晶盛机电获得实用新型专利授权：“机械手装置”

证券之星消息，根据企查查数据显示晶盛机电（300316）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“机械手装置”，专利申请号为CN202522332877.7，授权日为2026年11月6日。

专利摘要：本申请公开了一种机械手装置，其涉及半导体加工领域。机械手装置包括基座组件、机械臂组件、拾取组件和清洁组件，机械臂组件安装于基座组件，并能够在基座组件的带动下平移、旋转或升降，机械臂组件包括机械臂驱动单元以及摆臂组合，摆臂组件包括依次连接的若干摆臂，将若干摆臂中远离机械臂驱动单元的摆臂定义为远端摆臂，拾取组件与远端摆臂连接，清洁组件包括导气件和吹气件，导气件安装于远端摆臂，并位于远端摆臂与拾取组件的结合处，导气件中形成第一气道，吹气件覆盖导气件及结合处，吹气件中形成与第一气道连通的吹气道，吹气道贯穿吹气件，使吹气道流出的气体覆盖拾取组件的表面。通过上述设置，提高加工效率，避免晶圆污染。

今年以来晶盛机电新获得专利授权80个，较去年同期减少了25.23%。结合公司2026年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了4.64亿元，同比减0.12%。

通过天眼查大数据分析，浙江晶盛机电股份有限公司共对外投资了37家企业，参与招投标项目267次；财产线索方面有商标信息112条，专利信息1232条，著作权信息161条；此外企业还拥有行政许可48个。

数据来源：企查查

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