芯碁微装获得发明专利授权：“一种用于直写光刻设备的照明系统”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯碁微装（688630）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种用于直写光刻设备的照明系统”，专利申请号为CN202310850734.8，授权日为2026年9月11日。

专利摘要：本发明涉及直写光刻技术领域，具体公开了一种用于直写光刻设备的照明系统，包括LD空间合束光源，以及依次设置的第一偏振棱镜、准直透镜组、匀光器件、照明透镜组、转接反射镜、DMD微镜阵列。本发明提供的用于直写光刻设备的照明系统通过双棱镜结构将发光灯珠所出椭圆偏振光快慢轴拆分，形成快轴线偏振光和慢轴线偏振光，快轴线偏振光和慢轴线偏振光通过空间合束、偏振合束后，直接经过匀光系统调制成能量均匀的矩形光斑，投射到DMD微镜阵列表面。有效利用了LD线偏振光特性，提高了光学系统能量，结构合理、布局紧凑美观，解决了现有直写光刻设备大多使用光纤合束激光器作为光源，存在限制产能提高的问题，具有广阔的应用前景。

今年以来芯碁微装新获得专利授权30个，较去年同期增加了11.11%。结合公司2026年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了6371.18万元，同比增4.53%。

通过天眼查大数据分析，合肥芯碁微电子装备股份有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目208次；财产线索方面有商标信息35条，专利信息401条，著作权信息57条；此外企业还拥有行政许可29个。

数据来源：天眼查APP

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