芯联集成获得实用新型专利授权：“化学液流量校准取样装置及化学镀设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯联集成（688469）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“化学液流量校准取样装置及化学镀设备”，专利申请号为CN202522115761.8，授权日为2026年9月8日。

专利摘要：本实用新型涉及半导体制造技术领域，提供了一种化学液流量校准取样装置及化学镀设备。化学液流量校准取样装置包括：注液管、取样管和通路切换装置；所述注液管用于输送化学液，所述注液管的出口端用于与化学槽的内腔连通；所述取样管的进口端与所述注液管连通，所述取样管的出口端位于化学槽外；所述通路切换装置用于切换注液管内化学液的流向，以使得化学液沿所述注液管的出口端流出或沿所述取样管的出口端流出。上述装置可简化药液取样过程，提高流量偏差的计算效率，同时也降低作业风险以及药液被污染的风险。

今年以来芯联集成新获得专利授权56个，较去年同期增加了14.29%。结合公司2026年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了7.2亿元，同比减25.36%。

通过天眼查大数据分析，芯联集成电路制造股份有限公司共对外投资了20家企业，参与招投标项目1744次；财产线索方面有商标信息16条，专利信息855条，著作权信息3条；此外企业还拥有行政许可43个。

数据来源：天眼查APP

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