华海清科获得发明专利授权：“一种控制清洗刷姿态的晶圆清洗装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种控制清洗刷姿态的晶圆清洗装置”，专利申请号为CN202111507612.6，授权日为2026年7月31日。

专利摘要：本发明公开了一种控制清洗刷姿态的晶圆清洗装置，包括：晶圆旋转组件，用于支撑晶圆并驱动晶圆旋转；两个清洗刷，设置于晶圆的两侧并绕自身轴线滚动以对晶圆表面进行刷洗；清洗刷运动机构，用于带动所述两个清洗刷相向移动并以一定夹角夹持晶圆进行刷洗；控制器，用于控制所述清洗刷运动机构调整所述两个清洗刷之间的夹角，使得清洗刷与晶圆旋转方向相同的一端对晶圆的夹紧力大于清洗刷与晶圆旋转方向相反的一端对晶圆的夹紧力。

今年以来华海清科新获得专利授权64个，较去年同期增加了28%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了5.37亿元，同比增40.63%。

通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目298次；财产线索方面有商标信息93条，专利信息837条，著作权信息37条；此外企业还拥有行政许可36个。

数据来源：天眼查APP

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