华海清科获得发明专利授权：“晶圆翻转装置、晶圆翻转方法及晶圆处理设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆翻转装置、晶圆翻转方法及晶圆处理设备”，专利申请号为CN202610432475.0，授权日为2026年8月7日。

专利摘要：本申请公开了晶圆翻转装置、晶圆翻转方法及晶圆处理设备，属于先进制程晶圆加工技术领域。用于解决边缘粗糙晶圆放片时倒片方向随机、易掉落损坏，且下限位件易磨损导致晶圆滑片不到位的技术问题。本申请的晶圆翻转装置包括底座、转动连接于底座的托架以及摆动设置于托架的挠爪，托架上设有上限位件和硬质耐磨抗冲击材质的下限位件。通过挠爪承接倒片方向异常的晶圆，有效解决了晶圆传输过程中倒片方向随机、晶圆易掉落的问题。在此基础上，通过设置下限位件的材质降低下限位件磨损，防止晶圆边缘与下限位件上的凹坑或划痕卡住，并通过设置引导坡面的角度引导晶圆向托架倒片，同时解决了边缘粗糙晶圆水平状态时滑片不到位的问题。

今年以来华海清科新获得专利授权67个，较去年同期增加了34%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了5.37亿元，同比增40.63%。

通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目299次；财产线索方面有商标信息93条，专利信息841条，著作权信息37条；此外企业还拥有行政许可36个。

数据来源：天眼查APP

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