年度、2020年1-6月份经审计扣除非经常性损益后归属于母公司所有者的净利润分别为-771.35 万元、1,727.38 万元、4,627.00 万元、383.26万元，最近两年净利润均为正且累计不低于5,000万元。因此，在本次发行股票确定发行价格并以此计算发行人市值不低于10亿元的情况下，发行人的市值及财务指标符合《科创板上市规则》第2.1.1条第一款第（四）项及第2.1.2条第一款第（一）项的相关规定。
    
    综上所述，本所承办律师认为，发行人符合《公司法》《证券法》《科创板注册管理办法》《科创板上市规则》规定的相关发行上市条件，具备本次发行上市的实质条件。
    
    四、发行人的设立
    
    经本所承办律师核查，补充披露期间，发行人的设立情况未发生变化。
    
    五、发行人的独立性
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
    经本所承办律师核查，补充披露期间，发行人的独立性未发生变化。
    
    六、发行人股东及实际控制人
    
    经本所承办律师核查，补充披露期间，发行人的发起人、控股股东及实际控制人未发生变化。
    
    七、发行人的股本及其演变
    
    经本所承办律师核查，补充披露期间，发行人的股本及其演变情况未发生变化。
    
    八、发行人的业务
    
    本所承办律师履行了包括但不限于如下补充查验程序：1．查阅容诚审字[2020]230Z3658号《合肥芯碁微电子装备股份有限公司审计报告》；2．查阅《招股说明书（申报稿）》；3．取得发行人及其分公司相关政府主管部门出具的证明文件，对相关政府部门进行走访； 4．登录国家企业信用信息公示系统（ http://www.gsxt.gov.cn/index.html ） 、 中 国 执 行 信 息 公 开 网（http://zxgk.court.gov.cn/）、信用中国（http://www.creditchina.gov.cn/）、中国裁判 文 书 网 （ http://wenshu.court.gov.cn/ ）、 中 国 证 监 会 网 站（ http://www.csrc.gov.cn/pub/newsite/ ）、证券期货市场失信记录查询平台（http://neris.csrc.gov.cn/shixinchaxun/）、上交所（http://www.sse.com.cn/）和深圳证券交易所（http://www.szse.cn/）等进行查询等。
    
    在审慎核查基础上，本所承办律师出具如下补充法律意见：
    
    （一）发行人的经营范围及其业务资质许可情况
    
    经本所承办律师核查，发行人已经取得经营所需的业务资质，截至本《补充法律意见书》出具之日，该等业务资质证书均在有效期限内；发行人实际经营的主要业务与其《营业执照》核准的经营范围相符，发行人经营范围和经营方式符合法律法规及规范性文件的有关规定。
    
    （二）发行人在中国大陆以外的经营活动
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
    经本所承办律师核查，截至本《补充法律意见书》出具之日，发行人未在中国大陆以外设立子公司或分公司开展业务经营。
    
    （三）发行人最近两年主营业务未发生重大不利变化
    
    根据容诚审字[2020]230Z3658号《合肥芯碁微电子装备股份有限公司审计报告》并经本所承办律师核查，发行人的主营业务为专业从事以微纳直写光刻为技术核心的直接成像设备及直写光刻设备的研发、制造、销售以及相应的维保服务。
    
    本所承办律师认为，截至本《补充法律意见书》出具之日，发行人最近两年主营业务未发生重大不利变化。
    
    （四）发行人主营业务突出
    
    根据《招股说明书（申报稿）》并经本所承办律师核查，发行人主营业务为专业从事以微纳直写光刻为技术核心的直接成像设备及直写光刻设备的研发、制造、销售以及相应的维保服务。
    
    根据容诚审字[2020]230Z3658号《合肥芯碁微电子装备股份有限公司审计报告》，发行人在报告期内的营业收入构成情况如下：
    
              2020年1-6月份         2019年度           2018年度            2017年度
     项目   金额（元）  比例   金额（元） 比例   金额（元）   比例   金额（元）  比例
                      （%）           （%）             （%）            （%）
     主营   75,149,958           202,261,1           87,295,291           22,180,44
     业务      .66      99.01     72.30    100.00      .35      100.00     5.51     100.00
     收入
     其他
     业务   752,212.38    0.99       0        0         0         0         0         0
     收入
     合计   75,902,171  100.00  202,261,1  100.00  87,295,291   100.00   22,180,44   100.00
              .04               72.30              .35               5.51
    
