中微公司获得发明专利授权：“角度调节方法、可调节支架及其薄膜处理装置”

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“角度调节方法、可调节支架及其薄膜处理装置”，专利申请号为CN202211165263.9，授权日为2026年10月20日。

专利摘要：本发明公开了一种角度调节方法、可调节支架及其薄膜处理装置，该可调节支架包含：周向调节件，其设置于薄膜处理装置的真空反应腔的外侧，所述周向调节件包含周向滑槽；至少一个固定支架，其底部与周向滑槽滑动连接，所述固定支架可沿周向滑槽周向转动；倾角调节架，其两端与固定支架连接，所述倾角调节架上包含第一位置和第二位置，所述固定支架上包含第三位置，所述第一位置与第三位置之间的距离大于第二位置与第三位置之间的距离，倾角调节架上设置有温度传感器且温度传感器可沿倾角调节架移动。其优点是：该可调节支架使得温度传感器在测量时的竖直倾角和平面圆周方位角可调整，增大了温度传感器的测温区域范围，提高温度传感器设置的灵活性。

今年以来中微公司新获得专利授权133个，较去年同期增加了1.53%。结合公司2026年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了13.1亿元，同比增17.31%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了31家企业，参与招投标项目94次；财产线索方面有商标信息131条，专利信息1760条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可89个。

数据来源：企查查

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