华海清科获得发明专利授权：“晶圆旋转机构及晶圆后处理装置、方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆旋转机构及晶圆后处理装置、方法”，专利申请号为CN202410526270.X，授权日为2026年8月7日。

专利摘要：本申请实施例提供了一种晶圆旋转机构及晶圆清洗装置、方法，晶圆旋转机构包括转轴、转盘和遮挡件，转轴垂直于水平面设置，且转轴能够沿着其转动轴线转动；转盘同心设置至转轴的上端，以承托晶圆；遮挡件枢转连接至转盘，以在第一位置和第二位置之间枢转，且遮挡件位于转盘上的晶圆的外周；当转轴转动时，遮挡件由第二位置枢转至第一位置，使得遮挡件的顶部高于晶圆；当转轴停转时，遮挡件位于第二位置，使得遮挡件的顶部低于晶圆。根据本申请实施例的晶圆旋转机构，具有高度能够变化且能够与转轴同步转动的遮挡件，遮挡晶圆转动甩出的废液，又避免了阻碍传输机构与晶圆之间的交互。

今年以来华海清科新获得专利授权67个，较去年同期增加了34%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了5.37亿元，同比增40.63%。

通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目299次；财产线索方面有商标信息93条，专利信息841条，著作权信息37条；此外企业还拥有行政许可36个。

数据来源：天眼查APP

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