    
    本所承办律师认为，发行人在报告期内主营业务突出。
    
    （五）发行人持续经营不存在法律障碍
    
    经本所承办律师核查，发行人营业期限自2015年6月30日至长期；截至本《补充法律意见书》出具之日，发行人正在履行的重大合同中不存在可能影响发行人持续经营能力的情形，发行人高级管理人员及核心技术人员专职在发行人处
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
    工作，且公司董事、高级管理人员、核心技术人员最近两年未发生重大不利变化；
    
    发行人生产经营符合国家产业政策，在报告期内未发生重大违法违规行为，且截
    
    至本《补充法律意见书》出具之日不存在依据法律法规、规范性文件及《公司章
    
    程》规定需要终止的情形，持续经营不存在法律障碍。
    
    九、发行人的关联交易及同业竞争
    
    本所承办律师履行了包括但不限于如下补充查验程序：1．对发行人主要客户、供应商发函询证；2．查阅发行人股东、董事、监事、高级管理人员填写的调查表；3．登录国家企业信用信息公示系统（http://www.gsxt.gov.cn/index.html）查看发行人及关联企业工商登记信息；4．查阅容诚审字[2020]230Z3658号《合肥芯碁微电子装备股份有限公司审计报告》；5．查阅《招股说明书（申报稿）》；6．查阅发行人及控股股东控制的其他企业补充披露期间的工商登记资料；7．查阅发行人与关联方在补充披露期间履行的协议等。
    
    在审慎核查基础上，本所承办律师出具如下补充法律意见：
    
    （一）发行人的关联方
    
    经本所经办律师核查，截至本《补充法律意见》出具之日，除《律师工作报告》《法律意见书》和《补充法律意见（一）》已披露情况外，发行人新增关联方如下：
    
      序号             关联方名称                        与发行人的关联关系
       1    芯碁合微（苏州）集成电路科技有限              发行人全资子公司
               公司（以下简称“芯碁苏州”）
       2    中微半导体设备（上海）股份有限公    发行人董事HINGWONG担任该公司董事
                           司
       3     宁波润华全芯微电子设备有限公司     发行人董事HINGWONG担任该公司董事
       4      青岛锚点科技投资发展有限公司     发行人董事HINGWONG担任该公司执行董
                                                             事、总经理
       5        西藏未来生物医药有限公司            发行人监事刘臻担任该公司董事
    
    
    （二）报告期内主要关联方的变化情况
    
    报告期内，除《法律意见书》《律师工作报告》和《补充法律意见（一）》已披露的情形之外，发行人主要关联方的变化情况包括：发行人董事 Hing Wong
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
    于2020年4月2日起不再担任杭州宏景智驾科技有限公司董事，于2020年4
    
    月24日起不再担任峰岹科技（深圳）有限公司副董事长；发行人监事魏美芹于
    
    2020年6月5日起不再担任杰思特（合肥）半导体技术有限公司的董事，于2020
    
    年7月20日起不再担任合肥全色光显科技有限公司的董事，于2020年8月5
    
    日起不再担任合肥速显微电子科技有限公司的董事，于2020年8月7日起不再
    
    担任合肥琪锋光电科技有限公司的董事，于2020年8月13日起不再担任安徽省
    
    海卓赛思传感技术有限公司的董事。
    
    （三）发行人在补充披露期间发生的关联交易
    
    根据容诚审字[2020]230Z3658号《合肥芯碁微电子装备股份有限公司审计报告》并经本所经办律师核查，2020年1-6月，发行人与关联方之间存在的主要关联交易情况如下：
    
