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至纯科技:目前公司湿法设备主要供应逻辑芯片产线

证券之星消息,至纯科技(603690)10月12日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。

投资者提问:你好,14nm 以下高阶单片清洗验证难度高,贵司湿法清洗设备(至微)是否已经 进入国内顶级先进制程 GPU 产线,目前批量设备主要是应用 高端存储芯片 还是逻辑芯片生产产线?

至纯科技回复:您好,公司半导体湿法设备聚焦晶圆制造的前道工艺,主要应用于扩散、光刻、刻蚀、离子注入、薄膜沉积等关键工序段前后 。公司在 28 纳米节点设备开发已经全部完成,且全工艺机台均有订单,在更先进制程节点也已取得部分工艺订单,适用于存储、先进逻辑及特殊工艺应用。目前公司法设备主要供应逻辑芯片产线。

本文数据来源于上海证券交易所e互动,仅供参考不构成投资建议。

责任编辑:刘浩然

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