证券之星消息,根据天眼查APP数据显示盛美上海(688082)新获得一项发明专利授权,专利名为“密封方法、电子装置、存储介质和半导体设备”,专利申请号为CN202310672009.6,授权日为2026年9月8日。
专利摘要:本申请涉及一种密封方法、电子装置、存储介质和半导体设备。其中,该半导体设备包括:防溅罩、防溅罩基座、升降模块、检测模块和控制模块,控制模块耦合在升降模块与检测模块之间,其中,升降模块,用于带动防溅罩进行升降;检测模块,用于检测防溅罩与防溅罩基座之间的气流信息参数;控制模块,用于根据气流信息参数,控制升降模块带动防溅罩进行升降,以实现防溅罩与防溅罩基座之间的密封。通过本申请,解决了相关技术中因防溅罩与防溅罩基座之间密封性低,而降低晶圆良率的问题,提高了防溅罩和防溅罩基座之间的密封性,进而也提高了晶圆良率。
今年以来盛美上海新获得专利授权26个,较去年同期增加了52.94%。结合公司2026年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了4.66亿元,同比增11.94%。
通过天眼查大数据分析,盛美半导体设备(上海)股份有限公司共对外投资了17家企业,参与招投标项目187次;财产线索方面有商标信息82条,专利信息752条,著作权信息1条;此外企业还拥有行政许可33个。
数据来源:天眼查APP
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