华海清科获得发明专利授权：“用于电涡流传感器的大量程标定方法、测量方法及设备”

证券之星消息，根据企查查数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“用于电涡流传感器的大量程标定方法、测量方法及设备”，专利申请号为CN202510925240.0，授权日为2026年11月6日。

专利摘要：本申请提供了一种用于电涡流传感器的大量程标定方法、测量方法及设备，其中，标定方法包括：获取电涡流传感器检测样本晶圆得到的基值量测信号和晶圆量测信号，计算晶圆量测信号和基值量测信号的差，得到用于表征样本晶圆上金属层产生的电涡流的涡流信号；将涡流信号与多个样本基值信号进行叠加，得到多个样本晶圆信号，并计算样本基值信号及对应的样本晶圆信号之间的样本相位差；根据样本相位差以及分辨率条件，从多个样本基值信号中选择出多个候选基值信号；将候选基值信号叠加覆盖目标量程的多个晶圆厚度对应的涡流信号得到候选标定数据，并从多个候选标定数据中确定出具有大量程的晶圆厚度标定数据及其对应的标定基值信号。

今年以来华海清科新获得专利授权99个，较去年同期增加了22.22%。结合公司2026年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了2.75亿元，同比增12.59%。

通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目337次；财产线索方面有商标信息93条，专利信息896条，著作权信息39条；此外企业还拥有行政许可38个。

数据来源：企查查

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