证券之星消息,根据天眼查APP数据显示华海清科(688120)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种化学机械抛光系统”,专利申请号为CN202211523655.8,授权日为2026年8月7日。
专利摘要:本发明公开了一种化学机械抛光系统,其包括:前置单元;抛光单元;以及清洗单元,设置于前置单元与抛光单元之间;所述抛光单元包括多个抛光模块和抛光传输机构,所述抛光模块围绕所述抛光传输机构设置;所述清洗单元包括多个后处理模块和清洗传输机构,所述后处理模块竖向层叠以形成层叠模组,所述层叠模组沿清洗单元的横向和纵向交错设置,所述清洗传输机构设置于所述层叠模组的侧部。
今年以来华海清科新获得专利授权67个,较去年同期增加了34%。结合公司2025年年报财务数据,2025年公司在研发方面投入了5.37亿元,同比增40.63%。
通过天眼查大数据分析,华海清科股份有限公司共对外投资了12家企业,参与招投标项目299次;财产线索方面有商标信息93条,专利信息841条,著作权信息37条;此外企业还拥有行政许可36个。
数据来源:天眼查APP
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