中微公司获得发明专利授权：“一种用于晶圆处理装置的加热器及其制造方法和等离子处理装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种用于晶圆处理装置的加热器及其制造方法和等离子处理装置”，专利申请号为CN202311844437.9，授权日为2026年9月8日。

专利摘要：本发明公开一种加热器结构和加热器制造方法。本发明加热器在制造过程中利用加热层形成步骤和加热层打磨步骤的循环，多次循环直到形成具有目标厚度的加热层，在反复打磨和形成步骤中将加热器层上表面的气孔填充。最终使得本发明方法制造的加热层具有表面平整度高，内部气孔和裂隙少等明显优点，使得最终的加热器发热均匀，且向上传导的热量也在整个加热器平面上均匀分布，最终使得加热器上方的聚焦环上具有可控的均匀温度，改善晶圆处理效果的均匀性。

今年以来中微公司新获得专利授权116个，与去年同期持平。结合公司2026年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了13.1亿元，同比增17.31%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了31家企业，参与招投标项目92次；财产线索方面有商标信息131条，专利信息1745条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可88个。

数据来源：天眼查APP

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