中微半导体设备（上海）股份有限公司独立董事关于公司第一届董事会第十四次会议审议的相关事项的
独立意见
根据《中华人民共和国公司法》（以下简称“《公司法》”）、《中华人民共和国证券法》（以下简称“《证券法》”）、《关于在上市公司建立独立董事制度的指导意见》、《上海证券交易所科创板股票上市规则》、《中微半导体设备（上海）股份有限公司章程》（以下简称“《公司章程》”）的有关规定，作为中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）的独立董事，基于独立、客观判断的原则，我们对公司第一届董事会第十四次会议审议的《关于公司2020年半年度募集资金存放与使用情况的专项报告的议案》、《关于公司符合向特定对象发行 A 股股票条件的议案》、《关于公司2020年度向特定对象发行A股股票方案的议案》、《关于公司2020年度向特定对象发行A股股票预案的议案》、《关于公司<2020年度向特定对象发行A股股票发行方案论证分析报告>的议案》《、关于公司<2020年度向特定对象发行A股股票募集资金运用的可行性分析报告>的议案》、《关于公司的议案》、《关于公司<2019年12月31日内部控制有效性认定书>的议案》、《关于公司<2017年度、2018年度及2019年度非经常性损益明细>的议案》、《关于本次向特定对象发行股票摊薄即期回报情况及相关填补措施的议案》、《关于相关主体就切实履行填补即期回报措施进行承诺的议案》、《关于公司未来三年（2020-2022年）股东分红回报规划的议案》以及《关于的议案》发表独立意见如下：
一《、关于公司2020年半年度募集资金存放与使用情况的专项报告的议案》的独立意见
公司2020年半年度募集资金存放与使用情况符合《上海证券交易所科创板股票上市规则》、《上海证券交易所上市公司募集资金管理办法》等相关法律法规以及公司《募集资金管理办法》的规定，对募集资金进行专户存储和专户使用，不存在变相改变募集资金用途和损害股东利益的情况，不存在违规使用募集资金情况。公司所披露的募集资金存放与使用情况信息与实际情况一致，且如实履行了信息披露义务，我们同意公司2020年半年度募集资金存放与使用情况的专项报告。
二、《关于公司符合向特定对象发行A股股票条件的议案》的独立意见
根据《中华人民共和国公司法》、《中华人民共和国证券法》、《科创板上市公司证券发行注册管理办法（试行）》等法律、法规及规范性文件的有关规定，我们认为公司符合现行法律、法规和规范性文件中关于向特定对象发行股票的规定，具备向特定对象发行股票的条件。我们同意该议案内容，并同意将该议案提交公
司2020年第三次临时股东大会审议。
三、《关于公司2020年度向特定对象发行A股股票方案的议案》的独立意见
公司本次向特定对象发行股票方案结合公司经营发展的实际情况制定，该方案的实施有利于提升公司的盈利能力、增强市场竞争力，符合《中华人民共和国公司法》、《中华人民共和国证券法》、《科创板上市公司证券发行注册管理办法（试行）》等有关法律、法规、规章和规范性文件的规定，符合公司的长远发展和全体股东的利益。我们同意公司编制的2020年度向特定对象发行A股股票方案，并同意将该议案提交公司2020年第三次临时股东大会审议。
四、《关于公司2020年度向特定对象发行A股股票预案的议案》的独立意见
公司本次向特定对象发行股票预案符合《中华人民共和国公司法》、《中华人民共和国证券法》、《科创板上市公司证券发行注册管理办法（试行）》等法律、法规、规章和规范性文件的规定，符合公司的长远发展，不存在损害公司及公司股东尤其是中小股东利益的情形。我们同意公司此次向特定对象发行 A 股股票的预案，同意将该议案提交公司2020年第三次临时股东大会审议。
五《、关于公司<2020年度向特定对象发行A股股票发行方案论证分析报告>的议案》的独立意见
