芯源微获得发明专利授权：“晶圆抓取装置及缺陷晶圆的判断方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯源微（688037）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆抓取装置及缺陷晶圆的判断方法”，专利申请号为CN202310186578.X，授权日为2026年9月1日。

专利摘要：本发明提供了一种晶圆抓取装置及缺陷晶圆的判断方法，所述晶圆抓取装置包括包括夹持执行器，所述夹持执行器包括固定夹持部和活动夹持部；所述固定夹持部上具有对称设置的传感器，所述固定夹持部和所述活动夹持部配合形成环形的夹持区域用于夹持晶圆，且所述传感器靠近所述活动夹持部设置，以使所述传感器的部分朝向所述夹持区域。本发明在抓取晶圆的时候即可判断出晶圆是否存在缺陷，避免对缺陷晶圆进行去胶处理，从而提高了晶圆去胶设备的整体产能。

今年以来芯源微新获得专利授权27个，较去年同期减少了15.62%。结合公司2026年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.38亿元，同比增4.27%。

通过天眼查大数据分析，沈阳芯源微电子设备股份有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目373次；财产线索方面有商标信息49条，专利信息706条，著作权信息109条；此外企业还拥有行政许可72个。

数据来源：天眼查APP

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