华海清科获得发明专利授权：“一种晶圆清洗方法和清洗控制系统”

证券之星消息，根据企查查数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种晶圆清洗方法和清洗控制系统”，专利申请号为CN202211577220.1，授权日为2026年10月20日。

专利摘要：本发明公开了一种晶圆清洗方法和清洗控制系统，所述晶圆清洗方法包括：将待清洗的晶圆放置于清洗装置中，支撑部竖直支撑晶圆；清洗刷朝向晶圆移动以抵接于晶圆表面，支撑部带动晶圆绕轴线转动；清洗装置中的喷杆朝向晶圆表面喷射清洗液，清洗刷吸附晶圆表面的清洗液并旋转刷除晶圆表面的颗粒物；其中，所述喷杆的喷嘴和/或喷孔喷射清洗液时，喷射方向与晶圆旋向相同的喷杆段的喷射流量大于喷射方向与晶圆旋向相反的喷杆段的喷射流量。

今年以来华海清科新获得专利授权85个，较去年同期增加了6.25%。结合公司2026年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了2.75亿元，同比增12.59%。

通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目335次；财产线索方面有商标信息93条，专利信息882条，著作权信息38条；此外企业还拥有行政许可38个。

数据来源：企查查

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