恒星科技：承明光电委托河南省科学院碳基复合材料研究院主要进行MO源系列电子级产品及ALD前驱体材料的研发_股票频道

证券之星消息，恒星科技(002132)09月23日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。

投资者提问：承明光电与河南科学院合作，联合研发CVD(气相沉积)和ALD(原子层沉积)技术所需前驱体材料，覆盖铝基、镓基、硅基、氨基、氧族等100余种高纯电子化学品。目标是支撑7nm/5nm/3nm先进制程，以及第三代半导体(GaN)、第四代半导体(氧化镓)关键薄膜生长？

恒星科技回复：尊敬的投资者您好，经了解，承明光电委托河南省科学院碳基复合材料研究院主要进行MO源系列电子级产品及ALD前驱体材料的研发，目前前述项目尚在实验研发阶段。感谢您对公司的关注！

本文数据来源于深圳证券交易所互动易，仅供参考不构成投资建议。

责任编辑：陈思雨

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