    购销商品、提供和接受劳务的关联交易：
    
              关联方           关联交易内容  关联交易定价方式 金额（含税）     期间
                                                及决策程序
      深圳市路维光电股份有限      原材料          市场价       19,800.00元   2020年1-6月份
               公司
    
    
    十、发行人的主要财产
    
    本所承办律师履行了包括但不限于如下补充查验程序：1．取得国家知识产权局出具的专利登记簿查询证明；2．取得国家工商行政管理总局商标局出具的商标档案；3．登录国家知识产权专利局网站（http://www.sipo.gov.cn）、国家工商行政管理总局商标局（ http://sbj.saic.gov.cn）查询； 4．查阅容诚审字[2020]230Z3658号《合肥芯碁微电子装备股份有限公司审计报告》；5．查验发行人及其控股子公司补充披露期间签署的租赁合同；6．取得发行人出具的确认文件等。
    
    在审慎核查基础上，本所承办律师出具如下补充法律意见：
    
    （一）发行人拥有的不动产权
    
    经本所承办律师核查，补充披露期间，发行人拥有的不动产权未发生变化。
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
    （二）发行人的房屋租赁情况
    
    截至本《补充法律意见书》出具之日，发行人及其控股子公司主要房屋租赁情况如下：
    
      序   承租人    出租人        地点        租赁期限       租金      用途   不动产权证   租赁面积
      号                                                                           号           2（m）
                    苏州市吴   苏州市吴中区                 30.00元/月/          苏（2020）
           芯碁苏   中科技创   木渎镇中山东     2020.8.1-     平方米（另          苏州市不动
      1      州     业园管理   路70号2312      2022.4.30    有相关服务   办公     产权第      156.00
                    有限公司        室                      费15.00元/           6010536号
                                                            月/平方米）
    
    
    根据发行人房屋租赁合同，上述房屋租赁合同均在有效期内，芯碁合微依法享有上述房产的使用权，且已依法办理房屋租赁登记备案手续。
    
    （三）发行人拥有的土地使用权、商标、专利等无形资产的情况
    
    1．土地使用权
    
    如本《补充法律意见书》正文“十、发行人的主要财产”之“（一）发行人拥有的不动产权”所述。
    
    2．注册商标
    
    根据国家工商行政管理总局商标局下发的相关注册商标证书、国家知识产权局出具的商标档案并经本所承办律师登录中国商标网（http://sbj.saic.gov.cn/）查询，截至2020年6月30日，发行人新增持有的主要注册商标情况如下：
    
     序号      商标         注册号       分类号    商标    专用权期限   法律   取得   权利
                                                   权人                 状态   方式   限制
       1                 第37342631号    第7类    发行人   2020.02.21-   注册   原始    无
                                                           2030.02.20           取得
       2                 第37361570号    第37类    发行人   2020.04.07-   注册   原始    无
                                                           2030.04.06           取得
    
    
    3．专利
    
    根据国家知识产权局下发的相关专利证书、国家知识产权局出具的专利登记簿 查 询 证 明 并 经 本 所 承 办 律 师 登 录 国 家 知 识 产 权 局 网 站（http://cpquery.sipo.gov.cn/）查询，截至2020年6月30日，发行人新增持有的
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
    主要专利情况如下：
    
     序号    专利名称      专利号/申请号      专利     申请日      专利    专利权   取得   权利
                                              类别                 权人     期限    方式   限制
             一种基于
            DMD的光                                                               原始
       1    刻机3D灰     ZL201810060615.1    发明    2018.01.22   发行人   二十年   取得    无
            度图像曝光
             优化方法
            一种大幅面
       2    真空吸盘平    ZL201920176057.5    实用    2019.01.31   发行人    十年    原始    无
            面度加工装                        新型                                  取得
                置
            一种用于激
       3    光直写曝光    ZL201920927659.X    实用    2019.06.20   发行人    十年    原始    无
            机的气体压                        新型                                  取得
              板装置
            一种用于激
            光直写曝光                        实用                                  原始
       4    机真空发生    ZL201920927660.2    新型    2019.06.20   发行人    十年    取得    无
            器的保护装
                置
    
