中微公司获得发明专利授权：“一种下电极组件，其安装方法及等离子体处理装置”

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种下电极组件，其安装方法及等离子体处理装置”，专利申请号为CN202311829355.7，授权日为2026年10月20日。

专利摘要：本发明提供了一种下电极组件，用于承载待处理基片，包括一承载基座，及环绕所述承载基座的边缘环组件，所述边缘环组件包括：聚焦环，环绕所述基片和承载基座设置；插入环，位于所述聚焦环下方，环绕所述承载基座设置；所述边缘环组件与所述承载基座之间设置第一弹性环，所述第一弹性环靠近所述承载基座的一侧和/或靠近所述边缘环组件的一侧设置若干凸起。本发明设置的弹性环结构可以保障下电极组件在较大工作温度区间范围内安全使用，与现有技术中不同工作温度区间需要更换不同厚度的弹性环相比，本发明的技术方案提高了等离子体处理设备的一致性和简约性。

今年以来中微公司新获得专利授权133个，较去年同期增加了1.53%。结合公司2026年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了13.1亿元，同比增17.31%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了31家企业，参与招投标项目94次；财产线索方面有商标信息131条，专利信息1760条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可89个。

数据来源：企查查

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