芯动联科获得发明专利授权：“一种MEMS垂直电极结构的制造方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯动联科（688582）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种MEMS垂直电极结构的制造方法”，专利申请号为CN202311411001.0，授权日为2026年7月28日。

专利摘要：本发明公开一种MEMS垂直电极结构的制造方法，通过在SOI单晶硅圆片上淀积多层硬掩模，刻蚀多个直抵硅衬底层的沟槽，再热氧化沟槽，在沟槽表面形成第二SiO2层，再淀积多晶硅并无掩模返刻多晶硅，形成多晶硅电极，再释放MEMS结构，最后热氧化，并腐蚀形成第二空腔等工艺步骤，形成MEMS垂直电极结构；单晶硅电极和多晶硅电极通过一次光刻/刻蚀的图形决定，实现二者的自对准，电极间距由第二SiO2层的厚度决定，多晶硅电极底部低于单晶硅电极底部的高度差由第二沟槽的深度决定，单晶硅电极顶部高于多晶硅电极顶部的高度差由无掩模回蚀多晶硅的量决定，根据本发明的方法制造的MEMS垂直电极结构具有尺寸精度高、加工重复性好、性能一致性好、加工工艺简单等优点。

今年以来芯动联科新获得专利授权3个，较去年同期减少了40%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了1.23亿元，同比增11.95%。

通过天眼查大数据分析，安徽芯动联科微系统股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目14次；财产线索方面有商标信息25条，专利信息79条；此外企业还拥有行政许可3个。

数据来源：天眼查APP

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