中微公司获得实用新型专利授权：“一种聚焦环及等离子体处理设备”

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种聚焦环及等离子体处理设备”，专利申请号为CN202521687592.9，授权日为2026年10月20日。

专利摘要：本申请的一种聚焦环及等离子体处理设备属于半导体处理设备领域，为了解决等离子体工艺过程中基片上方等离子体密度分布不均匀的问题，本申请的聚焦环具有环形主体，其内边缘具有一主体内径，外边缘具有一主体外径；所述环形主体的下表面具有一电极容纳槽，且所述电极容纳槽沿径向的大部分宽度位于所述主体内径和主体外径的中线的内侧，该聚焦环用于本申请的等离子体处理设备，来调节等离子体工艺过程中，基片边缘上方的等离子体密度。

今年以来中微公司新获得专利授权133个，较去年同期增加了1.53%。结合公司2026年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了13.1亿元，同比增17.31%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了31家企业，参与招投标项目94次；财产线索方面有商标信息131条，专利信息1760条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可89个。

数据来源：企查查

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