    
    注：发行人上述继受取得的专利均系无偿受让自亚歌半导体。
    
    4．软件著作权
    
    根据发行人提供的计算机软件著作权登记证书并经本所承办律师核查，截至2020年6月30日，发行人新增拥有的主要软件著作权情况如下：
    
     序号   著作      软件名称         登记号        首次发表     登记日期    保护    取得
            权人                                       日期                    期     方式
            发行    PCIEDMA高                                               五十    原始
       1     人     速数据传输软   2020SR0331474    2019.08.01    2020.04.14    年     取得
                       件V1.0
            发行    曝光机数据处                                              五十    原始
       2     人      理分析软件    2020SR0331478    2019.12.01    2020.04.14    年     取得
                      V1.0
    
    
    5．域名
    
    经本所承办律师核查，补充披露期间，发行人拥有的域名未发生变化。
    
    （四）主要固定资产
    
    根据容诚审字[2020]230Z3658号《合肥芯碁微电子装备股份有限公司审计报告》并经本所承办律师核查，截至2020年6月30日，发行人固定资产的净值为
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
    17,123,932.84元。
    
    十一、发行人的重大债权债务
    
    本所承办律师履行了包括但不限于如下补充查验程序：1．取得发行人出具的书面说明文件；2．对发行人主要客户、供应商发函询证；3．查验发行人补充披露期间的重大合同；4．查阅容诚审字[2020]230Z3658号《合肥芯碁微电子装备股份有限公司审计报告》；5．向发行人新增的重大合同相对方发函询证；6．查询新增的重大合同相对方的工商公示信息等。
    
    在审慎核查基础上，本所承办律师出具如下补充法律意见：
    
    （一）新增或续签的重大合同
    
    补充披露期间，发行人新增或续签的合同金额在1,000.00万元以上的主要采购合同、销售合同与合作研发合同情况如下：
    
    1．采购合同序号 合同相对方 合同标的 合同价款 签订日期
    
       1     ArrowElectronicsChina       DMD集成块       1,505,226.00美元    2019.12.31
                    Ltd.
       2    NichiaTaiwanCorporation        光源模块        161,761,000.00日元     2020.8.7
    
    
    2．销售合同序号 合同相对方 合同标的 合同价款 签订日期
    
       1    深圳优诺辰智能控制科技   双机自动线、LDI系     12,000,000.00元      2020.6.28
                   有限公司                  统
       2    江苏世之高智能装备有限   直接成像连线设备、    12,000,000.00元      2020.7.3
                     公司                 LDI系统
       3    信丰金信诺安泰诺高新技    双机自动连线设备     19,500,000.00元      2020.8.6
                  术有限公司
    
    
    3．合作研发合同序号 合作单位 研发项目 主要内容 合作期限
    
            中国科学院   合作共建产  1、发行人为双方约定的合作内容提供技术研 2019年9月
       1    合肥物质科   学研结合示  发资金5万元。                           2日至2020
             学研究院      范基地    2、充分利用发行人的设备优势和生产条件为 年9月1日
    
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
     序号    合作单位     研发项目                   主要内容                  合作期限
                                     合作单位提供良好的生产试验条件和实训基
                                     地，并合作共建产学研结合示范基地，为合
                                     作单位科研人员实践活动提供方便。
                                     3、合作单位负责组织技术力量配合发行人进
                                     行研究开发、成果转化、检验测试和技术攻
                                     关，支持企业技术创新；为发行人的长远发
                                     展、战略定位、提高企业的自主创新能力提
                                     供技术支持，促进传统产业改造和高新技术
                                     产业发展；帮助发行人解决产业优化中制约
                                     产业发展的关键技术、共性技术以及企业的
                                     具体技术工艺问题和管理问题。
                                     4、因本协议产生的开发成果（含源代码，系
                                     统技术文档，软件，数据等）由发行人享有
                                     知识产权，未经发行人书面许可，合作单位
                                     不得擅自许可任何第三方阅读、使用或复制。
                                     1、合作单位负责：（1）配合发行人确定产品
                                     需求，根据合同约定的技术要求完成产品交
                                     付；（2）提前通知发行人产品交付运行所需
                                     的软硬件环境；（3）配合发行人对产品进行
            安徽动感智   LDI生产数   调试与安装，以确保软件的正确安装与使用；2020年5月
       2    能科技有限   据中心、设  （4）负责售后管理系统服务器部署上线，并   29日至
               公司      备售后管理  负责维护项目程序；（5）指定项目经理全程 2021年1月
                            系统     参与项目并处理有关事宜，定期向发行人汇     31日
                                     报合同履行情况，协助发行人对产品或项目
                                     进行验收；（6）对发行人操作人员进行使用
                                     培训。
                                     2、合同总额：56万元。
    
