中微公司获得发明专利授权：“一种侧边辅助接地装置及等离子体处理装置”

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种侧边辅助接地装置及等离子体处理装置”，专利申请号为CN202411204473.3，授权日为2026年10月20日。

专利摘要：本发明提供一种侧边辅助接地装置及等离子体处理装置，所述侧边辅助接地装置设置在等离子体反应腔内的基座周向，其包括：承载部，其与所述基座固定连接；支架，其固定在所述承载部上；平衡配重杆，其通过旋转支点设置在所述支架的顶端；所述平衡配重杆的第一端比第二端的配重大，且可绕所述旋转支点转动；当所述基座移动至处理工艺位置时，所述平衡配重杆的第二端与所述反应腔侧壁向内突出的凸出部接触，形成射频返回路径。本发明保证了基座侧边的稳定接地，形成了稳定的射频返回路径，进而提高了等离子体的分布均匀性。

今年以来中微公司新获得专利授权133个，较去年同期增加了1.53%。结合公司2026年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了13.1亿元，同比增17.31%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了31家企业，参与招投标项目94次；财产线索方面有商标信息131条，专利信息1760条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可89个。

数据来源：企查查

以上内容为证券之星据公开信息整理，不构成投资建议。