安培龙获得发明专利授权：“一种基于单晶PZT薄膜的MEMS器件及其制备方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示安培龙（301413）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种基于单晶PZT薄膜的MEMS器件及其制备方法”，专利申请号为CN202610831777.5，授权日为2026年8月28日。

专利摘要：本发明公开了一种基于单晶PZT薄膜的MEMS器件及其制备方法，涉及微机电系统技术领域，包括支撑基底、第一介质层、第一电极、压电层、第二电极和第一引出电极；压电层设有贯穿至第一电极互联接触区的互联通孔，第一电极内设有与互联通孔连通且未贯穿第一电极的接触凹槽，导电填充体填充于互联通孔和接触凹槽内并直接接触第一电极内部金属本体；该结构避开第一电极表面氧化层或刻蚀损伤层造成的高接触电阻，并使底层电极独立低阻引出；解决单晶PZT薄膜MEMS器件中，底层电极通孔引出时因电极表面氧化层、卤化反应层或刻蚀损伤层导致接触电阻升高、接触一致性差以及过刻蚀易损伤底层电极的问题。

今年以来安培龙新获得专利授权6个，较去年同期减少了25%。结合公司2026年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了5333.61万元，同比增39.94%。

通过天眼查大数据分析，深圳安培龙科技股份有限公司共对外投资了13家企业，参与招投标项目28次；财产线索方面有商标信息10条，专利信息123条，著作权信息4条；此外企业还拥有行政许可60个。

数据来源：天眼查APP

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