华海清科获得发明专利授权：“保湿方法、晶圆清洗装置、存储介质”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“保湿方法、晶圆清洗装置、存储介质”，专利申请号为CN202411290847.8，授权日为2026年7月31日。

专利摘要：本申请提供了一种保湿方法、晶圆清洗装置、存储介质及电子设备，保湿方法，应用于晶圆清洗装置中的驱动机构，驱动机构包括轮体和旋转轴，旋转轴与轮体同步旋转，旋转轴内部设置第一流道，轮体内部包括沿轮体的径向设置的第二流道，轮体的外缘设置有与晶圆配合、且与第二流道相通的间隙,保湿方法包括：监测晶圆是否在位；若晶圆在位，则控制控制流体以微正压模式流入第一流道，并通过第二流道从轮体的外缘流出；若晶圆由在位切换为不在位，则以负压模式从第一流道抽吸流体，以对轮体进行保湿。

今年以来华海清科新获得专利授权64个，较去年同期增加了28%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了5.37亿元，同比增40.63%。

通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目298次；财产线索方面有商标信息93条，专利信息837条，著作权信息37条；此外企业还拥有行政许可36个。

数据来源：天眼查APP

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