    
    截至本《补充法律意见书》出具之日，发行人正在履行的重大合同合法、有效，不存在因违反法律法规等有关规定而导致不能成立或无效的情形。
    
    （二）截至本《补充法律意见书》出具之日，发行人不存在因环境保护、知识产权、产品质量、劳动安全、人身权等原因而产生的侵权之债。
    
    （三）截至报告期末，除本《补充法律意见书》中已披露的关联交易外，发行人与关联方之间不存在其他重大债权债务关系，亦不存在其他相互担保的情况。
    
    （四）发行人截至报告期末的金额较大的其他应收款、其他应付款均属于发行人生产经营活动过程中正常发生的往来款项，不存在重大争议或纠纷。
    
    十二、发行人重大资产变化及收购兼并
    
    经本所承办律师核查，补充披露期间，发行人的重大资产变化及收购兼并情况未发生变化，发行人没有拟进行的重大资产置换、资产剥离、资产出售或收购
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
    等计划。
    
    十三、发行人章程的制订与修改
    
    经本所承办律师核查，补充披露期间，发行人章程的制订与修改情况未发生变化。
    
    十四、发行人股东大会、董事会、监事会议事规则及规范运作
    
    本所承办律师履行了包括但不限于如下补充查验程序：查阅发行人提供的历次股东大会、董事会、监事会的会议材料等。
    
    在审慎核查基础上，本所承办律师出具如下补充法律意见：
    
    经本所承办律师核查，补充披露期间，发行人召开了两次股东大会、两次董事会和两次监事会。本所承办律师认为，发行人上述股东大会、董事会、监事会的召集程序、表决方式、决议内容均符合法律、法规及公司章程的相应规定，合法有效。
    
    十五、发行人董事、监事和高级管理人员、核心技术人员及其变化
    
    本所承办律师履行了包括但不限于如下补充查验程序：1．查阅《招股说明书（申报稿）》；2．取得发行人董事、监事、高级管理人员、核心技术人员的《个人信用报告》；3．查阅发行人董事、监事、高级管理人员、核心技术人员填写的调查表；4．取得发行人董事、监事、高级管理人员的无犯罪记录证明；5．登录中国证监会、上交所等网站检索发行人董事、监事、高级管理人员、核心人员的诚信记录及受处罚情况等。
    
    在审慎核查基础上，本所承办律师出具如下补充法律意见：
    
    本所承办律师认为，截至本《补充法律意见书》出具之日，发行人董事、监事和高级管理人员、核心技术人员未发生变化。发行人董事、监事和高级管理人员不存在《公司法》第一百四十六条规定的不得担任公司董事、监事和高级管理人员的情况，亦不存在《科创板首发办法》第十三条规定的情形，发行人董事、监事和高级管理人员任职符合法律、法规和规范性文件以及《公司章程》的规定。
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
    发行人独立董事任职资格均符合《关于在上市公司建立独立董事制度的指导意见》
    
    等相关规定，其职权范围符合法律、法规及规范性文件的有关规定。
    
    十六、发行人的税务和财政补贴
    
    本所承办律师履行了包括但不限于如下补充查验程序：1．查阅容诚审字[2020]230Z3658 号《合肥芯碁微电子装备股份有限公司审计报告》、容诚专字[2020]230Z1895号《合肥芯碁微电子装备股份有限公司非经常性损益鉴证报告》、容诚专字[2020]230Z1897号《合肥芯碁微电子装备股份有限公司主要税种纳税及税收优惠情况的鉴证报告》；2．取得发行人及其分公司所在地税务部门出具的证明文件；3．登录高新技术企业认定管理工作网（http://www.innocom.gov.cn）查询发行人《高新技术企业证书》状态；4．查阅发行人及其分公司补充披露期间的纳税申报表和纳税凭证；5．取得发行人出具的书面说明等。
    
