中微公司获得发明专利授权：“气体传输装置及半导体处理装置”

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“气体传输装置及半导体处理装置”，专利申请号为CN202211165406.6，授权日为2026年10月20日。

专利摘要：本发明公开了一种气体传输装置及半导体处理装置，气体传输装置包括：第一供给配管，与第一气体源相连通，所述第一气体源包括第一反应气体源；第一集成排阀，其包括第一进气端和第一出气端，第一进气端与第一供给配管的出气端连接；第一分配配管，其两端分别与第一集成排阀的第一出气端和反应腔连通；第二供给配管，与第二气体源相连通，第二气体源包括第二反应气体源；第二集成排阀，其包括第二进气端和第二出气端，第二进气端与第二供给配管的出气端连接；第二分配配管，其两端分别与第二集成排阀的第二出气端和反应腔连通。本发明具有反应气体进入反应腔前不混合，以降低颗粒污染。

今年以来中微公司新获得专利授权133个，较去年同期增加了1.53%。结合公司2026年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了13.1亿元，同比增17.31%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了31家企业，参与招投标项目94次；财产线索方面有商标信息131条，专利信息1760条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可89个。

数据来源：企查查

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