中科飞测获得发明专利授权：“一种标准片及掩膜版”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中科飞测（688361）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种标准片及掩膜版”，专利申请号为CN202610653251.2，授权日为2026年9月8日。

专利摘要：本申请公开了一种标准片及掩膜版，可用于光学系统性能检测领域，该标准片包括扫描电子显微镜标定图案，扫描电子显微镜标定图案用于对扫描电子显微镜进行扫描角度校正；扫描电子显微镜标定图案包括角度校正图案，扫描电子显微镜标定图案包括至少一层图案层，角度校正图案包括扫描角度校正图案，其中，扫描角度校正图案包括由至少2层图案层形成的田字格图案。由此，将用于对扫描电子显微镜进行扫描角度校正的多种不同图案集成于同一标准片上，标准片的功能更全面，大幅减少了校正扫描电子显微镜所需要的标准片数量，降低了对扫描电子显微镜进行校正的成本。

今年以来中科飞测新获得专利授权64个，较去年同期增加了23.08%。结合公司2026年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了3.81亿元，同比增33.55%。

通过天眼查大数据分析，深圳中科飞测科技股份有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目398次；财产线索方面有商标信息383条，专利信息1141条，著作权信息45条；此外企业还拥有行政许可45个。

数据来源：天眼查APP

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