中微公司获得发明专利授权：“一种气体供给装置及成膜装置”

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种气体供给装置及成膜装置”，专利申请号为CN202211079739.7，授权日为2026年10月20日。

专利摘要：本发明公开了一种气体供给装置及成膜装置，所述气体供给装置包括：底座；进气顶盖，其设置在底座的顶端上；水冷板，其设置在底座上；进气顶盖和水冷板构成一容置空间，至少一个气体分隔板，其设置在进气顶盖上，位于容置空间内，用于将容置空间分隔为独立的上部容置空间和下部容置空间。第一分区环组，其设置在气体分隔板上，用于将上部容置空间分隔为独立的上部中心区域空间和上部边缘区域空间。第二分区环组，其设置在水冷板上，用于将下部容置空间分隔为独立的下部中心区域空间和下部边缘区域空间。本发明可以在满足管路结构简单的条件下实现对反应腔内进行分区独立供气。

今年以来中微公司新获得专利授权133个，较去年同期增加了1.53%。结合公司2026年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了13.1亿元，同比增17.31%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了31家企业，参与招投标项目94次；财产线索方面有商标信息131条，专利信息1760条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可89个。

数据来源：企查查

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