中微公司获得发明专利授权：“一种气体分配件、气体输送装置和薄膜处理装置”

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种气体分配件、气体输送装置和薄膜处理装置”，专利申请号为CN202211336298.4，授权日为2026年10月20日。

专利摘要：本发明公开了一种气体分配件、气体输送装置和薄膜处理装置，该气体分配件内设置有气体扩散通道以及位于气体扩散通道外围的边缘进气通道，所述气体扩散通道包括一底面凸出于气体分配件底面的凹陷部，所述凹陷部将气体分配件底面下方的区域分割为内部区域和外围区域，所述凹陷部包括环绕内部区域的第一侧壁和第二侧壁，第一侧壁和第二侧壁上分别开设有进气通道以分别与内部区域和外围区域连通，边缘进气通道与外围区域连通。其优点是：该气体分配件通过气体扩散通道向内部区域输送工艺气体，并通过气体扩散通道和边缘进气通道同时向外围区域输送工艺气体，有效地补偿了边缘气流衰减效应，保证了工艺气体的流动和分布均匀性以及高流速状态的维持。

今年以来中微公司新获得专利授权133个，较去年同期增加了1.53%。结合公司2026年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了13.1亿元，同比增17.31%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了31家企业，参与招投标项目94次；财产线索方面有商标信息131条，专利信息1760条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可89个。

数据来源：企查查

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