3月12日，资本邦了解到，上海新阳(300236.SZ)发布公告，近日，由子公司上海芯刻微材料技术有限责任公司(以下简称“芯刻微”)委托盛吉盛(宁波)半导体材料有限公司(以下简称“盛吉盛”)代理投标，成功中标，购得ASML XT 1900 Gi型二手光刻机一台，该设备可用于研发分辨率达28nm的高端光刻胶。后续公司将启动设备的运输及相关安装调试等工作。
公告披露芯刻微芯刻微未来进行ArF湿法光刻胶的研发。上海新阳表示公司采购的ASML浸没式光刻机设备是对公司ArF湿法光刻胶技术先进性的设备保障，对加快公司集成电路制造用光刻胶产品研发项目进度有积极影响，有利于进一步提升公司光刻胶产品的核心竞争力。
这是上海新阳这个月第二次披露采购光刻机的信息。
在3月8日，上海新阳披露，称经各方积极协商、运作，此前购买的ASML-1400光刻机设备于3月8日已进入合作方北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司场地，后续将进行安装调试等相关工作。
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