中微公司获得实用新型专利授权：“一种气体喷淋头和上电极组件”

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种气体喷淋头和上电极组件”，专利申请号为CN202521687593.3，授权日为2026年10月20日。

专利摘要：本实用新型公开了一种气体喷淋头和上电极组件。气体喷淋头包括：喷淋头本体，所述喷淋头本体包括第一表面和与所述第一表面相对设置的第二表面；多个贯穿所述喷淋头本体的气体通道，所述气体通道包括下沉部和多个与所述下沉部的底部连通的气孔；其中，所述下沉部设置在所述第一表面，所述气孔从所述下沉部的底部贯穿至所述第二表面。通过在一个气体通道中设置多个气孔，可以增加单个气体通道的单位时间气体通过量，减少气体积聚，防止在气体喷淋头靠近供气通道的一侧产生高气压，从而降低放电风险。

今年以来中微公司新获得专利授权133个，较去年同期增加了1.53%。结合公司2026年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了13.1亿元，同比增17.31%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了31家企业，参与招投标项目94次；财产线索方面有商标信息131条，专利信息1760条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可89个。

数据来源：企查查

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