证券之星消息,根据天眼查APP数据显示拉普拉斯(688726)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“喷淋装置和镀膜设备”,专利申请号为CN202522040230.7,授权日为2026年9月1日。
专利摘要:本申请涉及半导体或光伏技术领域,尤其涉及一种喷淋装置和镀膜设备,以提高生长于衬底表面的薄膜致密性和均匀性,提高产品性能。该喷淋装置设有第一气路、第二气路和第三气路,第一气路用于喷射第一工艺气体,第二气路用于喷射第二工艺气体,第三气路用于喷射惰性气体,喷淋装置包括电离模块,电离模块设置在第二气路处,以电离第二工艺气体而产生等离子体;其中,在第二方向上,第三气路的出口位于第一气路的出口和第二气路的出口之间。本申请提供的喷淋装置,通过在第二气路处设置电离模块,使得喷射至衬底的第二工艺气体呈离子态,从而与衬底反应生长出薄膜。由此,提高衬底表面生长的薄膜的致密性、均匀性和完整性。
今年以来拉普拉斯新获得专利授权90个,较去年同期减少了25%。结合公司2026年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了1.64亿元,同比增1.77%。
通过天眼查大数据分析,拉普拉斯新能源科技股份有限公司共对外投资了10家企业,参与招投标项目59次;财产线索方面有商标信息145条,专利信息859条,著作权信息15条;此外企业还拥有行政许可65个。
数据来源:天眼查APP
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