晶盛机电获得实用新型专利授权：“一种用于掩膜片的紫外光清洗设备”

证券之星消息，根据企查查数据显示晶盛机电（300316）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种用于掩膜片的紫外光清洗设备”，专利申请号为CN202522115481.7，授权日为2026年10月27日。

专利摘要：本申请实施例提供了一种用于掩膜片的紫外光清洗设备，其特征在于，该紫外光清洗设备包括机体、支撑装置、清洗装置、测温装置及控制装置；机体内形成清洗空间；支撑装置包括底座及夹持件，多个夹持件均匀地连接至底座并形成夹持空间；清洗装置包括第一紫外组件及第二紫外组件，第一紫外组件包括第一紫外灯，第二紫外组件包括第二紫外灯，第一紫外灯与第二紫外灯位于夹持空间的两侧；测温装置包括测温探头，测温探头位于夹持空间的一侧；控制装置电连接至第一紫外灯、第二紫外灯及测温装置。本申请中通过设置第一紫外组件和第二紫外组件对掩膜片的双面进行清洗，通过测温装置监测温度，并对掩膜片温度进行调控，提升清洗效果和清洗效率。

今年以来晶盛机电新获得专利授权73个，较去年同期减少了30.48%。结合公司2026年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了4.64亿元，同比减0.12%。

通过天眼查大数据分析，浙江晶盛机电股份有限公司共对外投资了37家企业，参与招投标项目265次；财产线索方面有商标信息112条，专利信息1229条，著作权信息159条；此外企业还拥有行政许可48个。

数据来源：企查查

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