中微公司获得发明专利授权：“一种气体供应系统及其气体供应方法”

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种气体供应系统及其气体供应方法”，专利申请号为CN202211392922.2，授权日为2026年10月20日。

专利摘要：本发明公开了一种气体供应系统及其气体供应方法，用于向基片处理腔室提供反应气体。所述气体供应系统包含起泡腔室、进气管道、出气管道以及过滤组件等；通过在出气管道入口与前驱物液面之间设置过滤组件，来过滤飞溅的液滴以及过饱和前驱物蒸汽，物理上阻止其到达出气管道的入口、形成颗粒堵塞出气管道的入口；且过滤组件还将其吸附的液滴或颗粒加热生成对应的气体，实现自动清洁、防止其本身的气体通路堵塞。所述气体供应系统及其气体供应方法解决了液滴飞溅和前驱物过饱和蒸汽引起的出气管道入口堵塞的问题，且具有自动清洁功能、使用寿命长、效果好，能够平稳、高效地向对应的基片处理装置供应气体，提高基片处理装置的基片处理速率和质量。

今年以来中微公司新获得专利授权133个，较去年同期增加了1.53%。结合公司2026年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了13.1亿元，同比增17.31%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了31家企业，参与招投标项目94次；财产线索方面有商标信息131条，专利信息1760条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可89个。

数据来源：企查查

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