海通证券股份有限公司
关于中微半导体设备（上海）股份有限公司
2019 年度募集资金存放与使用情况的核查意见
海通证券股份有限公司（以下简称“海通证券”或“保荐机构”）作为中微半导
体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”或“公司”）首次公开发行股
票并在科创板上市的持续督导保荐机构，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》
《科创板上市公司持续监管办法（试行）》《上市公司监管指引第2号——上市公
司募集资金管理和使用的监管要求》 上海证券交易所科创板股票上市规则（2019
年4月修订）》《上海证券交易所上市公司募集资金管理办法（2013年修订）》以及
《上海证券交易所上市公司持续督导工作指引》等有关规定，对中微公司2019年
度募集资金的存放和使用情况进行了核查，具体情况如下：
一、首次公开发行股票募集资金的基本情况
（一）实际募集资金金额、资金到账情况
经中国证券监督管理委员会出具的《关于同意中微半导体设备（上海）股份
有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可[2019]1168）核准，公司首次
公开发行人民币普通股（A 股）53,486,224 股，每股发行价为人民币 29.01 元，
募集资金总额为人民币 155,163.54 万元，扣除发行费用人民币 10,593.26 万元（不
含增值税）后，实际募集资金净额为人民币 144,570.28 万元。以上募集资金净额
已全部到位，由普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）审验，并于 2019 年
7 月 16 日出具了普华永道中天验字（2019）第 0411 号《验资报告》予以确认。
（二）募集资金使用和结余情况
截至 2019 年 12 月 31 日，公司本年度使用募集资金金额为人民币 32,807.01
万元，累计已使用募集资金金额为人民币 32,807.01 万元，本年度收到募集资金
利息扣除手续费净额为 618.01 万元，累计收到募集资金利息收入扣减手续费净
1
额为人民币 618.01 万元，募集资金余额为人民币 114,191.69 万元，其中用于现
金管理金额为 100,000.00 万元。
截至 2019 年 12 月 31 日，公司募集资金专户余额为人民币 14,191.69 万元
（含募集资金利息收入扣减手续费净额），具体情况如下：
项目 金额（万元）
实际收到的募集资金金额 146,380.69
减：本年度直接投入募投项目 -30,376.60
本年度支付发行费用及增值税税金 -2,430.41
加：募集资金利息收入扣减手续费净额 618.01
减：用于现金管理金额 100,000.00
募集资金专户期末余额 14,191.69
二、募集资金存放与管理情况
（一）募集资金管理情况
中微公司已按照《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》《关于
进一步加强股份有限公司公开募集资金管理的通知》《上海证券交易所上市公司
募集资金管理办法（2013 年修订）》等相关规定的要求制定《中微半导体设备（上
海）股份有限公司募集资金管理办法》（以下简称“募集资金管理办法”），对募集
资金实行专户存储制度，对募集资金的存放、使用、项目实施管理、投资项目的
变更及使用情况的监督等进行了规定。该办法已经中微公司 2019 年度第一次临
时股东大会审议通过。
根据《募集资金管理办法》要求，公司董事会批准开设了银行专项账户，截
至 2019 年 12 月 31 日，公司尚未使用的募集资金存放专项账户的余额如下：
单位：万元
募集资金专户开户行 账号 存款方式 余额
招商银行上海金桥支行 121910890310602 活期 3,714.08
中信银行上海浦东分行 8110201014101024127 活期 2,262.85
中国建设银行上海金桥支行 31050161373600004844 活期 8,214.76
总计 14,191.69
（二）募集资金三方监管协议情况
2
根据上海证券交易所及有关规定的要求，中微公司及保荐机构已于 2019 年
7 月 17 日分别与招商银行股份有限公司上海金桥支行、中信银行股份有限公司
上海分行及中国建设银行股份有限公司上海浦东分行签订了《募集资金专户存储
三方监管协议》。三方监管协议与上海证券交易所三方监管协议范本不存在重大
差异，且在 2019 年度得到了切实履行。
（三）募集资金专户存储情况
截至 2019 年 12 月 31 日，募集资金存放专项账户的存款余额情况参见本节
之“（一）募集资金管理情况”
公司为提高募集资金使用效益，将部分暂时闲置募集资金购买结构性存款，
截至 2019 年 12 月 31 日，公司使用闲置募集资金进行现金管理的情况如下：
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金额 是否到 收益
受托方 类型 起止时间 收益类型 年化收益率 期限（天）
（万元） 期 （万元）
中 国光大银 行股份有 限 2019.08.21- 保本固定
结构性存款 10,000.00 3.7500% 否 132.00 135.62
公司上海分行 2020.02.21 收益
上 海银行股 份有限公 司 2019.08.22- 保本浮动
结构性存款 10,000.00 3.6500% 是 91.00 91.00
张江支行 2019.11.21 收益
