微导纳米获得实用新型专利授权：“一种原子层沉积系统”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示微导纳米（688147）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种原子层沉积系统”，专利申请号为CN202521906224.9，授权日为2026年7月31日。

专利摘要：本实用新型公开的原子层沉积系统，包括臭氧发生器、腔体、厂务端、可调节单元和管路压力计，臭氧发生器通过第一管路连通腔体，腔体通过第二管路连通金属源前驱体容器，金属源前驱体通过第二管路进入腔体，臭氧发生器通过第三管路连通厂务端，第三管路与第一管路连通，可调节单元设置于第三管路上，可调节单元包括第一抽气装置，管路压力计设置于第一管路上且位于第三管路的下游。本实用新型公开的原子层沉积系统，通过在第三管路上设置可调节单元，能够降低从金属源前驱体半反应切换至臭氧半反应时较高压降和高压冲击带来的风险，减少反应过程中的气流对冲，保证原子沉积反应的顺利进行。相比于现有技术中采用流量控制器的方案，能够降低成本。

今年以来微导纳米新获得专利授权50个，较去年同期增加了4.17%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了2.65亿元，同比减0.64%。

通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目59次；财产线索方面有商标信息140条，专利信息700条，著作权信息21条；此外企业还拥有行政许可69个。

数据来源：天眼查APP

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