中微公司获得实用新型专利授权：“一种基座组件及薄膜沉积设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种基座组件及薄膜沉积设备”，专利申请号为CN202521898721.9，授权日为2026年9月8日。

专利摘要：本实用新型公开了一种基座组件及薄膜沉积设备，基座组件包括可升降的基板载置台、顶针以及轴向可伸缩管，基板载置台用于载置和加热基板，且设置有贯通其上表面和下表面的贯通孔；顶针插入贯通孔内设置，以顶起基板或将基板放置于基板载置台上；轴向可伸缩管的底端连接于反应腔的底壁，轴向可伸缩管的顶端连接于基板载置台的下表面且覆盖贯通孔的底端，其中轴向可伸缩管的底端和顶端之间是密闭的。本实用新型的技术方案避免工艺气体在贯通孔内壁产生薄膜沉积，从根源上避免了贯通孔内薄膜沉积过厚导致顶针卡住的问题。

今年以来中微公司新获得专利授权116个，与去年同期持平。结合公司2026年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了13.1亿元，同比增17.31%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了31家企业，参与招投标项目92次；财产线索方面有商标信息131条，专利信息1745条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可88个。

数据来源：天眼查APP

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