沈阳芯源微电子设备股份有限公司独立董事关于第一届董事会第十九次会议相关事项的独立意见根据《公司法》、《关于在上市公司建立独立董事制度的指导意见》、《上海证券交易所科创板股票上市规则》及《公司章程》等的相关规定，作为沈阳芯源微电子设备股份有限公司（以下简称“公司”）的独立董事，对第一届董事会第十九次会议审议的相关事项在查阅公司提供的相关资料、了解相关情况后，基于独立判断的立场，发表独立意见如下：
一、关于向激励对象首次授予限制性股票的议案
（1）根据公司2020年第一次临时股东大会的授权，董事会确定公司本激励计划的首次授予日为2020年9月25日，该授予日符合《上市公司股权激励管理办法》等法律、法规以及公司《2020 年限制性股票激励计划（草案）》中关于授予日的相关规定。
（2）未发现公司存在《上市公司股权激励管理办法》等法律、法规和规范性文件规定的禁止实施股权激励计划的情形，公司具备实施股权激励计划的主体资格。
（3）公司确定授予限制性股票的激励对象，均符合相关法律法规和《沈阳芯源微电子设备股份有限公司章程》中关于本次股权激励计划有关任职资格的规定，均符合《上市公司股权激励管理办法》规定的激励对象条件，符合《激励计划》规定的激励对象范围，其作为公司2020年限制性股票激励计划激励对象的主体资格合法、有效。
（4）公司实施本激励计划有利于进一步完善公司治理结构，建立、健全公司激励约束机制，增强公司管理团队和骨干人员对实现公司持续、健康发展的责任感、使命感，有利于公司的持续发展，不存在损害公司及全体股东的利益的情形。
综上，同意公司本激励计划的首次授予日为2020年9月25日，同意以40.00
元/股的授予价格向51名激励对象授予55.50万股限制性股票。
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