中微公司获得发明专利授权：“一种等离子体处理设备及其使用方法”

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种等离子体处理设备及其使用方法”，专利申请号为CN202411237865.X，授权日为2026年10月16日。

专利摘要：本发明提供了一种等离子体处理设备，包括反应腔、等离子体约束环和移动环。反应腔内设有用于承载晶圆的基座；等离子体约束环设于基座与反应腔的侧壁之间，其上开设有多个贯穿其厚度的第一气道；等离子体约束环的下表面与反应腔围成一第一空间，第一气道与第一空间连通，第一空间具有第一抽气口；移动环设置于等离子体约束环和基座的上方，移动环开设有多个贯穿其厚度的第二气道，移动环的上表面与反应腔围成一第二空间，第二空间具有第二抽气口。本发明的等离子体处理设备和使用方法，通过在等离子体约束环上设置第一气道，在移动环上设置第二气道，同时通过第一气道和第二气道抽气，提高了抽气速度，且能够减少抽气的偏边效应。

今年以来中微公司新获得专利授权133个，较去年同期增加了1.53%。结合公司2026年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了13.1亿元，同比增17.31%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了31家企业，参与招投标项目94次；财产线索方面有商标信息131条，专利信息1760条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可89个。

数据来源：企查查

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