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鼎龙股份获得发明专利授权:“硅溶胶组合物、化学机械抛光组合物和抛光方法”

证券之星消息,根据企查查数据显示鼎龙股份(300054)新获得一项发明专利授权,专利名为“硅溶胶组合物、化学机械抛光组合物和抛光方法”,专利申请号为CN202610860863.9,授权日为2026年10月20日。

专利摘要:本申请提供了一种硅溶胶组合物、化学机械抛光组合物和抛光方法,涉及化学机械抛光技术领域。该硅溶胶组合物包括:经阴离子改性的胶态二氧化硅颗粒,含量为5~20wt%;氮化硅研磨促进剂,氮化硅研磨促进剂为α,β?不饱和有机酸化合物,含量为0.01~0.1wt%;多晶硅研磨抑制剂,多晶硅研磨抑制剂的1wt%水溶液室温下在HF清洗后的多晶硅晶圆上的接触角为60~75°,多晶硅研磨抑制剂的含量为0.01~1wt%;化学机械抛光组合物的pH值为4~6。本申请通过使氮化硅与二氧化硅的研磨速率选择比近似1:1,从而实现了晶圆表面高度均匀的全局平坦化,满足了高精度多层堆叠结构对表面形貌的严苛要求。

今年以来鼎龙股份新获得专利授权13个,较去年同期增加了30%。结合公司2026年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了2.96亿元,同比增18.69%。

通过天眼查大数据分析,湖北鼎龙控股股份有限公司共对外投资了30家企业,参与招投标项目39次;财产线索方面有商标信息39条,专利信息302条,著作权信息2条;此外企业还拥有行政许可75个。

数据来源:企查查

以上内容为证券之星据公开信息整理,不构成投资建议。

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