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西安奕材获得发明专利授权:“硅片检测工具及硅片检测方法”

证券之星消息,根据天眼查APP数据显示西安奕材(688783)新获得一项发明专利授权,专利名为“硅片检测工具及硅片检测方法”,专利申请号为CN202211567297.0,授权日为2026年7月28日。

专利摘要:本公开提供一种硅片检测工具及硅片检测方法,所述硅片检测工具包括:用于放置待检测硅片的托盘;用于与托盘配合形成腔室的防护罩,防护罩扣合至托盘上且防护罩上开设有注入孔和排气孔;用于向腔室内注射及抽取反应溶液的注射器,注射器包括注射筒、可移动设置于注射筒内的活塞、及可拆卸连接至注射筒端部的注射头,注射筒位于腔室外,注射头经由注入孔插入至腔室内,注射头包括一平行于托盘的承托面且朝向托盘的承托面设置的底面,底面上分布有多个开孔。本公开提供的硅片检测工具及硅片检测方法,能够减少硅片在处理过程中引入污染,且减少对操作人员危害,易于安装及操作,减少材料浪费。

今年以来西安奕材新获得专利授权72个。结合公司2025年年报财务数据,2025年公司在研发方面投入了2.85亿元,同比增10.17%。

通过天眼查大数据分析,西安奕斯伟材料科技股份有限公司共对外投资了8家企业,参与招投标项目14次;财产线索方面有商标信息5条,专利信息1629条;此外企业还拥有行政许可24个。

数据来源:天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理,不构成投资建议。

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