    在审慎核查基础上，本所承办律师出具如下补充法律意见：
    
    根据《审计报告》《非经常性损益报告》《招股说明书（申报稿）》并经本所经办律师核查，2020年1-6月发行人计入当期损益的主要财政补贴情况如下：
    
       序号       公司名称                 补贴项目              计入当年收益金额（元）
        1          发行人       市三重一创支持企业自主创新-高          1,464,300.00
                                        新技术企业奖励
        2          发行人       上市办2020年第一期政策兑现之          1,000,000.00
                                           报局奖励
        3          发行人          引入私募股权投资基金奖励            1,000,000.00
        4          发行人           高新区普惠政策兑现奖励              300,000.00
        5          发行人        2020年企业表彰大会涉及普惠资           300,000.00
                                           金的拨付
        6          发行人       合肥市2020年一次性稳定就业补           290,000.00
                                        贴（第一批次）
        7          发行人        开展江淮硅谷创新创业团队奖励           200,000.00
        8          发行人       “创客中国”安徽省中小企业创新          160,000.00
                                       创业大赛奖补资金
        9          发行人          鼓励创新创业青年人才奖励             125,000.00
        10         发行人          高新技术企业1类事项奖励              100,000.00
        11         发行人                庐州英才资助                   90,000.00
        12         发行人              知识产权创造补贴                 60,000.00
    
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
       序号       公司名称                 补贴项目              计入当年收益金额（元）
        13         发行人              企业投保科保补贴                 23,900.00
        14         发行人            企业投保科技保险补贴               17,700.00
        15         发行人            知识产权保护费用补贴               12,500.00
        16         发行人                   合创券                      12,200.00
        17         发行人        政策兑现第50条科技保险补助             2,287.00
       合计           -                        -                        5,157,887.00
    
    
    本所承办律师认为，发行人享受的上述财政补贴政策合法有效；发行人在补充披露期间均按时申报缴纳税款，所执行税种、税率及享受的税收优惠符合国家税收法律、法规及规范性文件的要求，不存在欠缴税款，亦不存在因违反相关税收法律、法规及政策或其他税务问题被处罚的情形。
    
    十七、发行人的环境保护和产品质量、技术等标准
    
    本所承办律师履行了包括但不限于如下补充查验程序：1．查阅市场监督管理部门、环境保护部门出具的证明文件，并对环境保护部门进行访谈；2．取得了发行人出具的书面说明；3．登陆安徽省生态环境厅网站（http://sthjt.ah.gov.cn）等进行查询。
    
    在审慎核查基础上，本所承办律师出具如下补充法律意见：
    
    本所承办律师认为，发行人在补充披露期间的生产经营过程中不存在因违反环境保护相关法律、法规而受到行政处罚的情况。发行人在报告期内未出现因违反有关产品质量方面的法律、法规而受到处罚的情况。
    
    十八、发行人募集资金的运用
    
    经本所承办律师核查，截至本《补充法律意见书》出具之日，发行人募集资金的运用情况未发生其他变化。
    
    十九、发行人业务发展目标
    
    经本所承办律师核查，补充披露期间，发行人业务发展目标情况未发生变化。
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
    二十、诉讼、仲裁或行政处罚
    