上 海银行股 份有限公 司 2019.11.26- 保本浮动
结构性存款 10,000.00 3.7500% 否 35.00 35.96
张江支行 2020.02.25 收益
中 国建设银 行股份有 限 2019.08.22- 保本浮动
结构性存款 10,000.00 3.6000% 是 92.00 90.73
公司上海浦东分行 2019.11.22 收益
中 国建设银 行股份有 限 2019.08.22- 保本浮动
结构性存款 10,000.00 3.6000% 否 131.00 129.21
公司上海浦东分行 2020.02.22 收益
中 国建设银 行股份有 限 2019.11.22- 保本浮动
结构性存款 10,000.00 3.6000% 否 39.00 38.47
公司上海浦东分行 2020.02.22 收益
上 海浦东发 展银行股 份 2019.08.26- 保本浮动
结构性存款 14,000.00 3.7000% 是 90.00 127.73
有限公司张江科技支行 2019.11.24 收益
上 海浦东发 展银行股 份 2019.11.26- 保本浮动
结构性存款 14,000.00 3.7000% 否 35.00 49.67
有限公司张江科技支行 2020.02.24 收益
中 信银行股 份有限公 司 2019.08.21- 保本浮动
结构性存款 16,000.00 3.8000% 是 90.00 149.92
上海分行 2019.11.19 收益
中 信银行股 份有限公 司 2019.11.22- 保本浮动
结构性存款 6,000.00 3.7000% 否 39.00 23.72
上海分行 2020.05.20 收益
中 信银行股 份有限公 司 2019.11.22- 保本浮动
结构性存款 10,000.00 3.7500% 否 39.00 40.07
上海分行 2020.05.20 收益
中 国银行股 份有限公 司 2019.08.26- 保本固定
结构性存款 7,000.00 3.6500% 是 92.00 64.40
上海浦东开发区支行 2019.11.26 收益
中 国银行股 份有限公 司 2019.08.26- 保本固定
结构性存款 7,000.00 3.8000% 是 92.00 67.93
上海浦东开发区支行 2019.11.26 收益
2019.11.28-
中 国银行股 份有限公 司 结构性存款 14,000.00 保本固定 3.6000% 否 33.00 45.57
2020.02.28
4
金额 是否到 收益
受托方 类型 起止时间 收益类型 年化收益率 期限（天）
（万元） 期 （万元）
上海浦东开发区支行 收益
招 商银行股 份有限公 司 2019.08.22- 保本浮动
结构性存款 16,000.00 3.8500% 否 131.00 221.08
上海金桥支行 2020.01.22 收益
5
三、2019年度募集资金实际使用情况
（一）募集资金使用情况对照表
中微公司 2019 年度募集资金实际使用情况对照表参见“附件 1 募集资金使
用情况对照表”。
（二）募投项目的预先投入及置换情况
为顺利推进募集资金投资项目，公司已使用自筹资金预先投入部分募集资金
投资项目及支付部分发行费用，截至 2019 年 9 月 30 日，公司以自筹资金预先投
入募集资金投资项目的实际投资额为人民币 9,037.74 万元，以自筹资金支付部分
发行费用为人民币 2,021.20 万元。
普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）针对上述自筹资金预先投入的
使用情况出具了《中微半导体设备（上海）股份有限公司截至 2019 年 9 月 30 日
止以自筹资金预先投入募集资金投资项目情况报告及鉴证报告》（普华永道中天
特审字[2019]第 3116 号）。
2019 年 12 月 3 日，公司第一届董事会第七次会议和第一届监事会第四次会
议审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入的自筹资金的议案》，公司独立
董事发表了明确的同意意见。保荐机构于 2019 年 12 月 3 日出具了《海通证券股
份有限公司关于中微半导体设备（上海）股份有限公司使用募集资金置换预先投
入的自筹资金的核查意见》。
根据《上海证券交易所上市公司募集资金管理办法（2013 年修订）》等有关
规定，公司使用募集资金净额 11,058.94 万元置换了预先已投入的自筹资金。公
司已将 11,058.94 万元募集资金转至公司自有资金银行账户，完成了募集资金投
资项目预先投入的置换工作。本次置换不存在变相改变公司募集资金用途情形且
置换时间距离募集资金到账时间未超过 6 个月，符合监管要求。
（三）使用闲置募集资金进行现金管理情况
公司为提高募集资金使用效益，将部分暂时闲置募集资金通过结构性存款等
存款方式或购买安全性高、流动性好、一年以内的短期保本型理财产品等方式进
行现金管理，投资产品的期限不超过 12 个月。
6
2019 年 8 月 20 日，公司第一届董事会第五次会议及第一届监事会第二次会
议通过了《关于使用闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意在不影响募集资
金项目建设和募集资金使用的情况下，拟使用额度不超过 100,000 万元闲置募集
资金进行现金管理，使用期限为自董事会审议通过之日起不超过 12 个月，在决
议有效期内本公司可在不超过上述额度及决议有效期内循环滚动使用，公司独立
董事发表了明确的同意意见。保荐机构于 2019 年 8 月 21 日出具了《海通证券股
