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凯格精机获得发明专利授权:“一种晶圆排布方法及晶圆排布装置”

证券之星消息,根据企查查数据显示凯格精机(301338)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种晶圆排布方法及晶圆排布装置”,专利申请号为CN202310150413.7,授权日为2026年10月16日。

专利摘要:本发明公开了一种晶圆排布方法及晶圆排布装置,包括取用放置有晶圆的晶圆盘,将晶圆盘固定于预设的第一载台上;其中,第一载台的下方设有顶针机构;在第一载台的正上发设置第二载台,所述第二载台的下端面设有玻璃载板;驱动第一载台移动至预设位置,使顶针机构正对于所需要的排布的晶圆的下方,顶针机构上升以将该位置的晶圆从晶圆盘上顶出,并顶升至玻璃载板上;驱动第一载台沿预设轨迹移动,将若干个晶圆沿预设排布方式依次顶升至所述玻璃载板上。本晶圆排布方法能够通过设置第二载台来配合第一载台进行晶圆排布,由于晶圆排布较为紧密,因此单次移动行程较小,节约了工作时长,有利于提高工作效率。

今年以来凯格精机新获得专利授权48个,较去年同期增加了23.08%。结合公司2026年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了4882.52万元,同比增17.66%。

通过天眼查大数据分析,东莞市凯格精机股份有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目78次;财产线索方面有商标信息12条,专利信息420条,著作权信息59条;此外企业还拥有行政许可16个。

数据来源:企查查

以上内容为证券之星据公开信息整理,不构成投资建议。

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