先导智能获得实用新型专利授权：“基片处理装置及刻蚀清洗装置”

证券之星消息，根据企查查数据显示先导智能（300450）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“基片处理装置及刻蚀清洗装置”，专利申请号为CN202522165539.9，授权日为2026年10月16日。

专利摘要：本实用新型公开了一种基片处理装置及刻蚀清洗装置。该基片处理装置包括喷淋件、输送组件和回流组件，所述喷淋件适用于向基片喷淋液体，输送组件位于所述喷淋件的下方，所述喷淋件适用于向基片喷淋液体；回流组件包括接液槽和回流管，所述接液槽位于所述喷淋件的下方，所述回流管的一端连通于所述接液槽。输送组件能够将基片输送至喷淋件，喷淋件能够向基片的表面喷淋液体，多余的液体会流向接液槽，接液槽连通有回流管，接液槽内的液体通过回流管回流，从而能够实现液体的回收再利用，以节约资源，降低成本。

今年以来先导智能新获得专利授权269个，较去年同期减少了31.03%。结合公司2026年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了8.27亿元，同比减0.02%。

通过天眼查大数据分析，无锡先导智能装备股份有限公司共对外投资了13家企业，参与招投标项目439次；财产线索方面有商标信息339条，专利信息3479条，著作权信息192条；此外企业还拥有行政许可368个。

数据来源：企查查

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