中微公司获得发明专利授权：“一种静电吸盘及等离子体处理装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种静电吸盘及等离子体处理装置”，专利申请号为CN202410275288.7，授权日为2026年9月8日。

专利摘要：本发明提供一种静电吸盘及等离子体处理装置，所述静电吸盘包括：第一绝缘层，其上设置有若干个贯穿所述第一绝缘层的冷却孔；底座组件，其设置在第一绝缘层的下方用于支撑所述第一绝缘层；若干个冷却通道，其贯穿所述底座组件设置，分别与对应的所述冷却孔连通；每个所述冷却通道与所述冷却孔连接的一端包括安装槽，所述安装槽内设有多孔塞；且所述第一绝缘层包含至少部分由介电常数大于10的第一绝缘材料组成的第一高介电常数区域；和/或所述多孔塞包含至少部分由介电常数小于10的第二绝缘材料组成的低介电常数区域。本发明通过降低多孔塞的介电常数和/或提高绝缘层的介电常数，降低了冷却孔内的电场强度，有效减少了冷却孔内的起弧放电。

今年以来中微公司新获得专利授权116个，与去年同期持平。结合公司2026年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了13.1亿元，同比增17.31%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了31家企业，参与招投标项目92次；财产线索方面有商标信息131条，专利信息1745条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可88个。

数据来源：天眼查APP

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