份有限公司关于中微半导体设备（上海）股份有限公司使用闲置募集资金进行现
金管理的核查意见》。
四、变更募集资金投资项目的资金使用情况
截至 2019 年 12 月 31 日，公司不存在变更募集资金投资项目的情况。
五、募集资金投资项目已对外转让或置换情况
截至 2019 年 12 月 31 日，公司不存在募集资金投资项目对外转让或置换情
况。
六、募集资金使用及披露中存在的问题
公司已经披露的募集资金相关信息及时、真实、准确、完整；已使用的募集
资金均投向所承诺的募集资金投资项目，不存在违规使用募集资金的情形。
七、保荐机构核查工作
保荐代表人通过资料审阅、访谈沟通等多种方式，对中微公司的募集资金的
存放、使用及募集资金投资项目实施情况进行了核查。主要包括：查阅公司募集
资金存放银行对账单、募集资金使用凭证、中介机构相关报告、募集资金使用情
况的相关公告等资料，并与公司相关人员沟通交流等。
八、保荐机构核查意见
经核查，保荐机构认为：公司2019年度募集资金的存放与使用符合《上市公
司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易
所科创板股票上市规则（2019年4月修订）》以及《上海证券交易所上市公司募集
资金管理办法（2013年修订）》等法律法规和规范性文件的规定；公司2019年度
对募集资金进行了专户存储和专项使用，不存在变相改变募集资金用途和损害股
7
东利益的情形，不存在违规使用募集资金的情形。公司本年度募集资金使用不存
在违反国家反洗钱相关法律法规的情形。
综上，保荐机构对中微公司2019年度募集资金存放与使用情况无异议。
（以下无正文）
8
（本页无正文，为《海通证券股份有限公司关于中微半导体设备（上海）股份有
限公司2019年度募集资金存放与使用情况的核查意见》之签字盖章页）
保荐代表人签名：
吴志君 姜诚君
海通证券股份有限公司
年 月 日
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附件 1：募集资金使用情况对照表
单位：元
募集资金总额 1,445,702,792.76 本年度投入募集资金总额 303,766,016.65
变更用途的募集资金总额 -
已累计投入募集资金总额 303,766,016.65
变更用途的募集资金总额比例 -
截 至期
截至期末累计 项 目 达 项 目 可
已变更项 末 投入
截至期末承 截至期末累 投入金额与承 到 预 定本 年 度是 否 达行 性 是
目，含部 募 集 资 金 承 调 整 后 投 资 本年度投入 进 度
承诺投资项目 诺投入金额 计投入金额 诺投入金额的 可 使 用实 现 的到 预 计否 发 生
分 变 更 诺投资总额 总额 金额 （ % ）
（1） （2） 差额（3）＝（2） 状 态 日 效益 效益 重 大 变
（如有） （4）＝
-（1） 期 化
（2）（1）
高端半导体设备
无 400,000,000 400,000,000 400,000,000 64,057,273 64,057,273 -335,942,727 16.01% 不适用 不适用 不适用 否
扩产升级项目
技术研发中心建
无 400,000,000 400,000,000 400,000,000 80,128,228 80,128,228 -319,871,772 20.03% 不适用 不适用 不适用 否
设升级项目
补充流动资金 无 200,000,000 200,000,000 200,000,000 159,580,516 159,580,516 -40,419,484 79.79% 不适用 不适用 不适用 否
合计 — 1,000,000,000 1,000,000,000 1,000,000,000 303,766,017 303,766,017 -696,233,983 — — — — —
未达到计划进度原因（分具体募投项目） 不适用。
项目可行性发生重大变化的情况说明 不适用。
2019 年 12 月 3 日，公司第一届董事会第七次会议和第一届监事会第四次会议审议通过了《关于使用募集
资金置换预先投入的自筹资金的议案》，同意公司使用募集资金 9,037.74 万元置换预先投入募集资金投资
募集资金投资项目先期投入及置换情况
项目的自筹资金、使用募集资金 2,021.20 万元置换以自筹资金预先支付的发行费用，合计使用募集资金
11,058.94 万元置换前述预先投入的自筹资金。上述置换符合监管要求。
用闲置募集资金暂时补充流动资金情况 本年度不存在以闲置募集资金暂时补充流动资金的情况。
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对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品
详见“二、募集资金存放与管理情况”
情况
用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款
本年度不存在以超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款的情况。
情况
募集资金结余的金额及形成原因 本年度募集资金尚在投入过程中，不存在募集资金结余的情况。
募集资金其他使用情况 不适用。
注 1：“本年度投入募集资金总额”包括募集资金到账后“本年度投入金额”及实际已置换预先投入募集资金投资项目的金额。
注 2：“截至期末承诺投入金额”以最近一次已披露募集资金投资计划为依据确定。
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