证券之星消息,根据天眼查APP数据显示横店东磁(002056)新获得一项发明专利授权,专利名为“烘干装置及碱抛工艺设备及碱抛工艺优化方法”,专利申请号为CN202411672401.1,授权日为2026年9月1日。
专利摘要:本发明涉及半导体制造工艺技术领域,公开了一种烘干装置及碱抛工艺设备及碱抛工艺优化方法,烘干装置包括:底板,以及环绕于底板周侧的侧壁板;第一热风单元,设置于烘干槽内并位于底板,第一热风单元沿第二方向延伸,并适于朝向底板表面吹风;第二热风单元,设置于烘干槽内并安装于花篮架,第二热风单元沿第一方向延伸,并适于朝向花篮的花篮端板吹风;第三热风单元,设置于烘干槽内并安装于花篮架,第二热风单元沿第二方向延伸,并适于朝向花篮的花篮底杆吹风。本发明提供的烘干装置,增加多个方向吹气,提高烘干效果,可解决花篮底部端板、花篮底杆、槽体底部等顽固部位无法烘干问题。
今年以来横店东磁新获得专利授权130个,较去年同期增加了26.21%。结合公司2026年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了3.63亿元,同比增59.15%。
通过天眼查大数据分析,横店集团东磁股份有限公司共对外投资了42家企业,参与招投标项目9609次;财产线索方面有商标信息224条,专利信息2876条,著作权信息27条;此外企业还拥有行政许可106个。
数据来源:天眼查APP
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