我们认为，公司本次向特定对象发行具备必要性与可行性，本次向特定对象发行方案公平、合理，符合相关法律法规的要求，本次向特定对象发行方案的实施将有利于进一步提高公司科技实力、产品竞争力，符合公司发展战略，符合公司及全体股东利益。我们同意公司编制的《2020年度向特定对象发行A股股票发行方案论证分析报告》，并同意将该议案提交公司2020年第三次临时股东大会审议。
六、《关于公司<2020年度向特定对象发行A股股票募集资金运用的可行性分析报告>的议案》的独立意见
我们认为，公司本次募集资金用于中微产业化基地建设项目、中微临港总部和研发中心项目及科技储备资金的方案，符合公司的实际情况和长远发展目标，符合公司股东的利益。我们同意公司编制的《2020年度向特定对象发行A股股票募集资金运用的可行性分析报告》并同意将该议案提交公司2020年第三次临时股东大会审议。
七、《关于公司的议案》的独立意见
经审议，我们认为公司编制的《中微半导体设备（上海）股份有限公司前次募集资金使用情况报告》内容真实、准确、完整，不存在虚假记载、误导性陈述和重大遗漏，符合中国证券监督管理委员会《关于前次募集资金使用情况报告的规定》（证监发行字[2007]500号）的相关规定，不存在募集资金存放与使用违规的情形。我们同意该议案内容，并同意将该议案提交公司2020年第三次临时股东大会审议。
八、《关于公司<2019年12月31日内部控制有效性认定书>的议案》的独立意见
经审议，我们认为公司编制的《中微半导体设备（上海）股份有限公司2019年12月31日内部控制有效性认定书》，于2019年12月31日按照《企业内部控制基本规范》在所有重大方面保持了有效的财务报告内部控制。我们同意披露上述报告，并同意将上述报告提交公司2020年第三次临时股东大会审议。
九、《关于公司<2017年度、2018年度及2019年度非经常性损益明细>的议案》的独立意见
根据《中华人民共和国公司法》、《中华人民共和国证券法》等相关法律法规的要求，公司对2017年度、2018年度及2019年度非经常性损益情况编制了《中微半导体设备(上海)股份有限公司2017年度、2018年度及2019年度非经常性损益明细》。
经审议，没有发现公司编制的上述明细所载资料与公司会计资料及财务报表中所披露的相关内容在重大方面存在不一致的情况。我们同意披露上述报告，并同意将上述报告提交公司2020年第三次临时股东大会审议。
十、《关于本次向特定对象发行股票摊薄即期回报情况及相关填补措施的议案》及《关于相关主体就切实履行填补即期回报措施进行承诺的议案》的独立意见
公司根据《关于首发及再融资、重大资产重组摊薄即期回报有关事项的指导意见》，就本次向特定对象发行股票事项摊薄即期回报对主要财务指标的影响进行了分析，并制定了相关填补的具体措施；相关主体对填补措施作出了相关承诺，有利于保障投资者合法权益，不存在损害公司或全体股东利益的情形。我们同意公司本次向特定对象发行股票摊薄即期回报填补措施及相关主体对该填补措施所做出的相关承诺。我们同意该议案内容，并同意将该等议案提交公司2020年第三次临时股东大会审议。
十一、《关于公司未来三年（2020-2022年）股东分红回报规划的议案》的独立意见
我们认为，公司董事会制定的《未来三年（2020年-2022年）股东分红回报规划》符合中国证监会颁布的《关于进一步落实上市公司现金分红有关事项的通知》以及《上市公司监管指引第3号——上市公司现金分红》等相关规定，充分考虑了公司可持续发展的需要和广大股东取得合理投资回报的意愿，建立了连续、稳定、科学的回报机制，有利于保护股东特别是中小股东的利益。我们同意该议
案内容，并同意将该议案提交公司2020年第三次临时股东大会审议。
十二、《关于的议案》的独立意见
根据《科创板上市公司证券发行注册管理办法（试行）》等有关规定和公司本次向特定对象发行股票方案，我们认为公司本次募集资金投向属于科技创新领域，并同意将该议案提交公司2020年第三次临时股东大会审议。
2020年8月27日
（以下无正文）
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