    本所承办律师履行了包括但不限于如下补充查验程序：1．取得了发行人出具的书面说明；2．取得了发行人股东、董事、监事、高级管理人员、核心技术人员填写的调查表；3．登录中国执行信息公开网（http://zxgk.court.gov.cn/）、中国裁判文书网（http://wenshu.court.gov.cn）、中国证监会证券期货市场失信记录查询平台（http://shixin.csrc.gov.cn/honestypub）、国家企业信用信息公示系统（http://www.gsxt.gov.cn/index.html）、信用中国（http://www.creditchina.gov.cn）进行查询；4．取得发行人董事、监事、高级管理人员、核心技术人员无违法犯罪记录证明；5．取得了发行人董事、监事、高级管理人员、核心技术人员提供的《个人信用报告》；6．取得发行人及其分公司相关政府主管部门出具的证明文件。
    
    在审慎核查基础上，本所承办律师出具如下补充法律意见：
    
    （一）除《律师工作报告》《法律意见书》和《补充法律意见（一）》已披露情况外，发行人最近三年不存在重大诉讼、仲裁、行政处罚案件或刑事犯罪；截至本《补充法律意见书》出具之日，发行人不存在尚未了结的或可预见的重大诉讼、仲裁、行政处罚案件或刑事犯罪。
    
    （二）发行人控股股东、实际控制人、持有发行人5%以上股份的主要股东最近三年不存在重大诉讼、仲裁、行政处罚案件或刑事犯罪；截至本《补充法律意见书》出具之日，发行人控股股东、实际控制人、持有发行人5%以上股份的主要股东不存在尚未了结的或可预见的重大诉讼、仲裁、行政处罚案件或刑事犯罪。
    
    （三）发行人董事、监事、高级管理人员、核心技术人员最近三年不存在重大诉讼、仲裁、行政处罚案件或刑事犯罪；截至本《补充法律意见书》出具之日，发行人董事、监事、高级管理人员、核心技术人员不存在尚未了结的或可预见的重大诉讼、仲裁、行政处罚案件或刑事犯罪。
    
    二十一、发行人招股说明书法律风险的评价
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
    本所承办律师履行了包括但不限于如下查验程序：复核、比较、参与讨论《招股说明书（申报稿）》等。
    
    本所承办律师未参与《招股说明书（申报稿）》的制作，但参与了《招股说明书（申报稿）》与《律师工作报告》《法律意见书》《补充法律意见书（一）》及本《补充法律意见书》有关章节的讨论工作并已审阅《招股说明书（申报稿）》，特别审阅了发行人引用《律师工作报告》《法律意见书》《补充法律意见书（一）》及本《补充法律意见书》的相关内容。
    
    本所承办律师认为，发行人《招股说明书（申报稿）》所引用的《律师工作报告》《法律意见书》《补充法律意见书（一）》及本《补充法律意见书》相关内容与《律师工作报告》《法律意见书》《补充法律意见书（一）》及本《补充法律意见书》并无矛盾之处，《招股说明书（申报稿）》及其摘要不会因为引用《律师工作报告》《法律意见书》《补充法律意见书（一）》及本《补充法律意见书》相关内容而出现虚假记载、误导性陈述或重大遗漏等。
    
    二十二、本次发行上市的总体结论性意见
    
    综上，本所承办律师经核查后认为：
    
    （一）发行人具备《公司法》《证券法》《科创板注册管理办法》《改革意见》《科创板上市规则》等有关法律法规及中国证监会有关规范性文件所规定的本次发行上市的各项实质条件。
    
    （二）《招股说明书（申报稿）》引用的《法律意见书》《律师工作报告》《补充法律意见书（一）》及本《补充法律意见书》的内容适当。
    
    （三）发行人本次发行上市尚需取得上交所关于本次发行的核准和公司股票在科创板上市交易的同意，以及中国证监会关于本次发行上市注册的同意。
    
    本《补充法律意见书》一式五份，经本所负责人及承办律师签字并加盖本所公章后生效。
    
    （以下无正文，为签署页）
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）
    
    （本页无正文，为《北京德恒律师事务所关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司
    
    首次公开发行股票并在科创板上市的补充法律意见书（二）》之签署页）
    
    北京德恒律师事务所（盖章）
    
    负责人：_______________
    
    王 丽
    
    承办律师：______________
    
    沈宏山
    
    承办律师：______________
    
    李晓新
    
    承办律师：______________
    
    李珍慧
    
    年 月 日

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