苏奥传感获得发明专利授权：“一种车规级氮化硅芯片生产用刻蚀液及其使用方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示苏奥传感（300507）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种车规级氮化硅芯片生产用刻蚀液及其使用方法”，专利申请号为CN202311782337.8，授权日为2026年7月28日。

专利摘要：本发明公开了刻蚀液领域内的一种车规级氮化硅芯片生产用刻蚀液，按重量计，含有氟化氢6?9%，丁二腈5?8%，乙醇15?20%，余量为超纯水。本发明中，丁二腈可以与氢氟酸发生络合反应，阻止了氢氟酸水解，而通过温度控制，又能使得络合物逐步解离，从而可以保持溶液中氢氟酸有效浓度，不需要频繁补充氢氟酸进入溶液中或不断配制新的氢氟酸溶液，也不需要使用其他的表面活性剂。该刻蚀液具有长效、稳定、低成本的优势，可用于车规级氮化硅芯片的刻蚀加工中。

今年以来苏奥传感新获得专利授权3个，较去年同期减少了81.25%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了8804.95万元，同比增45.2%。

通过天眼查大数据分析，江苏奥力威传感高科股份有限公司共对外投资了15家企业，参与招投标项目45次；财产线索方面有商标信息11条，专利信息308条，著作权信息3条；此外企业还拥有行政许可48个。

数据来源：天眼查APP

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